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- [发明专利]成膜装置-CN201410160234.2有效
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酒见俊之
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住友重机械工业株式会社
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2014-04-21
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2017-05-24
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C23C14/32
- 本发明提供一种成膜装置,其能够轻松调整对作为蒸发源的成膜材料导入等离子束的位置。本发明的成膜装置,在真空腔室(10)内通过等离子束(P)对成膜材料(Ma)进行加热而使其蒸发,并且使成膜材料的蒸发粒子(Mb)附着于成膜对象物(11)上,其构成为具备以下等离子源,在腔室内生成等离子束;作为主阳极的主炉缸,被填充成为蒸发源的成膜材料,并且向成膜材料导入等离子束或者被导入等离子束;作为辅助阳极的环炉缸,配置于主炉缸的周围,并且引导等离子束;一对辅助线圈,隔着蒸发源配置于两侧;及辅助线圈电源部,以使一对辅助线圈的极性相互不同的方式供给直流电流。
- 装置
- [发明专利]一种可控温的离子注入机及其控温方法-CN201910895689.1有效
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孙永武;嵇群群
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厦门宇电自动化科技有限公司
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2019-09-21
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2022-07-08
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H01J37/317
- 本发明公开了一种可控温的离子注入机及其控温方法,通过设置离子源装置生成离子束,通过靶盘的旋转及摆动,使各靶片的正面被离子束全方位注入,辅助处理模块用于对靶片辅助加热或冷却,温度传感器用以测量靶片背面不同位置的温度,处理器,接收各温度传感器的温度信号,截得一个温度最大值,运算同时间剩余的各温度信号得到一个温度均值,运算温度最大值和温度均值相减得到一个温度差值,由于靶片温度来自离子束照射的自加热以及辅助处理模块的加热或冷却,通过运算温度差值和第一预设值比值,温度均值和第二预设值比值,以此可准确控制离子束能量导致的温度偏差以及辅助处理模块带来的温度偏差,实现对离子注入机靶片温度的准确控制。
- 一种可控离子注入及其方法
- [实用新型]一种隔离式传递窗-CN202121264248.0有效
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陆海民
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吴江市海诚净化设备有限公司
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2021-06-07
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2021-12-31
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E06B5/00
- 本申请公开了一种隔离式传递窗,包括密封传递仓、密封门、安装壳、离子风机、辅助结构和杀菌结构,所述密封传递仓的两端口处均铰接安装设置有密封门,两个所述密封门均与密封传递仓之间安装有锁扣,所述密封传递仓的侧边处固定连接有安装壳,所述安装壳的内腔中安装设置有离子风机,所述密封传递仓的内腔安装设置有辅助结构。本申请通过辅助结构配合离子风机可以对进行传递的物件进行吹离子风除静电处理,通过辅助结构可以使得物件与离子风之间进行充分接触,使得除静电效果更好,本申请通过杀菌结构可以有效的对传递的物品进行杀菌处理,通过紫外线灯柱进行照射杀菌
- 一种隔离传递窗
- [发明专利]一种使用可控脉冲辅助电极的黄金提纯方法-CN01105225.2无效
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周勤;刘景
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上海三电科技实业公司
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2001-01-16
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2002-08-28
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C25C1/20
- 一种使用可控脉冲辅助电极的黄金提纯方法,在电源的负极和阴极之间设置一个辅助电极,辅助电极与阴极并联,外壳由非金属材料构成,内部为导体,外壳的分子间间隙小于金离子的直径,使电解液中的金离子不会在辅助电极的表面还原,阳极溶解下来的额外的金离子,增加到阴极表面,从而在电解液浓度较低,阴、阳极电流较大,提纯周期较短的条件下,在阴极得到更高纯度的黄金。
- 一种使用可控脉冲辅助电极黄金提纯方法
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