专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]离子体处理系统中的等离子体限制结构-CN200980150203.6有效
  • 艾利克·哈德森;安德里亚斯·费舍尔 - 朗姆研究公司
  • 2009-12-16 - 2011-11-16 - H05H1/24
  • 提供了一种配置为用于在衬底的等离子体处理中限制等离子体处理室中的等离子体的可移动离子体限制结构。该可移动离子体限制结构包括配置为环绕该等离子体的可移动面向等离子体结构。该可移动离子体限制结构还包括可移动导电结构,该可移动导电结构设置于可移动面向等离子体结构的外部且配置与所述可移动面向等离子体结构作为单个装置展开和收缩以促进该衬底的处理。可移动导电结构在等离子体处理中射频(RF)接地。在等离子体处理中可移动面向等离子体结构配置于等离子体和可移动导电结构之间以便在等离子体处理中来自于等离子体的RF流经由面向等离子体结构流向可移动导电结构。
  • 等离子体处理系统中的限制结构
  • [发明专利]移动型等离子装置-CN201580000422.1在审
  • 梁昶实;金太龙;朴钟仁;权奇清 - 韩国凡一半导体材料
  • 2015-08-07 - 2017-05-31 - H01L21/3065
  • 本发明涉及一种移动型等离子装置,尤其是可产生等离子的等离子发生部可以移动,使基板织构化(Texturing)的移动型等离子装置。本发明的移动型等离子装置包括上面配置有基板的托盘(tray);发生等离子,喷向配置有所述托盘方向的等离子发生部;使所述等离子发生部相对于所述托盘做直线运动的移动部。所述等离子发生部在做直线移动的同时,可向放在所述托盘上的所述基板喷射等离子
  • 移动等离子装置
  • [发明专利]组合型晶片区域压力控制和等离子体限定组件-CN200980150482.6有效
  • 安德里亚斯·费舍尔;阿基拉·舆石 - 朗姆研究公司
  • 2009-12-16 - 2011-11-23 - H05H1/34
  • 提供了在衬底的等离子体处理过程中限定等离子体以及为至少部分地调节等离子体处理室中的压力而配置的组合型压力控制/等离子体限定组件。该组件包括其中有多个穿孔且被配置为于伸出时包围等离子体的可移动离子体限定结构。该组件还包括可移动压力控制结构,设置在可移动离子体限定结构外面,使得可移动离子体限定结构在等离子体处理过程中设置于等离子体与可移动压力控制结构之间,可移动压力控制结构可随可移动离子体限定结构而伸出和缩回以便于处理衬底,可移动压力控制结构相对于可移动离子体限定结构独立地移动以通过阻塞至少部分多个穿孔来调节压力。
  • 组合晶片区域压力控制等离子体限定组件
  • [发明专利]离子注入设备-CN201110262822.3无效
  • 钱锋 - 上海凯世通半导体有限公司
  • 2011-09-06 - 2013-03-20 - H01J37/317
  • 本发明公开了一种离子注入设备,其包括一制程真空腔、一用于移动工件的工件移动装置以及一用于移动离子束的离子移动装置,该工件移动装置和该离子移动装置用于协同运行以在该制程真空腔中完成离子束对工件的注入,所述离子束为斑状束流,该工件移动装置和该离子移动装置使离子束在工件表面上的注入轨迹为螺旋线。本发明的该离子注入设备能够提高离子束的利用率、保证注入的剂量均匀性和角度均匀性、降低离子束的束流调整难度及耗时、提高离子注入的生产效率、降低设备的机械设计难度及制造费用、并提高设备的运行稳定性。
  • 离子注入设备
  • [实用新型]一种具有移动电源功能的离子-CN201620567139.9有效
  • 陆世尧 - 南京城市职业学院
  • 2016-06-13 - 2016-11-23 - H02J7/00
  • 传统的移动电源因为体积较大,重量较重,需要单独携带等缺点,已经不能满足现代智能化、便捷化的需求。本实用新型公开了一种带移动电源功能的离子梳,该实用新型涉及离子梳设备与移动电源融合的技术,通过修改移动电源的主控制板,将负离子发生器集成在移动电源内部,并在其上加装一个离子梳,通过移动电源给离子梳供电。使得使用者不仅携带离子梳的同时还具有移动电源功能。
  • 一种具有移动电源功能离子
  • [实用新型]移动终端-CN202022079219.9有效
  • 邰德民 - 邰德民
  • 2020-09-21 - 2021-04-06 - H01T23/00
