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[发明专利]一种硅晶棒取料系统-CN202110167346.0有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：新一代半导体研究所（深圳）有限公司
申请日： 2021-02-07 - 公布日： 2022-08-19 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本发明涉及一种硅晶棒取料系统，包括工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置，所述的盛料装置包括矩形空心架、盛料板、一号电动推杆、第一推板、水平板、二号电动推杆、第二推板和隔离架，本发明通过设置的工作台、盛料装置、支撑装置和取料装置的配合，首先将需要进行取料的硅晶棒放置到盛料装置中，盛料装置可以根据不同的直径对硅晶棒进行有序排列，从而提高了机械的适用性，此时在通过设置的支撑装置对不同长度的硅晶棒进行限位，使得硅晶棒位于取料装置的正中心位置，最后通过取料装置将硅晶棒进行取料，设置的取料装置使得再对硅晶棒进行取料时不会发生倾斜现象。
一种硅晶棒取料系统

[实用新型]一种FOSB硅晶盒取料机械手-CN202220711455.4有效
发明人：袁军;张学裔;熊伟 -专利权人：深圳市蓝际工业技术有限公司
申请日： 2022-03-29 - 公布日： 2022-07-19 - 主分类号： B29C45/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种FOSB硅晶盒取料机械手，包括机架、第一取料组件和第二取料组件，所述第一取料组件和所述第二取料组件设于所述机架上，所述第一取料组件包括两个水平方向设置的夹臂，所述第二取料组件包括两个竖直方向设置的撑持板，使得第一取料组件在水平方向夹持结构件，第二取料组件在竖直方向夹持侧板，其中第二取料组件中的第二夹持件通过侧板的特殊结构，基于两个撑持板夹持在侧板的放置板上实现固定，使得在取料到下一个注塑工位过程中，结构件和侧板的放置姿态不变，可以实现取料放料和注塑的全自动化过程，提高取料的工作效率，提高FOSB硅晶盒连续生产的自动化率。
一种 fosb 硅晶盒取料机械手

[实用新型]送料装置-CN200720120438.9无效
发明人：高云峰;杨欣荣;孙杰 -专利权人：深圳市大族激光科技股份有限公司
申请日： 2007-06-01 - 公布日： 2008-05-14 - 主分类号： B65G47/90 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种送料装置，该送料装置包括工作台；工作台上设有取料盒和卸料盒；取料盒下端设有驱动机构；所述工作台上还设有抓取机构，该抓取机构包括旋转摆台，该旋转摆台上设有气缸，以及取料臂和卸料臂。本实用新型送料装置通过采用所述抓取机构使得取料和卸料同步进行，且减少了将硅晶元片放入取料盒之前的前序工序，从而大大的减少了工时，提高了效率。
装置

[发明专利]一种适用于太阳能晶硅电池片的上料系统-CN201711392635.0在审
发明人：尹昊;陈勇平 -专利权人：中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请日： 2017-12-21 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明公开了一种适用于太阳能晶硅电池片的上料系统，包括传送部件、升降台、料盒、推动部件和两组风刀，所述料盒置于升降台上，所述晶硅电池片堆叠于料盒内，所述传送部件设于料盒的前侧，所述推动部件设于料盒的后侧，所述两组风刀分设于料盒的左侧和右侧。本发明采用叠片式进行上料，即晶硅电池片堆叠于料盒内，通过升降台控制晶硅电池片的高度，采用风刀吹气的方式实现晶硅电池片的分离，通过推动部件将分离后的晶硅电池片推至传送部件，整个过程简单、上料速度快、循环不间断的分选与送料，成本低；采用风刀吹气的方式，能快速有效的将最上面的单个晶硅电池片吹起来。
晶硅电池片料盒风刀传送部件推动部件太阳能晶硅电池片上料系统吹气堆叠两组上料升降台升降台控制叠片式分选送料分设升降

[实用新型]一种晶圆取料装置及晶圆加热设备-CN202220696770.4有效
发明人：林生财;郑吉龙;胡耿涛 -专利权人：矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请日： 2022-08-08 - 公布日： 2022-10-11 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶圆取料装置及晶圆加热设备。一种将晶圆从隔片料盒放置入叠片料盒的取料装置，包括，水平设置的顶片装置，用于将晶圆沿水平方向顶出隔片料盒；缓冲传送装置，用于接住顶片装置顶出的晶圆，并将晶圆运送至叠片料盒；以及包含所述将晶圆从隔片料盒放置入叠片料盒的取料装置的晶圆加热设备；本发明的技术方案将晶圆从隔片料盒转移至叠片料盒，不易损坏晶圆，结构稳定可靠。
一种晶圆取料装置加热设备

