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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]低温泵系统及用于低温泵的再生方法-CN201210146309.2有效
发明人：安东正道 -专利权人：住友重机械工业株式会社
申请日： 2012-05-11 - 公布日： 2012-11-14 - 主分类号： F04B37/08 文献下载
摘要：本发明提供一种缓和多个低温泵的压力差对再生工艺的影响的低温泵系统及用于低温泵的再生方法。低温泵系统（100）具备共用粗抽泵（73）且分别包含粗抽阀（72）的多个低温泵（10）、及为了多个低温泵（10）的再生而控制各粗抽阀（72）的CP控制器（20），在封闭已开放的粗抽阀（72）和开放已封闭的其他粗抽阀
低温泵系统用于再生方法

[发明专利]全自动溶出杯清洗仪-CN201710251381.4在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：微思行（北京）科技有限公司
申请日： 2017-04-18 - 公布日： 2018-03-02 - 主分类号： B08B9/093 文献下载
摘要：本发明公开了一种全自动溶出杯清洗仪，此全自动溶出杯清洗仪的清洁头下端面靠近外圆处装有密封圈，在下平面装有两个旋转喷头及粗抽管和精抽管，另外还有一个进气孔，两个旋转喷头通过喷水软管与喷淋泵相连，粗抽管通过粗抽软管与粗抽泵相连，精抽管通过精抽软管与精抽泵相连，进气孔通过进气软管与进气阀相连，粗抽管和精抽管长度可调适合不同尺寸的溶出杯清洗。
全自动溶出杯清洗

[发明专利]一种二十四站式真空除气机-CN201711387322.6在审
发明人：丁嘉祥 -专利权人：东莞市晋旭机电设备有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-04-20 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种二十四站式真空除气机，包括泵浦机架和设备操作台，所述泵浦机架平行安装在设备操作台的侧端，泵浦机架的内侧设置有粗抽前机泵、粗抽真空泵和精抽真空泵，所述泵浦机架的上端设置有真空缓冲罐；所述设备操作台上设置有真空控制阀组二十四站式真空除气机通过人机控制屏控制并检测真空缓冲罐内抽真空的状态，并通过真空显示屏显示内部状态，当达到真空状态后，通过人机控制屏控制气液压台工作，推动铆断模组进行工作；整体采用粗抽前机泵、粗抽真空泵和精抽真空泵等三级抽真空，保证了抽真空效果。
一种十四真空

[实用新型]一种二十四站式真空除气机-CN201721819803.5有效
发明人：丁嘉祥 -专利权人：东莞市晋旭机电设备有限公司
申请日： 2017-12-20 - 公布日： 2018-08-14 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种二十四站式真空除气机，包括泵浦机架和设备操作台，所述泵浦机架平行安装在设备操作台的侧端，泵浦机架的内侧设置有粗抽前机泵、粗抽真空泵和精抽真空泵，所述泵浦机架的上端设置有真空缓冲罐；所述设备操作台上设置有真空控制阀组二十四站式真空除气机通过人机控制屏控制并检测真空缓冲罐内抽真空的状态，并通过真空显示屏显示内部状态，当达到真空状态后，通过人机控制屏控制气液压台工作，推动铆断模组进行工作；整体采用粗抽前机泵、粗抽真空泵和精抽真空泵等三级抽真空，保证了抽真空效果。
真空泵泵浦粗抽真空除气机抽真空操作台人机控制断模精抽本实用新型显示屏显示真空缓冲罐真空控制阀内部状态平行安装设备操作真空缓冲真空状态气液压上端侧端检测保证

[实用新型]真空设备的抽气装置-CN200720059168.5无效
发明人：苏贵方 -专利权人：苏贵方
申请日： 2007-11-05 - 公布日： 2008-09-24 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种真空设备的抽气装置，使真空设备的真空室形成并维持真空状态，其包括真空管道、粗抽排气系统、放气阀及负压站系统，粗抽排气系统通过真空管道与真空室连通，包括依次串联于真空管道上粗抽阀及粗抽泵，放气阀一端通过真空管道分别与真空室和粗抽排气系统连通，另一端与外界相通，负压站系统包括负压站阀及密闭的负压站室，负压站阀一端与粗抽泵和粗抽阀连通，另一端与负压站室连通。由于增加了负压站系统，使得当对真空室进行抽气时一部分气体经负压站阀窜到真空室里，则无需抽到户外缩短了时间，装卸工件时粗抽泵对负压站室抽气使之具备一定的真空状态，不至于空载运转而节约电能，且减轻对粗抽泵的负载
真空设备装置

