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[发明专利]单晶硅的制造方法-CN201580046213.0有效
发明人：安村健;橘昇二 -专利权人：株式会社德山
申请日： 2015-08-27 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明的目的在于开发一种通过含有碳来抑制结晶缺陷的单晶硅的制造方法，采用该方法，碳容易地向硅融液的混合、熔解。本发明的单晶硅的制造方法是从收纳在坩锅内的硅融液中拉制出单晶硅的同时使其成长的单晶硅体的制造方法，使用利用西门子法制造出的多晶硅棒中的位于棒末端的与碳制芯线保持部件之间的接触附近部的破碎物，来作为该硅原料的至少一部分
单晶硅制造方法

[发明专利]一种新型结构线切片工艺-CN201710339535.5有效
发明人：李振华 -专利权人：南通综艺新材料有限公司
申请日： 2017-05-15 - 公布日： 2017-10-17 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种新型结构线切片工艺，包括如下步骤：浆料更换，使液位准确；上棒夹紧，工件安装到位；文件设定，使线台速流量匹配，张力大小波匹配；预热开切，保证线网洁净度；升棒下棒，使工件切透。本发明中使用结构钢线替代传统钢线，在切割硅棒过程中会增大碳化硅颗粒的附着力，不容易从结构钢线表面脱落，使结构钢线携带比较多的砂浆参与硅块的切割。也大大提高了结构钢线的切割能力。
一种新型结构切片工艺

[发明专利]硅棒加工方法和系统-CN202310738677.4在审
发明人：任帅;陆宇 -专利权人：清电光伏科技有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本申请涉及一种硅棒加工方法和系统。所述方法包括：利用切方设备对待加工硅棒进行切方处理，并将切方后的半成品方棒放置在载料托盘中；通过加工传输线将所述载料托盘传输至扫码器；利用所述扫码器扫描所述半成品方棒上的可识别码得到方棒信息，并将所述方棒信息传递至中控系统；根据所述中控系统对所述方棒信息的分析结果，将所述半成品方棒抓取至与所述方棒信息对应的目标抛光设备相应加工台面上；利用所述目标抛光设备按照所述中控系统传输的所述分析结果中的目标加工方案对所述半成品方棒进行加工处理，制得成品硅棒。从切方处理到抛光加工处理均采用自动化方式实现，无需人工干预，从而满足客户对于单晶硅的需求量。
加工方法系统

[发明专利]多晶硅棒的断线处理方法-CN201510156569.1在审
发明人：刘耀峰 -专利权人：无锡荣能半导体材料有限公司
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-08-12 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明属于切片机技术领域，公开多晶硅棒的断线处理方法，包括如下步骤：a、在多线切割机切割多晶硅棒过程中，切割线断线后记录断线的切割位置；b、提升多晶硅棒到多线切割机进程，以30mm/min的速度提升至进程15mm的位置；c、剪去原有线网将钢线留在晶棒中间，在提升至最高位置；d、将新的切割线重新绕至多线切割机导轮上；e、下压多晶硅棒至新线网处认好线位置后，抽出原留在晶棒上的旧钢线；f、下压进程位置在断线位置减去
多晶断线处理方法

[发明专利]一种单晶硅棒多工位开方机-CN202211594988.X在审
发明人：梅毅;董荣彪 -专利权人：梅毅
申请日： 2022-12-12 - 公布日： 2023-03-21 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明属于硅棒开方机技术领域，尤其是一种单晶硅棒多工位开方机，针对进行不同工位的开方需要多次固定费事费力降低切割精度的问题，现提出以下方案，包括整体呈长方体结构的操作台，所述操作台的后侧上表面设置有线切割机，且操作台的上表面中部开有与长度方向一致的锥形料槽，锥形料槽的长度大于待开方的硅棒本体的长度，操作台的上表面位于锥形料槽的其中一端固定有固定轴承座，其中，远离固定轴承座所在端为移动调节端。本发明可以在使用时只需对硅棒本体夹持一次即可让线切割机对硅棒本体进行多工位开方，并且经过同一轴心线转动后再开方后的硅棒本体更加规整，减小开方后坯料的偏心概率，提高开方质量。
一种单晶硅棒多工位开方

[发明专利]一种IC用大直径硅切片金刚线切割工艺-CN202010753102.6有效
发明人：贺基凯;邢旭;明兆坤 -专利权人：乐山高测新能源科技有限公司
申请日： 2020-07-30 - 公布日： 2022-07-22 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明属于金刚线切割技术领域，特别涉及一种IC用大直径硅切片金刚线切割工艺，采用多线切割装置进行切割，将晶棒悬挂于线网正上方，设置金刚线线速度、线加速度为、台速等参数后开始切割。本发明将金刚线切片应用于IC用大直径硅切片，找到了适用于IC用大直径硅切片的切割工艺，提高了金刚线切割半导体大直径硅切片切割质量，实现IC用大直径硅切片金刚线对砂浆切割的切割方式迭代。
一种 ic 直径切片金刚切割工艺