[实用新型]晶圆片全自动切割清洗一体机-CN202020538024.3有效
发明人：戚孝峰;周鹏程 -专利权人：争丰半导体科技（苏州）有限公司
申请日： 2020-04-13 - 公布日： 2021-01-29 - 主分类号： B28D5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种晶圆片全自动切割清洗一体机，其包括机体，机体内设置有晶圆片切割放置盘，机体的一侧设置有晶圆片放置料盒，机体内设置有第一取料机构和第二取料机构，第二取料机构延伸至第一取料机构以及晶圆片切割放置盘的上方本实用新型在对晶圆片进行清洗的时候，将晶圆片放置在晶圆片放置料盒内的放置槽中，再将晶圆片放置料盒放置在放料板上，使取料臂在机体中滑移，使取料臂带动Y型气动手指移动到晶圆片放置料盒的一侧，使Y型气动手指夹取晶圆片，再使取料臂带动晶圆片移动至第二取料机构的下方，第二取料机构能够带动晶圆片移动到晶圆片切割放置盘上端，从而能够实现对晶圆片的自动上料。
晶圆片全自动切割清洗一体机

[实用新型]晶圆上料装置-CN202222567539.8有效
发明人：王诚;刘庆锋 -专利权人：上海积塔半导体有限公司
申请日： 2022-09-27 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本申请涉及一种晶圆上料装置。一种晶圆上料装置，包括：机罩，机罩上设有供取料机构通过且沿第一方向设置的取料口；驱动机构，设于机罩内；晶圆盒，位于机罩内，且用于容置晶圆；晶圆盒沿第一方向的一侧设有与取料口相对应的出料口，以使取料机构能够通过取料口和出料口抓取晶圆盒内的晶圆；驱动机构与晶圆盒连接，以驱动晶圆盒沿第二方向朝靠近或远离取料口的一侧移动；以及第一传感器，设置于机罩内，且沿第一方向位于取料口和出料口之间，第一传感器与驱动机构电性连接，驱动机构被配置为能够在第一传感器感测到凸伸出出料口的晶圆时停止运行该晶圆上料装置能减小晶圆与机罩碰撞的概率，并能够有效降低晶圆的碎片风险。
晶圆上料装置

[发明专利]一种芯片制作用硅晶棒加工装置-CN202110539789.8有效
发明人：刘勇;王用鑫;杜培;吴雨杭;李航宇;罗洋 -专利权人：重庆电子工程职业学院
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2022-11-29 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种芯片制作用硅晶棒加工装置，所述装置包括有用于夹持硅晶棒的夹取单元、用于翻转硅晶棒的翻转单元、带动夹取单元上下升降的升降单元、推动单元；所述夹取单元设置在升降单元上，当升降单元带动夹取单元位于低位处时，所述推动单元的第一推动端可推动夹取单元沿水平方向向翻转单元移动，同时所述推动单元的第二推动端推动翻转单元中翻转后的硅晶棒沿水平方向向夹取单元移动，所述翻转单元的出料口与夹取单元的进料口对应。
一种芯片制作用硅晶棒加工装置

[实用新型]一种晶圆盒的上料装置-CN201920116348.5有效
发明人：徐韦明 -专利权人：上海福赛特机器人有限公司
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2019-08-20 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆盒的上料装置，包括：直线模组，其包括并列设置的第一直线模组和第二直线模组，用于将其装载的晶圆盒在初始上料位置至取料位置之间运输；晶圆盒工装，其包括分别安装在第一直线模组和第二直线模组上的第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装，用于装载晶圆盒；机器人，设于所述直线模组的取料位置一侧，用于将运输至取料位置的所述第一晶圆盒工装和第二晶圆盒工装上装载的晶圆盒中的晶圆取出。本实用新型可通过第一直线模组和第二直线模组交替运输晶圆盒，操作员进行晶圆盒上料时，无需将设备暂停，可确保设备换料时不间断运行，从而大大提高了生产效率。
晶圆盒直线模组工装取料位置装载本实用新型上料装置圆盒种晶运输不间断运行并列设置确保设备上料位置生产效率换料晶圆上料机器人取出

[实用新型]一种用于硅棒出料的翻转装置和出料系统-CN202320791934.6有效
发明人：路兴;赵永洪;张剑;钟选成 -专利权人：曲靖隆基硅材料有限公司
申请日： 2023-04-11 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： B65G1/04 文献下载
摘要：本申请实施例提供了一种用于硅棒出料的翻转装置和出料系统。所述翻转装置包括：支架；翻转平台，所述翻转平台转动连接于所述支架，所述翻转平台上设置取放机构，所述取放机构用于抓取与所述硅棒连接的晶托，以将所述晶托连接在所述翻转平台上，并通过所述翻转平台对所述硅棒进行翻转；以及，在所述硅棒翻转后，所述取放机构解除对所述晶托的抓取，以便所述硅棒从所述翻转平台上脱离。本申请实施例中，通过结构简单的翻转装置对所述硅棒进行翻转，可以避免通过机械手或者操作人员翻转所述硅棒的操作，极大的提高所述硅棒的出料效率。
一种用于硅棒出料翻转装置系统

