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[发明专利]半导体结构及制造方法-CN201180050427.7有效
发明人： B·A·安德森;E·J·诺瓦克 -专利权人：国际商业机器公司
申请日： 2011-09-06 - 公布日： 2016-11-09 - 主分类号： H01L29/66 文献下载
摘要：所述方法包括在包括下伏绝缘体层（10b）的衬底（18’）的硅层上形成至少一个芯轴（图5中的14）。该方法进一步包括蚀刻硅层以在至少一个芯轴之下形成至少一个硅岛（18’）。该方法进一步包括对至少一个硅岛的侧壁执行离子注入以在侧壁上形成掺杂区（20）。该方法进一步包括在衬底上形成介电层，平坦化介电层的顶表面以便与至少一个芯轴（14）的顶表面共面。该方法进一步包括去除至少一个芯轴（14）以在介电层中形成开口。该方法进一步包括蚀刻至少一个硅岛以形成具有掺杂的源极和漏极区的至少一个鳍片岛。
半导体结构制造方法

[实用新型]一种多层增强RTP管-CN201921452410.4有效
发明人：张建新 -专利权人：航天晨光（福建）管业科技有限公司
申请日： 2019-09-03 - 公布日： 2020-05-19 - 主分类号： F16L9/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及管道工程技术领域，尤其涉及一种多层增强RTP，包括管材主体，所述管材主体由内至外依次包括二硫化钼耐磨层、硅芯内层、超高分子聚乙烯层、氟橡胶树脂层和有机硅耐高温层；所述超高分子聚乙烯层的内部自靠近硅芯内层的一侧向靠近氟橡胶树脂层的一侧依次间隔设有石棉网层、竹纤维层以及碳素纤维层。
一种多层增强 rtp

[发明专利]一种结构紧凑的可调三维电感器-CN202010255621.X在审
发明人：王凤娟;任睿楠;余宁梅 -专利权人：西安理工大学
申请日： 2020-04-02 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： H01L23/522 文献下载
摘要：本发明公开的一种结构紧凑的可调三维电感器，包括硅衬底层，硅衬底层的上表面设置有顶部介质层，硅衬底层的下表面设置有底部介质层，顶部介质层和底部介质层内均同心设置有两个环形磁芯，顶部介质层靠外的磁芯和底部介质层靠外的磁芯外共同绕合有第一螺旋电感器，顶部介质层靠内的磁芯和底部介质层靠内的磁芯外共同绕合有与第一螺旋电感器相互分离的第二螺旋电感器，第一螺旋电感器靠内的一端和第二螺旋电感器靠外的一端通过位于顶部介质层或底部介质层内的金属条相连接。
一种结构紧凑可调三维电感器

[发明专利]用于制备光学导波器的方法-CN200880124424.1无效
发明人：张俊颖;特里·L·史密斯;巴里·J·科赫;易亚沙 -专利权人： 3M创新有限公司
申请日： 2008-11-21 - 公布日： 2010-12-08 - 主分类号： G02B6/132 文献下载
摘要：本发明提供了一种制备导波器的方法，所述方法包括以下步骤：(a)提供导波器结构，所述导波器结构包括基底(22)、在所述基底上的下包层(20)和芯层(24)，所述芯层(24)包含在所述下包层上的氮化硅、无定形硅或无定形硅-锗合金；(b)将所述芯层图案化；以及(c)退火(28)所述导波器结构。
用于制备光学导波方法

[发明专利]一种抑制区熔级多晶硅CVD过程中硅枝晶生长的界面浸润性调控方法-CN202110573715.6在审
发明人：梁正;孟国均;李建设;吕永峰;郭蕊;钱光凝;仪得志;陈源茂;刘纪江;丁远清 -专利权人：河南硅烷科技发展股份有限公司
申请日： 2021-05-25 - 公布日： 2021-09-14 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：本发明公开了一种抑制区熔级多晶硅CVD过程中硅枝晶生长的界面浸润性调控方法，涉及区熔级多晶硅领域，包括U型硅芯表面除去表面杂质；置于热裂解炉反应器内部，用氮气置换空气；用氢气置换氮气；持续通入氢气，对反应器内硅芯加载电流，使硅芯表面氧化层还原，调控其浸润性并构筑“超亲硅”表面；调节电流控制硅芯达到反应温度，通入高纯硅烷和高纯氢气的混合气，硅烷在硅芯表面高温裂解，产物硅在“超亲硅”硅芯表面均匀成核、“层状生长”，最终得到致密的多晶硅棒本发明通过表界面调控，降低成核势垒，可有效抑制硅沉积过程中的“岛状生长”与硅枝晶问题，从而获得满足区熔级多晶硅力学性能的产品，设计合理，操作方便，实用性强。
一种抑制区熔级多晶 cvd 过程中硅枝晶生长界面浸润调控方法