[发明专利]一种导流装置-CN202111195139.2在审
发明人：赵力伟;王辉;崔硕浩 -专利权人：宁晋松宫电子材料有限公司
申请日： 2021-10-13 - 公布日： 2022-01-11 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本发明提供一种导流装置，应用于硅棒切片设备，硅棒切片设备包括：用于缠绕金刚线的导轮；以及用于控制导轮转动的电机；导流装置包括：导流板，导流板上设有输出冷却液的出液端，用于向金刚线提供冷却液；驱动机构，驱动机构与导流板连接本发明的导流装置通过实时获取电机驱动导轮的扭矩值，根据扭矩值控制导流板在周向上的旋转角度，使冷却液始终流向金刚线与硅棒的接触点，有效降低了硅片最大厚度与最小厚度的差值、线痕率和金刚线断线率，提高硅片表面质量的同时
一种导流装置

[实用新型]一种用于单晶硅棒加工的进刀机构-CN201822120840.8有效
发明人：曹建伟;傅林坚;沈文杰;张晟明;卢嘉彬;周建灿;王凯;谢龙辉 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2018-12-18 - 公布日： 2019-12-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于单晶硅棒加工的进刀机构，包括开方刀头主体，还包括排线装置；排线装置可拆卸式的安装在开方刀头主体上，排线装置设有八个并分成4组，每组的排线装置的线轮相互平行；排线装置上方还设有安装在开方刀头主体上的换向导轮，换向导轮设有3个，每个换向导轮与相邻组的排线装置相配合，使得排线装置的线轮上的金刚线和换向导轮上的金刚线在开方刀头主体下方形成“井”字形布置。本实用新型通过排线装置及换向导轮使金刚线在开方刀头主体下方形成井字形布设，能使单晶硅棒一次开方完成，提高单晶硅棒开方效率；开方刀头主体内设有的冷却水路，能够随刀头主体运动而运动，可以实现更好的冷却效果，
排线装置开方刀头主体换向导轮单晶硅棒金刚线本实用新型线轮进刀机构可拆卸式冷却水路冷却效果井字形相邻组布设加工平行配合

[发明专利]一种芯片制作用硅晶棒切片装置-CN202110538875.7有效
发明人：刘勇;王立翔;杜培;李锐;高荣聪;倪银敏 -专利权人：重庆电子工程职业学院
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-09-23 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片制作用硅晶棒切片装置，包括有用于夹持硅晶棒的夹持单元、推动单元、沿硅晶棒直径方向进行切片的切片单元、沿硅晶棒长度方向进行切割的切方单元；切片单元包括有三个以上第一转轴，三个以上第一转轴等间距呈等边多边形分布，第一转轴上均等间距的设置有若干个第一导线凹槽，每条第一金刚线均同时位于多根第一转轴上的一个第一导线凹槽内，若干条第一金刚线均自上而下等间距排列；与第一转轴数量相对应的所述夹持单元位于等边多边形的内，每一个夹持单元所夹持的硅晶棒均正对等边多边形的其中一条边
一种芯片制作用硅晶棒切片装置

[实用新型]一种金刚线/树脂线硅棒切片机-CN201621200022.3有效
发明人：张璐;张秀涛;胡德焱;王海超;范常春;陈俊儒;庄旭升;刘秉哲 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2016-10-28 - 公布日： 2017-05-24 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金刚线/树脂线硅棒切片机，包括底座、安装在底座上的切割室组件、绕线室组件、电气控制柜和液路控制组件，所述切割室组件包括切割室主框架、主辊单元、喷淋装置、进刀机构、转向轮组件、过滤网组件以及切割主电机，所述切割主电机通过联轴器一与主辊单元相连，所述主辊单元包括前轴承箱、后轴承箱、切割主辊和连接杆组件，所述切割主辊上分布有切割丝，所述切割丝表面附着有一层金刚石磨粒，本实用新型所公开的硅棒切片机切割效率高，硅棒损耗少。
一种金刚树脂线硅棒切片机

