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[发明专利]等离子体水处理方法及其装置-CN200810020181.9有效
发明人：汪峰 -专利权人：汪峰
申请日： 2008-03-27 - 公布日： 2008-09-03 - 主分类号： C02F1/30 文献下载
摘要：本发明涉及等离子体水处理方法及其装置。等离子体水处理方法，包括以下步骤：将待处理水通入等离子体反应器内；接通等离子体反应器的气源；接通等离子体反应器的电源，等离子体反应器产生等离子体，利用等离子体对水进行处理；将处理后的水排出。等离子体水处理装置，包括等离子体反应器，等离子体反应器上设置进水口及出水口，等离子体反应器上装置至少一对等离子放弧枪，等离子放弧枪相对设置并与气源及电源连接。本发明提供了一种可连续生产、效率高的等离子体水处理方法，并且提供了一种结构简单的等离子体水处理装置。
等离子体水处理方法及其装置

[实用新型]一种脉冲等离子体脱硫脱硝的系统-CN201720767706.X有效
发明人：冯玉;陈文臣;魏书杰 -专利权人：山东菲达生态环境科技有限公司
申请日： 2017-06-28 - 公布日： 2018-01-02 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种脉冲等离子体脱硫脱硝的系统，按烟气流向依次包括除尘器、脱硫塔、第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器；脉冲放电等离子体反应器内设有金属板，金属板之间设有金属棒，金属棒上设有放电针，第一脉冲放电等离子体反应器种的若干金属棒连接高频直流电源，第二脉冲放电等离子体反应器种的若干金属棒连接高压脉冲电源；脉冲放电等离子体反应器内的底部均设有水管，水管上均设有竖直向上的喷头；氨气源中的氨气分别输送至第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器内，水泵将水箱中的水输送至第一脉冲放电等离子体反应器和第二脉冲放电等离子体反应器内的水管。
一种脉冲等离子体脱硫系统

[发明专利]利用龙旋风滑动弧低温等离子体技术处理飞灰的装置与方法-CN201010145951.X无效
发明人：严建华;余量;李晓东;倪明江;池涌;陆胜勇;岑可法 -专利权人：浙江大学
申请日： 2010-04-13 - 公布日： 2010-09-08 - 主分类号： A62D3/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种利用龙旋风滑动弧低温等离子体技术处理飞灰的装置与方法。它包括等离子体反应器出口、等离子体反应器进口、螺旋电极、螺旋电极封闭圆环、高压电源、等离子体反应器进口、飞灰输送管道、飞灰给料器、环形电极、龙旋风滑动弧等离子体反应器、阀和气源，龙旋风滑动弧反应器下部设有等离子体反应器进口，龙旋风滑动弧等离子体反应器底部设有环形电极，龙旋风滑动弧等离子体反应器内从上到下依次设有螺旋电极封闭圆环、螺旋电极，螺旋电极封闭圆环上端设有等离子体反应器进口，等离子体反应器进口经飞灰输送管道依次与阀一端和气源相连
利用旋风滑动低温等离子体技术处理装置方法

[发明专利]介质阻挡放电等离子体放大反应器脉冲供电方法-CN201010555622.2无效
发明人：李杰;兰永斌;唐首锋;鲁娜;吴彦 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2010-11-22 - 公布日： 2011-03-23 - 主分类号： H05H1/46 文献下载
摘要：本发明公开了一种介质阻挡放电等离子体放大反应器脉冲供电方法，属于环境电工技术领域。其特征是脉冲电源给介质阻挡放电等离子体放大反应器供电，脉冲电源的脉冲形成电容与介质阻挡放电等离子体放大反应器静态电容比是0.48～10。脉冲电源给介质阻挡放电等离子体放大反应器供电，脉冲电源的脉冲形成电容与介质阻挡放电等离子体放大反应器静态电容匹配比是1～4。本发明是为脉冲电源与介质阻挡放电等离子体放大反应器的匹配技术提供方法，优化电源与反应器的能量利用关系，达到电源的高效利用和介质阻挡放电等离子体放大反应器放电特性的优化。本发明为介质阻挡放电等离子体反应器放大应用提供参考。
介质阻挡放电等离子体放大反应器脉冲供电方法

[发明专利]一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置和工艺-CN202010332060.9在审
发明人：陈晖晖;张自丽;罗威威 -专利权人：福建省锅炉压力容器检验研究院
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-07-10 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本发明涉及烟气污染物处理领域，提供一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置和工艺，其特征在于：包括等离子体氧化反应器和等离子体吸收处理器；所述等离子体氧化反应器的一端设置有烟气进口，所述等离子体氧化反应器的另一端与所述等离子体吸收处理器相连通，所述等离子体吸收处理器的另一端设置有烟气出口；所述等离子体氧化反应器为介质阻挡等离子体线筒式反应器；所述等离子体氧化反应器上设置有给所述等离子氧化反应器提供氧气的进气装置；所述脉冲电源与所述线筒式反应器相连接；所述线筒式反应器内部设置有网载催化剂层。本发明实现将等离子体技术与催化剂和吸附液联用催化脱除烟气污染物。
一种燃煤锅炉污泥烟气污染物脱除装置工艺

