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- [发明专利]带有可移动位置幅材引导件的沉积系统-CN201880018051.3有效
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T.M.斯帕思;C.R.埃林格尔
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伊斯曼柯达公司
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2018-02-28
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2022-06-17
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C23C16/455
- 一种薄膜沉积系统包括幅材引导件系统,幅材引导件系统具有多个幅材引导件,多个幅材引导件为基体的幅材限定了幅材传输路径。幅材引导件系统包括可移动部分,可移动部分包括第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件。幅材传输控制系统使基体的幅材沿着幅材传输路径在幅材前进速度下前进。沉积头沿着幅材传输路径位于第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间。运动致动器系统使第一可移动位置幅材引导件和第二可移动位置幅材引导件的位置同步地移动,使得它们根据限定的振荡运动模式向前和向后移,同时在第一可移动位置幅材引导件与第二可移动位置幅材引导件之间维持恒定的距离,从而导致与沉积头相邻的介质的幅材的部分在沿轨道方向上向前和向后移动。
- 带有移动位置引导沉积系统
- [发明专利]幅材加工装置-CN201810164143.4有效
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艗将孝
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株式会社村田制作所
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2018-02-27
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2020-06-16
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B65H18/08
- 本发明提供一种幅材加工装置,能降低加工时幅材的张力,提高加工精度。本发明的幅材加工装置包括配置于加工工作台(20)的上游侧或下游侧,将幅材切换为固定状态与释放状态的幅材固定单元(22);以及配置于加工平台的上游侧或下游侧中与幅材固定单元相反的一侧,间歇地传送幅材的幅材传送单元(7);以及在加工平台中加工幅材时,在利用幅材固定单元固定了幅材的状态下,使幅材传送单元或幅材固定单元朝位于幅材传送单元与幅材固定单元之间的幅材的张力降低的方向进行动作的幅材张力控制单元。此外,在加工平台与幅材传送单元之间还包括支承幅材的下表面的支承单元(23)。支承单元的摩擦系数优选为低于加工工作台的摩擦系数。
- 加工装置
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