[实用新型]一种压阻式传感器的无引线封装结构-CN202221008505.9有效
发明人：祁建 -专利权人：无锡康森斯克电子科技有限公司
申请日： 2022-04-28 - 公布日： 2022-08-16 - 主分类号： G01L1/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种压阻式传感器的无引线封装结构，包括：压力罩、连接管、高压腔、硅环、硅膜片、接触拨片和焊棒，所述压力罩的内部设置有硅环，所述压力罩的顶部设置有连接管，接触拨片为倒钩状，接触拨片的外侧边与硅环接触，硅环上固定有硅膜片，硅环的内部为高压腔，接触拨片本身有张力，能够保证接触拨片的侧面与硅环的侧面相切，在电阻值发生变化时，保证信号接收稳定，保证有效的数据传输，焊棒与电路板通过信号线连接配合，滑块在收缩弹簧的配合下，能够实现滑块沿支撑板内的滑槽滑动，能够实现对焊棒的拉伸，能够保证接触拨片与硅环之间的紧密性，同时，通过焊棒替换引线，传输能力提高，稳定性更好，能够达到更好的传输效果。
一种压阻式传感器引线封装结构

[发明专利]一种线棒固化加热控制系统-CN201310365355.6有效
发明人：谭晓东;李扬;冷慧明;季炜;王戌 -专利权人：大连交通大学
申请日： 2013-08-19 - 公布日： 2013-11-20 - 主分类号： G05D23/30 文献下载
摘要：本发明公开了一种线棒固化加热控制系统，包括保护电路、可控硅调压器组、变压器组、温度传感器、分线盒组、工控机和PLC系统；所述的可控硅调压器组、变压器组和分线盒组分别包括4个相互独立的可控硅调压器、变压器和分线盒；所述的PLC系统采用模糊PID控制算法，PLC系统对每个线棒夹具上的多个温度传感器所测得的温度进行处理。本发明可同时控制4台或4台以上的机床进行工作，保护电路与工厂动力电源相连，根据所设定的工艺，PLC系统控制可控硅调压器的输出电压，经变压器降压处理后，直接给线棒通电加热。
一种固化加热控制系统

[实用新型]一种可调式透切棒-CN202221610144.5有效
发明人：陈明亮;许卫东;芦佳宾;王长江;吕卓然 -专利权人：河南协鑫光伏科技有限公司
申请日： 2022-06-24 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种可调式透切棒，包括设置在切割机上的吊装架，所述吊装架的上部为多个直径不同的安装柱，所述安装柱上设置有固定板，所述吊装架的下部设置有安装座，所述安装座上通过卡接装置连接有透切装置，所述透切装置底部设置有用于连接硅棒的透切环，所述透切环的外壁直径比硅棒的直径大0‑5mm，减少金刚线与透切环的接触，减少磨损，延长金刚线的使用寿命，防止发生断线。
一种调式透切棒

[实用新型]一种硅棒开方机-CN201720004488.4有效
发明人：郭德政 -专利权人：山西东明光伏科技有限公司
申请日： 2017-01-04 - 公布日： 2017-07-25 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型一种硅棒开方机，属于光伏产业技术领域；所要解决的技术问题是提供一种结构简单的硅棒开方机，定位加工方便，降低了设备制造成本；采用的技术方案是一种硅棒开方机，包括机架、切割台、定位板、切割辊组和切割线，切割台固定设置在机架下部，定位板固定安装在切割台上，多个硅晶圆棒均通过晶托排列固定在定位板上，机架上部通过支架固定安装有多组切割辊组，所述切割辊组上连接有切割线且所有切割线交错成网格；本实用新型是针对多线开方机的改进
一种开方

[发明专利]一种用氯盐去除刚线废料中铁杂质的方法-CN202310360163.X在审
发明人：张照阳;高中明;邢鹏飞;李海煜;庄艳歆 -专利权人：东北大学;扬州盈航硅业科技有限公司
申请日： 2023-04-06 - 公布日： 2023-07-25 - 主分类号： C01B33/037 文献下载
摘要：本发明公开了一种用氯盐去除刚线废料中铁杂质的方法，包括如下步骤：对刚线废料烘干；将烘干后的刚线废料与氯盐充分混合；把高纯电极棒置入熔炼炉，启动熔炼炉，通过电极棒对坩埚进行预热处理，预热完成后将混合后的物料置入炉内进行熔炼；完成精炼后，停止精炼且将硅熔体浇入到中间包中，并通过中间包快速实现渣金的分离，把硅液倒入冷却模具中进行冷却形成高纯硅，把硅渣倒入指定模具中进行冷却回收；该一种用氯盐去除刚线废料中铁杂质的方法，实现了刚线废料的高效回收利用，不仅解决了固体废弃物的堆积问题，污染环境，而且实现了变废为宝，提高了固废的附高价值；本发明实现了刚线废料的二次利用，节约了自然资源。
一种用氯盐去除废料杂质方法