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专利名称

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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]膜形成方法和膜形成装置-CN202011476465.6在审
发明人：竹泽由裕;铃木大介;林宽之;本山丰 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2020-12-15 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及膜形成方法和膜形成装置。[课题]提供可以形成大粒径的多晶硅膜的技术。[解决方案]本公开的一方式的膜形成方法具备如下工序：在基底上形成依次层叠有界面层、主体层和表面层的层叠膜的工序；和，对前述层叠膜进行结晶处理的工序，前述主体层在前述进行结晶处理的工序中由比前述界面层还容易结晶的膜形成，前述表面层在前述进行结晶处理的工序中由比前述主体层还容易结晶的膜形成。
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法和膜形成设备-CN202210121204.5在审
发明人：户田直博 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B41M5/00 文献下载
摘要：一种用于在目标涂布材料上形成膜的膜形成方法，包括通过从多个排出头中的每一个排出液体来涂布目标涂布材料的涂布步骤，所述多个排出头布置在要输送的目标涂布材料的输送方向上，其中，在涂布步骤中，从多个排出头中的每一个排出的液体被施加到在输送方向上目标涂布材料上的不同位置
形成方法设备

[发明专利]膜形成方法和膜形成装置-CN202210121226.1在审
发明人：上田哲人 -专利权人：株式会社理光
申请日： 2022-02-09 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B41M5/00 文献下载
摘要：一种膜形成方法，包括通过从沿着材料的输送方向设置的多个排出头中的每一个排出液体来将液体施加到材料上。每个排出头具有沿着与输送方向相交的方向设置的多个液体排出喷嘴。
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN201410683427.6有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2014-11-24 - 公布日： 2015-09-16 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，该膜形成方法中，即使增加膜厚，侧面的倾斜也不易变平缓。沿着基板的表面的应涂布膜材料的被涂布区域的边缘，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化，从而形成外缘部，之后，通过在比外缘部更靠内侧的区域，使膜材料液滴化后进行涂布并使该膜材料固化来形成内侧部，由此形成由外缘部及内侧部构成且上表面凹陷的单元层
形成方法装置

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN200910262147.7有效
发明人：中野辉幸;小泽康博 -专利权人：株式会社石井表记
申请日： 2005-08-24 - 公布日： 2010-06-23 - 主分类号： B41J2/135 文献下载
摘要：一种膜形成方法及膜形成装置，其包括：膜厚设定工序，设定在被涂敷物上形成的膜的膜厚；试喷出工序，考虑喷墨头的喷出特性，调整喷出液滴量和点间距，并且以任意选择的浓淡等级的灰度图案对膜形成区域试喷出液状材料；浓淡等级分布图生成工序，基于在试喷出工序中形成的膜的厚度，为了以膜厚设定工序中设定的膜厚来形成厚度均匀的膜，对于在被涂敷物上形成膜的膜形成区域，生成按单位面积设定喷出的液状材料的灰度图案的浓淡等级的分布图；膜形成工序，维持在试喷出工序中调整后的喷出液滴量和点间距，同时以基于在浓淡等级分布图生成工序中生成的浓淡等级分布图的浓淡等级的灰度图案，向被涂敷物喷出液状材料，从而在被涂敷物上形成膜。
形成方法装置

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201510450812.0有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2015-07-28 - 公布日： 2019-03-08 - 主分类号： B05C5/02 文献下载
摘要：本发明提供一种无需进行膜形成后的基板表面的图像分析即可去除卫星液滴的膜形成装置。从与保持于载物台的基板对置的喷嘴头朝向基板吐出经液滴化的膜材料。存储装置存储待形成膜的图像数据及膜厚补正信息。控制装置根据图像数据控制喷嘴头及移动机构，由此在基板上形成膜。数据通过输入装置输入到控制装置。若从输入装置输入有膜厚指令值，则控制装置根据膜厚补正信息来补正膜厚指令值，由此计算比膜厚指令值厚的膜厚目标值，并且控制装置控制喷嘴头及移动机构以形成相当于膜厚目标值厚度的膜。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201780042983.7有效
发明人：冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2017-08-09 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： B05C11/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够抑制所形成的膜的形状的偏差的膜形成装置及膜形成方法。膜形成部将膜材料涂布于基板而形成膜。摄像装置对配置于膜形成部的基板的表面进行拍摄。控制部控制膜形成部。控制部中存储有对应该形成的膜的平面形状进行定义的图案数据。基于该图案数据形成膜之前，控制部使膜材料在为了形成膜而涂布膜材料的区域内侧的一部分吐出而形成评价图案。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置和膜形成方法-CN201610132860.X有效
发明人：平冈基记;柳本博;佐藤祐规 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2016-03-09 - 公布日： 2018-05-29 - 主分类号： C25D5/00 文献下载
摘要：本发明涉及膜形成装置和膜形成方法。所述膜形成装置包括：阳极；固体电解质膜，所述固体电解质膜配置在所述阳极和用作阴极的基材之间并且包含金属离子；电源，所述电源在所述固体电解质膜从上方与所述基材接触的状态下在所述阳极和所述基材之间施加电压；
固体电解质膜阳极膜形成装置基材接触膜形成振动部基材电源阴极金属离子施加电压配置