[发明专利]用于功率应用和射频应用的工程化衬底结构-CN201780049691.6有效
发明人：弗拉基米尔·奥德诺博柳多夫;杰姆·巴斯切里;莎丽·法伦斯 -专利权人：克罗米斯有限公司
申请日： 2017-06-13 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：一种衬底，所述衬底包括支撑结构，该支撑结构包括：多晶陶瓷芯；第一粘附层，其耦合到多晶陶瓷芯；导电层，其耦合到第一粘附层；第二粘附层，其耦合到导电层；和阻挡层，其耦合到第二粘附层。所述衬底还包括：氧化硅层，其耦合到支撑结构；实质单晶硅层，其耦合到氧化硅层；和外延III‑V层，其耦合到实质单晶硅层。
用于功率应用射频工程衬底结构

[发明专利]光检测器-CN201680048167.2有效
发明人：福田浩;龟井新;都筑健;地蔵堂真;菊池清史 -专利权人：日本电信电话株式会社
申请日： 2016-08-26 - 公布日： 2020-03-03 - 主分类号： H01L31/10 文献下载
摘要：具备：硅基板、形成于硅基板上的下部包层、形成于下部包层上的芯层、形成于芯层的一部分的掺杂了p型杂质离子的p型硅板、高浓度地掺杂了p型杂质并起到作为电极的作用的p++硅电极部、以及吸收光的锗层。还具备：上部包层、锗层的上部的掺杂了n型杂质的n型锗区域、以及电极。本发明在p型硅板上具备两个锗层，由此，能通过使各锗层的与p型硅板相接的面积小型化，来削弱由穿透位错导致的暗电流。
检测器

[发明专利]一种无掺杂硅基二氧化硅波导-CN201310176143.3有效
发明人：冯丽爽;王俊杰;刘惠兰 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2013-05-14 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： G02B6/122 文献下载
摘要：本发明公开了一种无掺杂硅基二氧化硅波导，包括：硅片经热氧化而形成的二氧化硅层B，采用化学气相沉积法（包括但不限于等离子体增强化学气相沉积法PECVD和低压化学气相沉积法LPCVD）形成的二氧化硅层C，采用沉积非晶硅薄膜后经完全热氧化形成的二氧化硅层所述二氧化硅层B用作所述无掺杂硅基二氧化硅波导的下包层；所述二氧化硅层C用作所述无掺杂硅基二氧化硅波导的芯层，该层可以作为平板波导结构的芯层，也可以经刻蚀形成条状波导结构的芯层；所述二氧化硅层T用作所述无掺杂硅基二氧化硅波导的上包层由于采用了无掺杂设计，所述硅基二氧化硅波导具有抗辐照能力强，缺陷少，损耗低的特点。
一种掺杂二氧化硅波导

[发明专利]一种防鼠硅芯管的生产方法-CN202011388544.1有效
发明人：雷元德;雷勋耀 -专利权人：荆州亮诚科技股份有限公司;刘彬
申请日： 2020-12-02 - 公布日： 2022-04-29 - 主分类号： B29C48/09 文献下载
摘要：本发明涉及一种防鼠硅芯管的生产方法，属硅芯管生产工艺技术领域。该防鼠硅芯管的生产方法，生产出来的防鼠硅芯管呈三层结构；其外层和内层中含有的玻璃纤维占比较小，中层含有的玻璃纤维占比较大，从而使该防鼠硅芯管在能够保证良好的力学性能的条件下，又能使外表和内壁保持光滑；还能保证防鼠效果，由此解决了现有防鼠硅芯管生产技术中存有的防鼠效果不佳和生产成本高的问题；满足了企业生产和使用的需要。
一种防鼠硅芯管生产方法

[实用新型]新型防腐平板太阳能板芯-CN201220057545.2有效
发明人：吴淑宽 -专利权人：山东京普太阳能科技有限公司
申请日： 2012-02-10 - 公布日： 2012-09-12 - 主分类号： F24J2/46 文献下载
摘要：一种新型防腐平板太阳能板芯，其特征在于：在由铜管和铝翼片组成的板芯表面喷涂黑色有机硅耐高温漆层，所述的有机硅耐高温漆层，是能经受高温氧化和其它介质腐蚀的、500℃高温下物理性能稳定的有机硅耐高温漆喷涂在板芯表面形成的覆盖层本实用新型有益效果：由于有机硅耐高温漆耐热性能好，与基体结合力强，黑色无光、漆膜平整，高温下物理性能稳定，不脱落、不开裂、不粉化，有效防止空气、水、其他介质对板芯的腐蚀，延长板芯使用寿命。
新型防腐平板太阳能

[发明专利]一种耐高温面料-CN201710409005.3在审
发明人：沈琦 -专利权人：杭州琪瑶纺织有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2017-10-03 - 主分类号： A41D31/02 文献下载
摘要：本发明提出了一种耐高温面料，包括基布层、吸水层、防水透湿层、抗菌层、阻燃层和防护层，所述基布层上表面自下至上依次设有复合有吸水层、防水透湿层、抗菌层、阻燃层和防护层，所述抗菌层与防水透湿层、阻燃层之间设有胶粘层，所述胶粘层内均匀排列耐火管，所述阻燃层的纱线为包芯丝纤维，所述包芯丝纤维包括高硅氧玻璃纤维、腈氯纶纤维，所述腈氯纶纤维缠绕在高硅氧玻璃纤维上。阻燃层采用腈氯纶纤维缠绕在高硅氧玻璃纤维上的包芯纤维，具有耐高温、阻燃的效果，吸水层采用超细纤维包芯纤维，超细纤维单丝是普通纤维的1/20，能够使织物蓬松柔软，具有丰富的毛细管效应，可以及时吸收人体排出的汗液；防水透湿层具有防水透气的性能。
一种耐高温面料