[实用新型]一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置-CN202020642615.5有效
发明人：陈晖晖;张自丽;高玉姜 -专利权人：福建省锅炉压力容器检验研究院
申请日： 2020-04-24 - 公布日： 2020-12-01 - 主分类号： B01D53/86 文献下载
摘要：本实用新型涉及烟气污染物处理领域，提供一种燃煤锅炉掺烧污泥烟气污染物脱除装置，其特征在于：包括等离子体氧化反应器和等离子体吸收处理器；所述等离子体氧化反应器的一端设置有烟气进口，所述等离子体氧化反应器的另一端与所述等离子体吸收处理器相连通，所述等离子体吸收处理器的另一端设置有烟气出口；所述等离子体氧化反应器为介质阻挡等离子体线筒式反应器；所述等离子体氧化反应器上设置有给所述等离子氧化反应器提供氧气的进气装置；所述脉冲电源与所述线筒式反应器相连接；所述线筒式反应器内部设置有网载催化剂层。本实用新型实现将等离子体技术与催化剂和吸附液联用催化脱除烟气污染物。
一种燃煤锅炉污泥烟气污染物脱除装置

[发明专利]一种等离子体固碳系统及固碳方法-CN202010057594.5有效
发明人：常正实;王聪;张冠军 -专利权人：西安交通大学
申请日： 2020-01-17 - 公布日： 2022-04-01 - 主分类号： C01B3/34 文献下载
摘要：公开了等离子体固碳系统及固碳方法，其中，等离子体固碳系统中，等离子体反应器的第一通道和第二通道分别设有流量控制器，等离子体反应器经由高压电极连接高电压以及经由地电极接地，水、或氢气、或甲烷分别与二氧化碳混合，在流量控制器的控制下，以预定比例通入等离子体反应器，冷凝器连接等离子体反应器以冷凝来自等离子体反应器中的转化产物和未反应完全的反应物，并选择性的用于等离子体反应器中循环，从而通过常温等离子体技术、在免除催化剂的情况下实现环保治理
一种等离子体系统方法

[发明专利]带有等离子体反应器的燃料氧减少单元-CN202010952201.7在审
发明人： E·P·奥康诺尔;C·X·斯蒂芬森;T·J·索默雷尔 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2020-09-11 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： B01J19/08 文献下载
摘要：本发明涉及带有等离子体反应器的燃料氧减少单元。具体而言，提供了一种用于航空发动机的燃料氧减少单元。燃料氧减少单元包括提供汽提气流的汽提气体管线和与汽提气体管线流体连通的等离子体反应器。等离子体反应器包括从汽提气体管线接收汽提气流的等离子体反应器气体入口，以及提供汽提气流回到汽提气体管线的等离子体反应器气体出口，该等离子体反应器构造成减少汽提气流的游离氧含量，使得离开等离子体反应器气体出口的汽提气流的出口游离氧含量低于进入等离子体反应器气体入口的汽提气流的入口游离氧含量
带有等离子体反应器燃料减少单元

[发明专利]用于PFCs废气处理的涡流等离子体反应器-CN201310123807.X有效
发明人：张荣兴 -专利权人：丰映科技股份有限公司;张荣兴
申请日： 2013-04-10 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： B01D53/32 文献下载
摘要：一种用于PFCs废气处理的涡流等离子体反应器，利用具有多数个废气收集管将废气收集后，经过火焰防阻器保护，再加入所需适量水分、空气等，以切线方式由位于涡流等离子体反应器顶部的第一气体注入装置以涡旋方式注入涡流等离子体反应器，利用中央的等离子体火炬将废气等离子化，进行反应所需过量空气以切线方式由位于涡流等离子体反应器末端的第二气体注入装置以逆向涡旋方式注入涡流等离子体反应器，并与高温的反应器导流管接触预热后以逆旋方式汇入被等离子化的高温废气中，使等离子化的废气与过量空气产生混合，再经高频感应线圈加热维持等离子化，使废气在涡流等离子体反应器内与等离子体充分混合维持一定反应时间而被彻底破坏。
用于 pfcs 废气处理涡流等离子体反应器

[发明专利]用于原子精度蚀刻的独立控制等离子体密度、自由基组成及离子能量的低电子温度蚀刻腔室-CN201680061298.4在审
发明人： L·多尔夫;K·S·柯林斯;S·拉乌夫;K·拉马斯瓦米;J·D·卡达希;H·塔瓦索里;O·瑞吉尔曼;Y·张 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-06-01 - 公布日： 2018-06-08 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本公开关于操作等离子体反应器的方法，该等离子体反应器具有电子束等离子体源以独立调整电子束密度、等离子体离子能量及自由基总数。本公开进一步关于用于等离子体反应器的电子束源，该等离子体反应器具有RF驱动电极以产生电子束。
等离子体反应器电子束自由基等离子体电子束等离子体蚀刻等离子体离子电子束源独立调整独立控制离子能量蚀刻腔室电极