[发明专利]一种高速双头全自动固晶机-CN202211729695.8在审
发明人：邱国良;张晓伟;李勇雄 -专利权人：东莞市凯格精机股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-04-18 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明公开了一种高速双头全自动固晶机，包括机台，所述机台上左右对称设有两个固晶总装机构，两组所述固晶总装机构的中间设有用于给左右两边自动更换晶环的晶元上下料装置；所述晶元上下料装置包括芯片环取放料组件、用于装载芯片环的料盒、以及设置在所述料盒底部的驱动所述上料盒升降的料盒升降组件、和用于将芯片从料盒中取出并推回的芯片环推料组件；所述芯片环取放料组件包括芯片环取料电机和连接在所述芯片环取料电机上的吸附件，所述芯片环取料电机驱动所述吸附件左右摆动以自动更换芯片环。通过在该两个固晶总装机构的中间设置晶元上下料装置，该晶元上下料装置可以给该两个固晶总装机构自动更换芯片环，提高固晶工作效率。
一种高速全自动固晶机

[实用新型]一种高速双头全自动固晶机-CN202223570351.5有效
发明人：邱国良;张晓伟;李勇雄 -专利权人：东莞市凯格精机股份有限公司
申请日： 2022-12-30 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高速双头全自动固晶机，包括机台，所述机台上左右对称设有两个固晶总装机构，两组所述固晶总装机构的中间设有用于给左右两边自动更换晶环的晶元上下料装置；所述晶元上下料装置包括芯片环取放料组件、用于装载芯片环的料盒、以及设置在所述料盒底部的驱动所述上料盒升降的料盒升降组件、和用于将芯片从料盒中取出并推回的芯片环推料组件；所述芯片环取放料组件包括芯片环取料电机和连接在所述芯片环取料电机上的吸附件，所述芯片环取料电机驱动所述吸附件左右摆动以自动更换芯片环。通过在该两个固晶总装机构的中间设置晶元上下料装置，该晶元上下料装置可以给该两个固晶总装机构自动更换芯片环，提高固晶工作效率。
一种高速全自动固晶机

[实用新型]晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备-CN202221206847.1有效
发明人：谢世敏;陶靖飞 -专利权人：精芯智能装备（苏州）有限公司
申请日： 2022-05-19 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种晶圆料盒开盖机构、晶圆上料装置及检测设备，晶圆料盒开盖机构包括置物平台、开盖组件及平移组件，开盖组件包括安装基体及取盖件，取盖件能够抓取盒盖，平移组件与置物平台、安装基体中的至少一个连接，平移组件用于带动置物平台与安装基体相互靠近或远离；晶圆上料装置包括晶圆料盒开盖机构；晶圆检测设备包括晶圆上料装置。本实用新型中，通过开盖组件与平移组件配合开盖，安装基体在平移组件的驱动下相对料盒移动，使取盖件能够接触料盖并将料盖取下，完成料盒开盖，自动化程度高，有利于提高料盒的开盖效率。
晶圆料盒开盖机构晶圆上料装置检测设备

[实用新型]一种防止二次污染的安全型晶圆盒自动出料机构-CN202120897886.X有效
发明人：黄维;涂辉 -专利权人：谷微半导体科技（江苏）有限公司
申请日： 2021-04-28 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： B65G47/82 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种防止二次污染的安全型晶圆盒自动出料机构，包括：固定腔体、转子、晶圆盒、伺服电机和至少一个取料机构，所述转子设于固定腔体的内部，所述晶圆盒设于转子内，所述伺服电机设于固定腔体的一侧，且所述伺服电机的输出端与转子连接，所述取料机构设于固定腔体的一侧，所述转子靠近取料机构的一端设于至少一个穿孔，所述取料机构与穿孔以及晶圆盒相配合。本实用新型中结构简单、设计合理、易于生产，通过设置取料机构，让其能够实现自动取料，提高了生产的效率，同时也减少了工人的数量，降低了一线工人的劳动强度，减少企业人员的投入成本，也很好的解决了人工取料对晶圆造成的二次污染问题，有效提高了晶圆清洁度。
一种防止二次污染安全型晶圆盒自动机构

[实用新型]一种晶圆料盒取料辅助装置-CN202320943315.4有效
发明人：王国建;付义德;谢烨峰 -专利权人：积高电子（无锡）有限公司
申请日： 2023-04-24 - 公布日： 2023-07-14 - 主分类号： H01L21/677 文献下载
摘要：本实用新型提供的一种晶圆料盒取料辅助装置，涉及晶圆生产技术领域，包括延伸框架；延伸框架呈口形；延伸框架的开口与料盒的取料口大小适配；延伸框架的两侧内壁上对称设置有多条平行的分隔条；全部分隔条水平设置；全部分隔条与料盒内的固定杆一一对应本实用新型提供的一种晶圆料盒取料辅助装置，能够解决从料盒中拿取晶圆容易造成晶圆碰撞刮伤的问题，达到安全快速地拿取晶圆的有益效果。
一种晶圆料盒取料辅助装置

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