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[实用新型]非真空制作铜铟镓硒光吸收层的装置-CN201020114943.4无效
发明人：陈文仁;杨益郎;林群福 -专利权人：昆山正富机械工业有限公司
申请日： 2010-02-11 - 公布日： 2010-11-24 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种制作铜铟镓硒和/或硫光吸收层的装置，特别是一种非真空制作铜铟镓硒光吸收层的装置，包括快速升温退火热处理炉，设于炉内的传送机构，包括硒蒸汽产生器，硒蒸汽供应管及控制阀的向炉体内供给硒蒸汽的硒蒸气供给装置，以及端部设有排气阀的设于炉体出口端的排气管，其中设有硒蒸汽循环装置，所述硒蒸汽循环装置包括蒸汽回流管，设于蒸汽回流管中部的循环泵，所述蒸汽回流管的一端连接所述排气管，另一端连接所述硒蒸汽供应管。多个进气通道使炉内能形成均匀硒蒸气环境，增加硒蒸气和光吸收预制层基板接触时间，提高硒蒸气协助长晶的功能。硒蒸汽循环装置，硒蒸气回收再使用，降低硒蒸气的使用量，提高硒利用率。
真空制作铜铟镓硒光吸收装置

[发明专利]一种硒蒸汽的制备装置及制备方法-CN201510105392.2有效
发明人：王雪戈;汤登超;李德林 -专利权人：深圳首创新能源股份有限公司
申请日： 2015-03-10 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： F22B1/28 文献下载
摘要：本发明适用于硒蒸汽制备技术领域，公开了一种硒蒸汽的制备装置，其包括底座、设于底座上的箱体、设于箱体内的硒固体加热装置，箱体上设置有用于抽真空用的排气口及用于填充氮气的进气口；硒固体加热装置包括具有内腔的加热罐、缠绕于加热罐外壁上的加热丝，硒蒸汽的制备装置还包括与加热罐的内腔相连通的硒蒸汽应用模块，加热罐上设有第一控制阀，以控制加热罐与硒蒸汽应用模块之间的通断状态；加热罐上连通有一用于向加热罐内填充氮气的进气管本发明中，其通过于密封箱体内设置加热罐，加热罐内可将硒固体蒸发成硒蒸汽,并于箱体内填充氮气，从而使得加热罐可被氮气层包围，为硒蒸汽提供较安全的防护措施,从而可安全有效地制备硒蒸汽。
一种蒸汽制备装置方法

[发明专利]一种CIGS柔性太阳能电池片硒源的线性源装置-CN202110727129.2有效
发明人：罗明新;张卫彪;任宇航;任宇珂 -专利权人：浙江尚越新能源开发有限公司
申请日： 2021-06-29 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C23C14/24 文献下载
摘要：本发明涉及一种CIGS柔性太阳能电池硒源的线性源装置，解决以下镀膜不均匀问题：传统CIGS共蒸法的硒源为点状硒源，硒源到基底属于点状蒸发到基底表面，在点状喷口形成高斯分布，存在横向镀膜不均匀的现象。本装置包括圆柱壳状的线性硒源容器，线性硒源容器的侧面沿圆柱法线方向开设有一条直线型的硒蒸汽喷口，线性硒源容器连接有盒状硒源，盒状硒源内部装有待蒸发的硒金属，盒状硒源设有进料口和点状喷口，盒状硒源在硒金属上方设置加热源本发明圆柱壳状的线性硒源容器，形成硒蒸汽线性源，减少硒蒸汽输出后的横向扩散，降低盒状硒源供气波动对硒蒸汽输出的影响，提高硒蒸汽的稳定性；同时可以在线性硒源容器进行二次加热，增强硒源二次激发活性。
一种 cigs 柔性太阳能电池片硒源线性装置

[发明专利]在铜铟镓硒化合物工艺中增强的硒供给-CN201410123286.2有效
发明人：吕维伦;吴志力;严文材 -专利权人：台湾积体电路制造股份有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： C23C14/50 文献下载
摘要：本发明提供了一种用于在基板上沉积硒的系统，其包括基板载具，该基板载具包括主体、保持基板的装置、以及形成在主体中用于将一流量的硒蒸汽导向至基板上的多个硒蒸汽排出口。硒供应容器将硒蒸汽提供至硒蒸汽排出口。本发明还公开了在铜铟镓硒化合物工艺中增强的硒供给。
铜铟镓硒化合物工艺增强供给

[发明专利]一种用于硒化或硫化处理的可控硒蒸汽或硫蒸汽的产生装置及方法-CN201110082240.7有效
发明人：潘勇;范清喜;周杰;陈浩;李凯;周兆峰 -专利权人：湘潭大学
申请日： 2011-04-01 - 公布日： 2011-11-23 - 主分类号： F22B33/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于硒化或硫化处理的高活性可控硒或硫蒸汽的产生装置及方法。本发明将硒或硫蒸汽产生装置的存储功能和加热功能分开，较大的固态硒或硫源储料室可一次加足连续生产所需用量；较小的高温气化室保证了固态硒或硫的快速气化和硒或硫的活性，同时降低了加热能耗；连续送料装置将储料室的固态硒或硫送入到高温气化室产生硒蒸汽，通过控制送料速度实现了对硒或硫蒸汽的通断和浓度的控制。
一种用于硫化处理可控蒸汽产生装置方法