[实用新型]一种高效防湍流抽真空系统-CN202220430471.6有效
发明人：刘景峰 -专利权人：四川奇峰景行光学科技有限公司
申请日： 2022-03-02 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： C30B35/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效防湍流抽真空系统，包括：真空泵，粗抽阀，粗抽阀与待抽真空的腔体通过粗抽管连接，粗抽阀与真空泵通过第一管路连接，靠近腔体安装与粗抽管连通的真空连成计，若干细抽管将粗抽管和第一管路连通，每根细抽管上安装控制阀；其中，真空连成计用于监测腔体压力，细抽管直径小于粗抽管直径。使用高效防湍流抽真空系统时，先开启细抽管上的控制阀，通过直径较小的细抽管抽真空，防止在待抽真空的腔体中形成湍流，多根细抽管依次开启能够增加抽气效率；当腔体内气压达到可使用粗抽管的临界值时，关闭控制阀，开启粗抽阀，采用粗抽管对腔体抽真空，防止腔体中形成湍流的同时，充分利用粗抽管进行抽真空，保证腔体的抽真空效率。
一种高效湍流真空系统

[发明专利]用于提高粗抽泵的性能的氨气减排-CN202180008408.1在审
发明人：许吉顺;克里希纳·比鲁;凯文·马丁戈尔 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2021-01-06 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：在包括通过泵前级管线与工艺粗抽泵连接的处理室的装置中，将氨和沉积前体从所述处理室泵送至前级管线；将所述氟化氢气体引入所述前级管线以与所述氨反应以生成氟化铵；以及在所述泵送期间将所述工艺粗抽泵和泵前级管线保持在至少所述氟化铵的升华温度下，这使得氨减排以改善粗抽泵性能。
用于提高粗抽泵性能氨气

[发明专利]一种覆盖常压到高真空的压力控制系统-CN202111055751.X有效
发明人：白冰;龚洁;詹海洋;顾志飞;王宇;韩潇;王学章;张燚;何超 -专利权人：北京卫星环境工程研究所
申请日： 2021-09-09 - 公布日： 2023-08-25 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明公开了一种覆盖常压到高真空的压力控制系统，包括真空容器，所述真空容器设有真空规、质量流量计、真空阀门一与真空阀门二，所述真空阀门一连接粗抽管道，粗抽管道通过开度调节阀与粗抽泵连接，所述真空阀门二连接有高真空泵，所述粗抽泵可以同时作为高真空泵的前级泵。控压范围为常压到1×10‑5Pa，可以稳定在任意压力下，因此便于工作人员进行操控，压力控制精度较高，能够有效的减小误差，利用粗抽泵使抽气速率可调
一种覆盖常压真空压力控制系统

[实用新型]一种真空泄漏判断控制系统-CN201720925443.0有效
发明人：迟思思;王洪权 -专利权人：大连维钛克科技股份有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-02-02 - 主分类号： G01M3/04 文献下载
摘要：一种真空泄漏判断控制系统，粗抽管路连接机械泵和罗茨泵，粗抽管路上设有粗抽阀；前级管路连接分子泵和前级泵，前级管路上设有高阀和前级阀；粗抽管路和前级管路之间设有辅抽管路，辅抽管路连接四级质谱仪；上位机连接PLC控制器，上位机连接真空计，四级质谱仪连接PLC，机械泵、罗茨泵、粗抽阀、分子泵、前级泵、高阀和前级阀与PLC控制器电连接。本实用新型通过上位机对PLC发出执行命令，控制各真空泵及真空阀的启停操作；上位机对PLC和其它连接设备反馈回的信息及时处理并且实时显示；在检漏判断时，自动绘制出压强－时间的曲线，使操作人员能够很快判断出泄漏原因
一种真空泄漏判断控制系统

[发明专利]大型高真空抽气机组-CN201010100309.X有效
发明人：储继国 -专利权人：储继国
申请日： 2010-01-21 - 公布日： 2010-07-14 - 主分类号： F04B41/06 文献下载
摘要：本发明适用于抽真空领域，本发明采用牵引分子泵、电弧钛泵、粗抽泵和前级泵组成新的抽气机组，优势互补，实现取代现有的扩散泵+罗茨泵+粗抽泵组成的抽气机组的目的，与现有的抽气机组相比较，本发明可节省抽气能耗60～90％，消除真空室的油蒸汽污染，显著提高真空产品的质量，本发明的性价比约为传统高真空抽气机组的2～3倍，本发明的抽气机组的钛材蒸散速率可以精确控制，钛材利用率高，钛材可以回收，本发明的粗抽泵的运行时间很短，一台粗抽泵可以供多个高真空抽气机组共用，节省设备费用和占地空间。
大型真空抽气机