[实用新型]一种耐高温面料-CN201720637652.5有效
发明人：沈琦 -专利权人：杭州琪瑶纺织有限公司
申请日： 2017-06-02 - 公布日： 2017-12-29 - 主分类号： A41D31/02 文献下载
摘要：本实用新型提出了一种耐高温面料，包括基布层、吸水层、防水透湿层、抗菌层、阻燃层和防护层，所述基布层上表面自下至上依次设有复合有吸水层、防水透湿层、抗菌层、阻燃层和防护层，所述抗菌层与防水透湿层、阻燃层之间设有胶粘层，所述胶粘层内均匀排列耐火管，所述阻燃层的纱线为包芯丝纤维，所述包芯丝纤维包括高硅氧玻璃纤维、腈氯纶纤维，所述腈氯纶纤维缠绕在高硅氧玻璃纤维上。阻燃层采用腈氯纶纤维缠绕在高硅氧玻璃纤维上的包芯纤维，具有耐高温、阻燃的效果，吸水层采用超细纤维包芯纤维，超细纤维单丝是普通纤维的1/20，能够使织物蓬松柔软，具有丰富的毛细管效应，可以及时吸收人体排出的汗液；防水透湿层具有防水透气的性能。
一种耐高温面料

[发明专利]双重图形氧化硅芯轴制备方法-CN202010894940.5有效
发明人：赵刘明;许鹏凯;刘丽媛;康天晨 -专利权人：上海华力微电子有限公司
申请日： 2020-08-31 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： H01L21/033 文献下载
摘要：本发明公开了一种双重图形氧化硅芯轴制备方法，包括：在第一无定形硅层上生长第一氧化硅层；第一氧化硅层上沉积硬模板前驱体；在硬模板前驱体上生长第二氧化硅层；第二氧化硅层上涂覆光刻胶，打开光刻窗口进行光刻曝光及显影；刻蚀出沟槽深度达到第一氧化硅层，形成硬模板；采用聚硅氮烷填入沟槽，并将沟槽填满反应生成形成氧化硅；研磨去除第二氧化硅层直至露出硬模板；刻蚀去除硬模板；尺寸修剪，获得氧化硅芯轴。相对于现有技术，本发明采用多晶硅作为硬模板，将氧化硅填入其中，能够有效改善氧化硅芯轴Oxide Core楔形形貌和刻蚀停止层的硅损失。
双重图形氧化硅芯轴制备方法

[实用新型]一种抗变形石材蜂窝板-CN201820558593.7有效
发明人：张荣来 -专利权人：江苏长青艾德利装饰材料有限公司
申请日： 2018-04-18 - 公布日： 2019-01-01 - 主分类号： B32B7/12 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种抗变形石材蜂窝板，由上至下依次为石材薄板层、第一铝板层、蜂窝芯层、第二铝板层和硅巢板层，相邻的两层之间由粘结剂层粘结固定。本实用新型在底层铝板下方增加了硅巢板，不同于铝材，硅巢板与表层的石材薄板的膨胀系数接近，从而板材不会因为温度的变化产生变形，在昼夜温差大的地方不会影响施工质量。本实用新型在铝板层上开设有密集的阵列通孔，保证石材薄板层、铝板层和蜂窝芯层能够完全粘接成一体，以及硅巢板层、铝板层和蜂窝芯层能够完全粘接成一体，且每层之间均无气泡。
铝板层巢板蜂窝芯层本实用新型石材薄板层抗变形粘接石材蜂窝板底层铝板膨胀系数石材薄板粘结固定粘结剂层阵列通孔昼夜温差两层铝材蜂窝石材变形施工保证

[发明专利]压粉磁芯用粉末，由压粉磁芯用粉末通过粉末压制形成的压粉磁芯，以及制造压粉磁芯用粉末的方法-CN201080012924.3有效
发明人：杉山昌挥;山口登士也;大平翔太;服部毅;大石雄介 -专利权人：丰田自动车株式会社
申请日： 2010-09-21 - 公布日： 2012-02-22 - 主分类号： B22F1/02 文献下载
摘要：一种压粉磁芯用粉末(1)，其包括软磁性金属粉末(2)和由在软磁性金属粉末的表面中浓化的硅形成的硅浸透层(3)，其中在二氧化硅粉末(8)的一部分浸透并扩散在硅浸透层(3)中并且其他部分从硅浸透层(3)的表面突出的情况下，二氧化硅粉末(8)扩散接合到硅浸透层(3)的表面以形成扩散接合部分(4)。扩散接合部分(4)相对于另一个压粉磁芯用粉末(1)产生间隙(S)，从而提供增大的比电阻。
压粉磁芯用粉末通过压制形成压粉磁芯以及制造方法