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- [发明专利]腔体连接结构-CN202310474836.4在审
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罗伟;冯翔;潘无忌
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上海华力集成电路制造有限公司
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2023-04-27
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2023-08-08
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H01L21/67
- 本发明提供一种腔体连接结构，包括：密封连接板、密封门框及密封圈，密封连接板包括连接板开口、第一密封槽及第二密封槽，第一密封槽与第二密封槽分别设于密封连接板的两端面；密封门框包括堆叠设置的第一门框部分、第二门框部分、第三门框部分、贯穿三者所形成的门框开口及第三密封槽，第一门框部分、第二门框部分及第三门框部分形成台阶结构，第一门框部分固定于传送平台上，此时，第二门框部分置于传送开口内，第三门框部分置于连接板开口内，通过本发明解决了对现有的腔体连接结构进行密封圈更换时因耗时较长使得产能受到影响的问题。
- 连接结构
- [实用新型]金属腔体结构-CN201920398055.0有效
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唐海莲
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唐海莲
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2019-03-27
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2020-04-10
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H05K5/04
- 本实用新型涉及一种金属腔体结构，包括主支架，主支架大体呈”J”字型，主支架的下部包括前面板、后面板及在左侧与前面板和后面板相切的第一半圆弧板，主支架的右半部分的上部包括前支撑臂、后支撑臂、在左侧连接前支撑臂和后支撑臂的隔离板及在上部连接前支撑臂和后支撑臂的装配连接板；前支撑臂与前面板一体化设置，后支撑臂与后面板一体化设置，前面板、后面板、第一半圆弧板、前支撑臂、后支撑臂、隔离板和装配连接板一体注塑成型，主支架的左半部分的上侧、下侧及右侧开放式设置，采用一体注塑结构，在前支撑臂和后支撑臂之间设置隔离板，起到了增强主支架整体结构的作用，结构稳定、开放性高。
- 金属结构
- [实用新型]上腔体结构-CN202223238271.X有效
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王海南
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上海积塔半导体有限公司
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2022-12-02
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2023-03-17
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H01L21/67
- 本申请提供一种上腔体结构，涉及半导体加工设备的领域,其包括基台、气体分流盘、吸附环以及隔离环；气体分流盘固定于基台上，吸附环同轴设置于气体分流盘的外周，隔离环同轴设置于吸附环的外圈；吸附环通过喷砂处理形成有粗糙表面区域通过在气体分流盘的外圈设置吸附环，由于吸附环的表面通过喷砂处理形成有粗糙表面区域，吸附环表面能够对气体分流盘周边生成的大量聚合物进行吸附，进而减少了上腔体结构所需的清洁频次，延长了上腔体结构的使用时间，
- 上腔体结构
- [实用新型]磨室腔体结构-CN201420376465.2有效
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朱兴微;沈毅;沈锦桃;李欢
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镇江中福马机械有限公司
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2014-07-09
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2015-01-07
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D21D1/30
- 本实用新型公开了一种磨室腔体结构，包括磨室盖和位于磨室盖下侧的磨室体，磨室盖与磨室体固定连接成内有密闭腔体的磨室外壳，腔体的径向最大截面轮廓线为连续的弧形曲线，蒸汽入口位于磨室外壳背面，弧形曲线下侧切线方向向外延伸出排浆管本实用新型减少了纤维浆沿弧形曲线的半径方向而产生的阻力，加大了腔体内纤维浆的流速，减少了纤维互相撞击的概率，从而提高了纤维质量。腔体边缘逐渐缩小成弧形尖顶的结构起到对纤维的聚拢作用，不让其在腔体内乱流，减少了纤维之间的碰撞和能量损失，使得纤维快速、均匀、稳定地排出腔体，为后续工段的平稳运行提供了可靠保障。
- 磨室腔体结构
- [实用新型]速调管腔体冷却结构-CN201721133936.7有效
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史海如;周红艳
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湖北汉光科技股份有限公司
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2017-09-04
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2018-04-10
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H01J25/02
- 本实用新型涉及大功率速调管领域，公开了一种速调管腔体冷却结构，包括漂移管、套置在漂移管外的各腔体及设在各腔体内的阳极头、末前腔体漂移头和末腔体漂移头，各腔体内各设有一组与漂移管平行的包括两个冷却水流通通道的冷却水流通通道组，阳极头、末前腔体漂移头和末腔体漂移头上均设有与速调管腔体横截面平行的环形冷却水流通通道，相邻的两组冷却水流通通道组之间通过通道接头将冷却水流通通道首尾连接，环形冷却水流通通道连通均与冷却水流通通道连通本实用新型速调管腔体冷却结构装配简单且提高了冷却效果，提高了速调管运行的可靠性。
- 速调管冷却结构
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