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- [发明专利]晶片表面清洗装置及方法-CN98125767.4无效
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殷晓明;宁贤洁
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西门子公司
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1998-12-21
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1999-07-07
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H01L21/304
- 一种去除微电子制造中衬底(13)表面(12)上的污染物(11)的衬底清洗装置(10)和方法。清洗装置(10)包括用于测位和映射衬底表面上的至少一种污染物(11)的物质测位器(15)分配装置(16),其形成和规格为沿路径(18)分配清洗剂基本控制的冲击流(17)。一个控制装置(20)耦合到映射装置(15)和分配装置(16),用于控制冲击流(17),以便根据冲击流(17)的路径(18)定位探测到的污染物(11),从而可以基本上进行局部冲击,从衬底表面(12)上去掉污染物
- 晶片表面清洗装置方法
- [发明专利]通用硬表面清洗剂-CN94107300.9无效
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刘新兵;李文秀;唐晓平;魏立中
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首钢总公司
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1994-06-29
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1999-11-03
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C11D3/60
- 本发明提供了一种通用硬表面清洗剂,由脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠、壬基酚聚氧乙烯(10)醚、异丙醇、乙醇、乙二醇单丁醚、N-甲基吡咯烷酮、三聚磷酸钠、硅酸钠和水组成,按重量百分比,其含量分别为脂肪醇聚氧乙烯醚硫酸钠.9;壬基酚聚氧乙烯醚0.2~0.7;乙醇1.5~3.5;异丙醇1.5~3.5;乙二醇单丁醚0.3~0.9;N-甲基吡咯烷酮0.3~0.7;三聚磷酸钠0.3~0.7;硅酸钠0.3~0.7,余者为水,该清洗剂具有通用性,能清洗玻璃、地板、家具、陶瓷、电镀仪表等硬表面,且保持清洁时间长,无毒无害,此外,该清洗剂生产成本低,工艺简单。
- 通用表面洗剂
- [实用新型]一种表面清洗装置-CN201320460856.8有效
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杨理祥
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杨理祥
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2013-07-31
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2014-02-12
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B08B7/04
- 本实用新型公开了一种表面清洗装置,属于清洁设备,包括主轴、清洗喷头、清洗刷头、驱动电机和机壳;主轴穿设于机壳,主轴通过驱动电机驱动转动;清洗喷头和清洗刷头都设于主轴前端以随主轴转动,清洗刷头通过打磨的方式清洗脏物;主轴中空设有供水通道,供水通道与通水管连通;清洗喷头设有喷水通孔组,喷水通孔组与供水通道连通,喷水通孔组喷水软化脏物易于清除。该种表面清洗装置结构简单,具有同时打磨和软化排挤脏物清洁并及时检查干净度的功能。
- 一种表面清洗装置
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