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201810914191.0有效
发明人：礒圭二 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-08-13 - 公布日： 2020-12-11 - 主分类号： B41J2/01 文献下载
摘要：本发明提供一种能够利用喷墨印刷技术来减少膜的直线状边缘的歪曲的膜形成装置。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201880005529.9有效
发明人：礒圭二 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-03-20 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B05C9/14 文献下载
摘要：基板保持在工作台上。喷墨头朝向保持在工作台上的基板吐出热固性油墨。非接触加热机构以非接触方式对保持在工作台上的基板进行加热。通过采用这种方式，无需使用光固化性油墨即可使油墨迅速固化。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201910371007.7有效
发明人：岩永刚 -专利权人：富士胶片商业创新有限公司
申请日： 2019-05-06 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：一种膜形成装置及膜形成方法，具备：反应容器，在内部配置有膜形成对象部件，且用于利用供给至内部的成膜性气体的激励分解而将以成膜性气体中所包含的元素为构成要素的膜堆积于膜形成对象部件上，具有：能够激励分解成膜性气体的反应活性区域和作为与反应活性区域连续的区域的反应惰性区域；成膜性气体供给装置，向反应惰性区域供给成膜性气体；激励装置，对成膜性气体进行激励分解；保持装置，具有：保持部件，保持膜形成对象部件；及驱动部，在反应惰性区域与反应活性区域之间驱动保持部件；及排气部件，设置于反应容器内，排出反应容器内的气体，且排出已通过由保持部件保持的状态的膜形成对象部件的内部及侧面的至少一方的反应容器内的气体。
形成装置方法

[发明专利]膜形成装置及膜形成方法-CN201210379859.9无效
发明人：坂井　光广;川口　义广 -专利权人：东京毅力科创株式会社
申请日： 2012-10-09 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： C03C17/00 文献下载
摘要：本申请的发明涉及一种膜形成装置及膜形成方法。其目的在于缩小占地面积并且缩短处理线的长度、且实现装置成本的降低及生产率的提升。本发明的膜形成装置包括：涂布处理机构(6)，沿水平方向搬送被处理基板(G)，并且从具有在所述基板的宽度方向上较长的喷出口的喷嘴喷出所述涂布液，而在所述基板上形成涂布膜；第1加热处理机构(11)，在第1加热温度下加热形成着所述涂布膜的所述基板
形成装置方法

[发明专利]膜形成方法及膜形成装置-CN201780041443.7在审
发明人：野本刚;冈本裕司 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2017-08-03 - 公布日： 2019-03-15 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种膜形成方法及膜形成装置，一边使基板相对于喷墨头相对移动，一边基于用于定义应形成膜的图案的图案数据，从喷墨头向基板吐出液滴而在所述基板形成膜。能够利用喷墨印刷技术，高精细度地形成图案中的赋予最小尺寸的边缘。
喷墨头基板膜形成装置图案数据相对移动膜形成图案喷墨印刷技术方向正交高精细度基板相对吐出液滴赋予

[发明专利]膜形成装置和膜形成方法-CN201480072747.6有效
发明人：小泽康博;吉冈正博 -专利权人：株式会社石井表记
申请日： 2014-01-10 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： B05C5/00 文献下载
摘要：使喷墨头(3)的喷嘴(4)的排列宽度长度为基板(2)相对移动时的基板(2)的膜形成面(2A)的宽度方向最大长度以上，在完成两者(2、2A)的相对移动之前的期间内，对多个喷嘴(4)中的喷射膜液(6)的喷嘴(4)的个数进行可变控制，以使得喷射的膜液(6)的附着，在基板(2)的膜形成面(2A)与外周端部(2c)之间的边界处停止，以抑制膜液(6)从基板(2)的外周端部(2b)朝向背面(2c)侧附着。
形成装置方法

[发明专利]膜形成方法、膜形成装置及形成有膜的复合基板-CN201811423993.8有效
发明人：镒广诚 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2018-11-27 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： G03F7/004 文献下载
摘要：本发明提供一种能够减少膜表面的凹凸的膜形成方法。沿着基板表面的应形成膜的预定区域的边缘涂布油墨并使其固化而形成框部分。向预定区域的内部涂布油墨并使其固化，从而形成设置有未涂布有油墨的间隙的粗涂布部分。在形成了框部分及粗涂布部分之后，向粗涂布部分的间隙涂布油墨，并经过比形成框部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间以及形成粗涂布部分时的从油墨的涂布至固化为止的时间均长的时间之后，使涂布于间隙中的油墨固化，从而形成覆盖预定区域的整个区域的膜。
形成方法装置复合

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