  • 本实用新型提供了移动终端,包括:移动终端本体和纳子富勒烯负离子发生器;其中,纳子富勒烯负离子发生器包括:负离子发生器本体和至少一根富勒烯碳纤维丝;纳子富勒烯负离子发生器设置在移动终端本体的内部;移动终端本体中的电源与纳子富勒烯负离子发生器相连;电源为纳子富勒烯负离子发生器供电;移动终端本体的外壳上设置有负离子扩散口;至少一根富勒烯碳纤维丝的第一端与负离子发生器本体的输出端相连,第二端位于负离子扩散口中;纳子富勒烯负离子发生器在至少一根富勒烯碳纤维丝的第二端产生空气负离子,空气负离子由负离子扩散口扩散到移动终端本体外部。本实用新型方便使用移动终端的用户进行保健。
  • 移动终端
  • [实用新型]可自清洁的除静电离子风机-CN202123294049.7有效
  • 李大利 - 上海鸿隽电子科技有限公司
  • 2021-12-26 - 2022-08-26 - H05F3/04
  • 本实用新型涉及离子风机技术领域,且公开了可自清洁的除静电离子风机,包括移动机构、固定机构、本体机构和清洁机构,所述固定机构位于移动机构的上端,所述本体机构位于固定机构的内端。该可自清洁的除静电离子风机,移动滚轮可使该离子风机能够灵活进行移动,避免还需使用者手动拿取的不便,能够使用于不同场景,且减震装置能够在移动时有效减震,避免外部震动对该离子风机造成损坏,提高了该离子风机的移动效果,清洁毛刷由电动推动杆带动做上下移动工作,使清洁毛刷能够在除静电离子风机本体的外端,将灰尘进行清除,避免该离子风机使用时间长灰尘积累,影响除静电离子风机本体除静电效果的情况,提高了该离子风机的自清洁效果
  • 清洁静电离子风机
  • [实用新型]离子移动抽气装置-CN201922460583.7有效
  • 董小平;李松松;魏桃;周金花;罗宁 - 江苏大信环境科技有限公司
  • 2019-12-31 - 2020-09-29 - B08B15/04
  • 本实用新型涉及一种等离子移动抽气装置,它包括与移动式等离子设备相连的等离子吸风箱,所述等离子吸风箱设在等离子吸风除尘通道上,所述等离子吸风除尘通道包括格栅段和转接段,所述格栅段的顶端为开口端,在所述开口端上设有支撑格栅,所述等离子吸风箱设在支撑格栅上,所述等离子吸风箱包括箱体,在所述箱体内侧面下部设有收集口,在所述箱体的前端面和后端面上都设有滚筒,在所述支撑格栅和滚筒之间设有软皮带。
  • 等离子移动装置
  • [实用新型]移动终端保护壳-CN202022079756.3有效
  • 邰德民 - 邰德民
  • 2020-09-21 - 2021-04-20 - H01T23/00
  • 本实用新型提供了移动终端保护壳,包括:移动终端保护壳本体、纳子富勒烯负离子发生器和电源;纳子富勒烯负离子发生器包括:负离子发生器本体和至少一根富勒烯碳纤维丝;移动终端保护壳本体开设有空腔;纳子富勒烯负离子发生器和电源均设置在空腔内;电源与负离子发生器本体相连;移动终端保护壳本体上设置有负离子扩散口;至少一根富勒烯碳纤维丝的第一端与负离子发生器本体的输出端相连,第二端位于负离子扩散口中;纳子富勒烯负离子发生器在至少一根富勒烯碳纤维丝的第二端产生空气负离子,空气负离子由负离子扩散口扩散到移动终端保护壳外部。可以方便使用移动终端的用户进行保健。本方案可以方便使用移动终端的用户进行保健。
  • 移动终端保护
  • [实用新型]一种等离子体炬自动进退装置-CN202120256911.6有效
  • 王山;孙毅晨;陶应翔;吴忠勇;王卫民;谢庚;雷仲波 - 重庆新离子环境科技有限公司
  • 2021-01-29 - 2021-12-07 - F27B14/14
  • 本实用新型公开了一种等离子体炬自动进退装置,包括一端连接在熔炉炉壁上且与等离子体炬进出通道平行的滑轨,滑轨上开设齿轮,滑轨啮合驱动移动结构,驱动移动结构连接控制器,驱动移动结构上连接等离子体炬固定圈,等离子体炬固定圈上沿等离子体炬进出通道方向连接等离子体炬;通过控制器,实现驱动移动结构沿滑轨移动,进而带动等离子体炬沿等离子体炬进出通道移动,完全替代人工拆装等离子体炬,避免了人工拆装的安全风险;滑轨上位于齿轮两端分别连接一个光电开关,起到对等离子体炬的限位作用,且在等离子体炬进水管上连接流量开关,提高等离子体炬使用的安全性。
  • 一种等离子体自动进退装置

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