专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种无背部大声学腔体的MEMS硅麦克风-CN201410653763.6在审
  • 缪建民 - 缪建民
  • 2014-11-18 - 2015-02-25 - H04R19/04
  • 本发明为一种无背部大声学腔体的MEMS硅麦克风,包括极板硅及位于所述极板硅上方的振膜,其特征在于:导电良好的极板硅和振膜作为麦克风电容的两极板;极板硅上沉积有极板金属电极,极板金属电极和极板硅电连接;极板硅上设有若干个直接与大气相通的TSV声孔;振膜上设有小凸柱;振膜上沉积有振膜电极,振膜电极和振膜电连接;振膜电极和极板金属电极分别为麦克风电容两极板的输出信号引出端,用来与CMOS信号放大电路实现电连接;振膜由氧化硅层支撑悬于极板硅的上方,之间形成气隙,极板硅、振膜和气隙形成电容结构。
  • 一种背部声学mems麦克风
  • [发明专利]一种特种纸加工生产线-CN202010941656.9有效
  • 房志超 - 新郑市吉龙包装材料有限公司
  • 2020-09-09 - 2022-03-04 - D21H23/56
  • 本申请涉及一种特种纸加工生产线,包括纸放卷装置、涂液涂布装置、第一烘干装置和复合装置,其中纸放卷装置用于将纸放卷至涂液涂布装置处,涂液涂布装置用于将涂液涂布于纸的背面,第一烘干装置将覆有涂液的纸进行烘干,复合装置用于将纸的正面与覆有胶粘剂的转移膜进行复合。本申请通过设置涂液涂布装置,将涂液涂布于纸的背面,以形成保湿层,然后纸经由第一烘干装置的烘干,保湿层表面多余的水分被烘干,保湿层保有一定的湿度,而纸的正面具有胶粘剂的湿度,即纸正背面的的湿度大致相同,从而纸正背面的张力大致相同,从而能够减小因正背面张力不一致而导致的纸边缘的卷曲上翘的情况发生。
  • 一种特种纸加工生产线
  • [发明专利]采用多孔SOI硅硅键合的MEMS硅麦克风及其制造方法-CN201310056813.8有效
  • 缪建民 - 上海微联传感科技有限公司
  • 2013-02-22 - 2013-06-05 - H04R19/04
  • 本发明为一种采用多孔SOI硅硅键合的MEMS硅麦克风及其制造方法,包括多孔极板硅及位于所述多孔极板硅上方的单晶硅振膜,其特征在于:所述的多孔极板硅和单晶硅振膜作为麦克风电容的两极板,经过硅硅键合工艺键合成一体多孔极板硅上设有极板金属电极、声孔和腔,单晶硅振膜上设有金属电极和小凸柱,振膜金属电极和极板电极分别为麦克风电容两极板的输出信号引出端,用来与CMOS信号放大电路实现电连接;单晶硅振膜由氧化硅层支撑悬于多孔极板硅的上方,单晶硅振膜和多孔极板硅之间设有气隙,多孔极板硅、单晶硅振膜和气隙形成电容结构。
  • 采用多孔soi硅硅键合mems麦克风及其制造方法
  • [实用新型]采用多孔SOI硅硅键合的MEMS硅麦克风-CN201320082192.6有效
  • 缪建民 - 上海微联传感科技有限公司
  • 2013-02-22 - 2013-07-31 - H04R19/00
  • 本实用新型为一种采用多孔SOI硅硅键合的MEMS硅麦克风,包括多孔极板硅及位于所述多孔极板硅上方的单晶硅振膜,其特征在于:所述的多孔极板硅和单晶硅振膜作为麦克风电容的两极板,经过硅硅键合工艺键合成一体多孔极板硅上设有极板金属电极、声孔和腔,单晶硅振膜上设有金属电极和小凸柱,振膜金属电极和极板电极分别为麦克风电容两极板的输出信号引出端,用来与CMOS信号放大电路实现电连接;单晶硅振膜由氧化硅层支撑悬于多孔极板硅的上方,单晶硅振膜和多孔极板硅之间设有气隙,多孔极板硅、单晶硅振膜和气隙形成电容结构。
  • 采用多孔soi硅硅键合mems麦克风

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