[发明专利]一种多层富硒锅-CN202010902441.6在审
发明人：陈继兵 -专利权人：武汉轻工大学
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2020-11-10 - 主分类号： A47J27/00 文献下载
摘要：本发明公开一种多层富硒锅，涉及烹饪器具技术领域。所述多层富硒锅包括锅体，其中，锅体包括内层、外层和富硒体，所述内层限定出向上开口的烹饪腔，且所述内层为多孔材料层；所述外层位于所述内层的外侧，且与所述内层间隔形成用于容置水的密闭腔室；所述富硒体设于所述密闭腔室内，在所述密闭腔室内的水受热形成蒸汽时，所述富硒体与所述蒸汽接触形成富硒蒸汽。本发明提供的多层富硒锅，只有在对锅体进行加热时，水受热形成蒸汽，才会与富硒体接触，因此，本发明提供的多层富硒锅可以用来盛放食物或者定时操作，实用性较高。
一种多层富硒锅

[实用新型]一种多层富硒锅-CN202021870088.X有效
发明人：陈继兵 -专利权人：武汉轻工大学
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： A47J27/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种多层富硒锅，涉及烹饪器具技术领域。所述多层富硒锅包括锅体，其中，锅体包括内层、外层和富硒体，所述内层限定出向上开口的烹饪腔，且所述内层为多孔材料层；所述外层位于所述内层的外侧，且与所述内层间隔形成用于容置水的密闭腔室；所述富硒体设于所述密闭腔室内，在所述密闭腔室内的水受热形成蒸汽时，所述富硒体与所述蒸汽接触形成富硒蒸汽。本实用新型提供的多层富硒锅，只有在对锅体进行加热时，水受热形成蒸汽，才会与富硒体接触，因此，本实用新型提供的多层富硒锅可以用来盛放食物或者定时操作，实用性较高。
一种多层富硒锅

[实用新型]可提高硒化质量的硒化反应装置-CN201520537907.1有效
发明人：潘军祥;来霸;王奇 -专利权人：南京汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种可提高硒化质量的硒化反应装置，包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道、混合气体流通通道、反应室；本申请所述的可提高硒化质量的硒化反应装置，利用微波发生装置离化硒原子，分散硒的大分子团，提高硒原子能量；传统方式中惰性气体是不加热的，本设计方案中加热惰性气体可以更好的保持硒蒸汽流的能量；本装置中两股气流交汇的方式采用了平行交汇，取消了传统的垂直交汇；使用可加热式匀流板提高硒蒸汽分布的均匀性
提高质量反应装置

[发明专利]真空硒化装置和真空硒化的方法-CN201510712505.5有效
发明人：常有军;黄福林;刘远宏 -专利权人：河北曹妃甸汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-10-28 - 公布日： 2018-10-23 - 主分类号： C23C14/58 文献下载
摘要：本发明提出了一种真空硒化装置和真空硒化的方法。该装置包括：本体，所述本体内限定出真空硒化空间；硒蒸汽回收单元，所述硒蒸汽回收单元设置在所述本体的内壁上；以及真空泵，所述真空泵设置在所述本体的外壁上，并且所述真空泵与所述硒蒸气回收单元相连。由此，可以将硒蒸汽回收单元与真空泵分开设置，进而可以避免对真空泵进行频繁的周期性清理维护，进而可以提高该装置的生产效率。
真空化装方法

[发明专利]可提高硒化质量的硒化反应装置及进行硒化反应的方法-CN201510436262.7有效
发明人：潘军祥;来霸;王奇 -专利权人：南京汉能薄膜太阳能有限公司
申请日： 2015-07-23 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种可提高硒化质量的硒化反应装置及进行硒化反应的方法，所述可提高硒化质量的硒化反应装置包括一个硒源蒸发室、硒蒸汽流通通道、载气流通通道、混合气体流通通道、反应室；所述利用可提高硒化质量的硒化反应装置进行硒化反应的方法包括步骤：抽真空；加热棒进行加热；打开微波发生装置，同时加热可加热式匀流板开始反应；反应结束后，腔室一保持继续加热，CIGS基片待温度降至200℃以下，关闭微波发生装置关闭进气阀，同时关闭抽气口；所述可提高硒化质量的硒化反应装置，利用微波发生装置离化硒原子，分散硒的大分子团，提高硒原子能量；该方法不仅可以提高硒的能量，而且可以提高硒蒸汽压及硒蒸汽分布的均匀性，最终提升CIGS电池整体的效率。
提高质量反应装置进行方法