[实用新型]一种干法刻蚀设备的粗抽管道结构-CN201720906971.1有效
发明人：阚杰;沈吉;刘东升;朱骏;张旭升;张晓腾 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2017-07-25 - 公布日： 2018-03-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种干法刻蚀设备的粗抽管道结构，属于集成电路制造设备技术领域，包括反应室；第一真空泵，与所述反应室连通；第二真空泵，与所述反应室连通；粗抽管道，两端分别连通所述反应室和所述第二真空泵，所述第二真空泵通过所述粗抽管道与所述反应室连通；调压阀，设置于所述粗抽管道的中部。上述技术方案的有益效果是通过在粗抽管道上设置一调压阀，调节干泵尾端的压力，避免出现两个相关联的干泵同时报警导致分子泵减速的情况，使得在维护一个反应室时，不影响相关联的反应室的正常工作，提高机台的利用率，
一种刻蚀设备管道结构

[发明专利]避免沉积副产物积聚的真空泵保护-CN201980078104.5在审
发明人：约翰·斯蒂芬·德雷维瑞;汤姆·A·坎普;严浩泉;约翰·爱德华·多尔蒂;阿里·苏希普托·谭;曾明奎;布鲁斯·弗里曼 -专利权人：朗姆研究公司
申请日： 2019-09-26 - 公布日： 2021-07-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：一种处理室(例如等离子体蚀刻室)可执行沉积和蚀刻操作，其中沉积和蚀刻操作的副产物可能在与处理室流体耦合的真空泵系统中积聚。真空泵系统可具有多个粗抽泵，使得蚀刻气体可被分流至一粗抽泵而沉积前体可被分流至另一粗抽泵。分流管线可将未使用的沉积前体引导通过分离的粗抽泵。通过在真空泵系统中的初级泵的出口处包含一或更多个气体喷射器或文丘里泵，可避免沉积副产物形成。使用某些清洁化学品的清洁操作(例如无晶片自动清洁操作)可在蚀刻操作之前或之后将沉积副产物去除。
避免沉积副产物积聚真空泵保护

[实用新型]一种用于魔芋包装机的集中抽真空系统-CN202220199548.3有效
发明人：曹亚;余银祥;张浩远 -专利权人：漯河市卫龙生物技术有限公司
申请日： 2022-01-25 - 公布日： 2022-08-26 - 主分类号： B65B31/08 文献下载
摘要：本实用新型提供一种用于魔芋包装机的集中抽真空系统，包括设于包装车间内的若干组包装机、与包装机连通的精抽管路、与包装机连通的粗抽管路以及连接精抽管路和粗抽管路的抽真空组件；所述抽真空组件包括若干组干式螺杆真空泵和罗茨增压泵；所述干式螺杆真空泵及罗茨增压泵接入连接精抽管路与粗抽管路的抽真空主管路。本实用新型魔芋包装机集中抽真空系统，对多组包装机采用集中式抽真空操作，降低单体真空泵数量和能源消耗；采用二次增压抽真空，满足不同食品对真空度的要求，实现对真空度精细控制，进一步控制能源消耗。
一种用于魔芋装机集中真空系统

[实用新型]一种大型高真空抽气系统-CN201420643026.3有效
发明人：储继国 -专利权人：深圳市摩尔真空技术有限公司
申请日： 2014-11-02 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： C23C14/56 文献下载
摘要：一种大型高真空抽气系统，包括镀膜室，镀膜室分别与大型涡轮分子泵或大型扩散泵连接，镀膜室和涡轮分子泵或扩散泵之间设有第一真空阀，涡轮分子泵或扩散泵的排气口经第二真空阀与牵引分子泵连接，牵引分子泵的排气口经第三真空阀与前级泵连接，牵引分子泵的进气口还经第四真空阀与镀膜室连接；镀膜室还经第五真空阀与粗抽泵连接，镀膜室还分别与真空规、工作注气阀和放气阀连接，注气阀与工作气体源连接。本实用新型采用大抽速牵引分子泵+小型前级泵，取代传统抽气系统的粗真空泵+罗茨泵，粗抽泵运行时间由传统抽气工艺的全程运行（几十分钟~几十小时）降至仅几分钟，粗抽泵能耗节省90%以上。
一种大型真空系统

[发明专利]曲面玻璃镀膜工艺-CN202211366630.1在审
发明人：杨伟谦;李沐 -专利权人：佛山市晶玻科技有限公司
申请日： 2022-11-02 - 公布日： 2023-01-20 - 主分类号： C23C14/34 文献下载
摘要：本发明提供了一种曲面玻璃镀膜工艺，执行本发明曲面玻璃镀膜工艺的组件为镀膜机总装，镀膜机总装由依次连接的上片架、前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、镀膜室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽室、纠偏架、下片架，其中在前粗抽室、前精抽室、前缓冲精抽室、后缓冲精抽室、后精抽室、后粗抽室底部均设置一个真空泵，在镀膜室底部设置有两个真空泵；具体步骤如下：S1：曲面玻璃扫描；S2：后台系统计算；S3：曲面玻璃镀膜；S4
曲面玻璃镀膜工艺

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