专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]研磨面内平整度的改善方法、装置、设备、介质-CN202211444434.1在审
  • 同小刚;闫晓晖 - 上海积塔半导体有限公司
  • 2022-11-18 - 2023-03-17 - B24B37/005
  • 本申请提供一种研磨面内平整度的改善方法、装置、设备、介质,应用于研磨技术领域,其中,研磨面内平整度的改善方法,包括:根据获取的研磨耗材的使用寿命与研磨面内平整度之间的关系,得到初始面内控制列表;根据研磨耗材的厚度前值,对初始面内控制列表中的压力值进行补偿,得到修正面内控制列表;根据修正面内控制列表进行研磨。根据研磨耗材的使用寿命与所述研磨面内平整度之间的关系,得到初始面内控制列表,并根据研磨耗材的研磨前的厚度前值对初始面内控制列表中的压力进行修正,可以实现对于初始面内控制列表中的压力的自动补偿,提高压力的精准性,从而改善研磨的面内平整度。
  • 研磨制品平整改善方法装置设备介质

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