[发明专利]铜锌锡硫薄膜材料的硒化装置和方法-CN202010236832.9有效
发明人：吴会觉;郭林宝;孟庆波;李冬梅;罗艳红;石将建 -专利权人：中国科学院物理研究所
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-09-28 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明提供一种铜锌锡硫薄膜材料的硒化装置。本发明还提供一种铜锌锡硫薄膜材料的硒化方法，包括如下步骤：将硒源放置于硒源区的环形容器内，同时将待硒化的铜锌锡硫薄膜材料的预制膜放置到硒化反应区；然后，接好加热线和热电偶线，封闭舱体；接着用真空泵将舱体内空气抽净，并且将高压氮气补充进舱体，最后通过计算机控制系统控制舱体内的温度和压强，使得硒源受热形成的硒蒸汽通过气体处理区裂解为小分子硒蒸汽，然后向下进入硒化反应区并与所述预制膜发生硒化反应，进而实现对预制膜的硒化本发明的装置和方法能够对硒蒸汽到达预制膜表面的时间和浓度进行精确控制，从而得到高质量铜锌锡硫硒结晶。
铜锌锡硫薄膜材料化装方法

[发明专利]一种镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法-CN201610816436.7有效
发明人：张晓清;汤勇;黄云翔;陆龙生;袁伟;万珍平;李宗涛 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2016-09-10 - 公布日： 2018-12-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种镓元素均匀分布的铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法。该方法通过在硒化反应过程中引入等离子强化硒化刻蚀复合技术，利用等离子提高硒蒸汽活性的同时，也利用等离子对合金预制层进行刻蚀，去除了合金预制层中多余的铟，增大了合金预制层的表面积以利于活化硒蒸汽更好的扩散渗入，使得活化硒蒸汽与铜、铟和镓元素反应更充分，从而实现镓元素在薄膜中分布均匀。本发明制备的铜铟镓硒薄膜其成分中各元素特别是镓元素分布均匀；制备的铜铟镓硒薄膜太阳能电池转换效率大大提高。
一种元素均匀分布铜铟镓硒薄膜太阳能电池及其制备方法

[发明专利]一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉及制备方法-CN201110082043.5有效
发明人：潘勇;范清喜;陈浩;周兆锋;李凯;周杰 -专利权人：湘潭大学
申请日： 2011-04-01 - 公布日： 2011-09-14 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明涉及到一种采用固态硒源法对柔性CIGS太阳能电池预制层连续快速硒化处理形成具有黄铜矿相结构吸收层的硒化炉。炉子两侧设置传动装置，炉子的主体由四部分构成，分别为过渡段、快速加热区、高温硒硫化区和冷却区。过渡段、快速加热区和冷却区充满保护气氛，高温硒硫化区为氮气或氩气与Se、S蒸汽的混合气氛。高温硒硫化区炉腔下部设有气垫装置防止衬底背面被硫化。硒化炉的硒蒸汽供应装置实现硒蒸汽的方便的可控性。
一种处理制备 cigs 太阳能电池吸收硒化炉方法

[发明专利]一种薄膜太阳能电池铜铟镓硒光吸收层的制备方法-CN201510446282.2在审
发明人：张坤峰 -专利权人：厦门神科太阳能有限公司
申请日： 2015-07-27 - 公布日： 2015-11-25 - 主分类号： H01L31/032 文献下载
摘要：本发明公开薄膜太阳能电池铜铟镓硒光吸收层的制备方法，包括以下硒化过程：(1)加热有机硒源，使汽化成蒸汽并挥发；(2)用载气把有机硒源蒸汽经高温活化管道通入反应腔室；(3)金属预制层，按预定加热程序完成硒化流程，形成具有良好结晶的铜铟镓硒光吸收层。本发明采用低毒价廉的有机硒源做为硒化的材料，操作相对安全，能有效降低生产成本，经过高温活化的有机硒源，能促使形成良好铜铟镓硒结晶。本发明工艺简单，可重复性高，适合大规模工业化生产。
一种薄膜太阳能电池铜铟镓硒光吸收制备方法

[实用新型]一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉-CN201120093917.2无效
发明人：潘勇;范清喜;陈浩;周兆锋;李凯;周杰 -专利权人：湘潭大学
申请日： 2011-04-01 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： C23C8/08 文献下载
摘要：本实用新型涉及到一种采用固态硒源法对柔性CIGS太阳能电池预制层连续快速硒化处理形成具有黄铜矿相结构吸收层的硒化炉。即一种处理制备CIGS太阳能电池吸收层的硒化炉，炉子两侧设置传动装置，炉子的主体由四部分构成，分别为过渡段、快速加热区、高温硒硫化区，冷却区。过渡段、快速加热区和冷却区充满保护气氛，高温硒硫化区为氮气或氩气与Se、S蒸汽的混合气氛。高温硒硫化区炉腔下部设有气垫装置防止衬底背面被硫化。硒化炉的硒蒸汽供应装置实现硒蒸汽的方便的可控性。
一种处理制备 cigs 太阳能电池吸收硒化炉

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