[实用新型]一种恶臭气体用等离子体处理设备-CN202020254306.0有效
发明人：王洪林;章旭明;黄拥军;何昌东 -专利权人：江苏云净环保设备有限公司
申请日： 2020-03-05 - 公布日： 2021-01-12 - 主分类号： B01D46/10 文献下载
摘要：本实用新型属于臭气处理技术领域，具体涉及一种恶臭气体用等离子体处理设备，包括：等离子体反应器、与等离子体反应器连接的抽风机；所述抽风机适于将臭气抽吸到等离子体反应器中；所述抽风机的进风管上设置有适于调节进入等离子体反应器臭气量的风量调节装置本恶臭气体用等离子体处理设备具有改变抽风机的进风管的管口大小，调节进入到进风管的臭气量，使得进入到等离子体反应器中的臭气满足正常的净化需求，提高净化效率，延长等离子体反应器的使用寿命效果。
一种臭气体用等离子体处理设备

[发明专利]用于气相蚀刻以及清洗的等离子体装置-CN201510446622.1有效
发明人：金奎东;申雨坤;安孝承;崔致荣 -专利权人： AFO株式会社
申请日： 2015-07-27 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： H01L21/3065 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于气相蚀刻以及清洗的等离子体装置，包括：反应器主体，用于处理目标基板；直接产生等离子体区域，其为所述反应器主体内的直接产生等离子体区域，工艺气体流入所述反应器主体内，从而直接感应等离子体；等离子体感应组件，向所述直接产生等离子体区域感应等离子体；基板处理区域，其设在所述反应器主体内，通过混合从所述直接产生等离子体区域流入的等离子体和从所述反应器主体的外部流入的汽化气体来形成反应性物质，并通过所述反应性物质来处理所述目标基板；以及双配气挡板，配置在所述直接产生等离子体区域和所述基板处理区域之间，向所述基板处理区域分配等离子体，将汽化气体分配给所述基板处理区域的中心区域和周边区域。
用于蚀刻以及清洗等离子体装置

[发明专利]一种废水处理装置-CN201910225989.9在审
发明人：姚水良;陆海全;李国建;余辉军 -专利权人：安吉润风空气净化科技有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-05-21 - 主分类号： C02F1/78 文献下载
摘要：本发明公开了一种废水处理装置，包括等离子体反应器、与所述等离子体反应器通过出气管连通的水处理箱、通过进气管与所述等离子体反应器连通的空气分离装置、和与所述等离子体反应器相连的冷却系统，所述出气管前端连接有微孔器该水处理装置采用的等离子体反应器具有冷却系统，可实现等离子体反应器持续冷却散热，反应器使用寿命长，臭氧转化率高，对废水中污染物去除效果好等优点。
等离子体反应器废水处理装置冷却系统出气管连通污染物去除效果空气分离装置臭氧转化率反应器使用水处理装置水处理箱进气管微孔器散热冷却废水

[实用新型]一种废水处理装置-CN201920378821.7有效
发明人：姚水良;陆海全;李国建;余辉军 -专利权人：安吉润风空气净化科技有限公司
申请日： 2019-03-25 - 公布日： 2019-12-06 - 主分类号： C02F1/78 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种废水处理装置，包括等离子体反应器、与所述等离子体反应器通过出气管连通的水处理箱、通过进气管与所述等离子体反应器连通的空气分离装置、和与所述等离子体反应器相连的冷却系统，所述出气管前端连接有微孔器该水处理装置采用的等离子体反应器具有冷却系统，可实现等离子体反应器持续冷却散热，反应器使用寿命长，臭氧转化率高，对废水中污染物去除效果好等优点。
等离子体反应器冷却系统出气管连通污染物去除效果废水处理装置空气分离装置本实用新型臭氧转化率反应器使用水处理装置水处理箱进气管微孔器散热冷却废水

[实用新型]等离子体垃圾发电厂净化处理系统-CN202021329244.1有效
发明人：张仲琪;侯开忠;李逢茂;郭靖 -专利权人：山西晋浙环保科技有限公司
申请日： 2020-07-09 - 公布日： 2021-04-02 - 主分类号： B01D53/52 文献下载
摘要：本实用新型涉及垃圾发电厂锅炉尾气处理，具体为等离子体垃圾发电厂净化处理系统，包括锅炉、脱酸塔、低温等离子体流光放电除尘反应器、介质阻挡低温等离子体反应器和除雾器或除尘器，锅炉尾部烟气先后经过低温等离子体流光放电除尘反应器和介质阻挡低温等离子体反应器后进入脱酸塔，脱酸塔尾部管道和除雾器或除尘器连接。本实用新型通过在垃圾电厂烟气处理系统之脱酸塔前增加低温等离子体流光放电除尘反应器和介质阻挡低温等离子体反应器，利用高温下的低温等离子体流光放电除尘反应器实现灰与气态污染物分离，减少危废灰量，介质阻挡低温等离子体反应器氧化实现
等离子体垃圾发电厂净化处理系统

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