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[发明专利]一种大尺寸航空发动机尾椎组件的真空电子束焊接方法-CN202011293811.7有效
发明人：赵健;石磊;陆煜;王英;柏关顺;崔烺;陈东亮 -专利权人：中国兵器科学研究院宁波分院
申请日： 2020-11-18 - 公布日： 2022-05-20 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸航空发动机尾椎组件的真空电子束焊接方法，其特征在于包括以下步骤：(1)焊接接头设计：焊接接头采用对接接头形式，母材分别为高温合金GH738与GH536；(2)清洗焊接件；(3)装配；(4)对步骤(3)装配好的焊接件进行真空电子束穿透焊接，形成环形焊缝；(5)对步骤(4)穿透焊接后的环形焊缝进行电子束修饰焊接；(6)对步骤(5)修饰焊接后的工件进行后热处理，得到所需的大尺寸航空发动机尾椎组件与现有技术相比，本发明地真空电子束焊接方法能够满足结构件焊缝质量的稳定性要求。
一种尺寸航空发动机尾椎组件真空电子束焊接方法

[发明专利]一种航空发动机静子组件真空电子束焊接方法及夹装装置-CN202310722049.7有效
发明人：田凯 -专利权人：中国航发成都发动机有限公司
申请日： 2023-06-19 - 公布日： 2023-09-15 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明涉及航空发动机静子组件装配技术领域，公开了一种航空发动机静子组件真空电子束焊接方法及夹装装置，采用夹装装置将待焊接的静子叶片及对应的静子机匣夹装固定后放入真空电子束焊机内，通过控制真空电子束焊机按照焊接曲线表达式以及对应的电子束流控制函数进行焊接
一种航空发动机组件真空电子束焊接方法装置

[实用新型]一种小型电子束熔炼炉-CN201020542864.3有效
发明人：周新明;孙照富 -专利权人：北京有色金属研究总院
申请日： 2010-09-26 - 公布日： 2011-06-08 - 主分类号： F27B14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种小型电子束熔炼炉，包括电子束熔炼炉本体及配设的真空系统、高压电源和低压电源，电子束熔炼炉的炉体上置有电子枪；所述电子束熔炼炉的炉体为小型的炉体，其上置的电子枪为小于100kW的小功率电子枪其可以为实验室提供一种使用方便的小型化电子束熔炼炉。
一种小型电子束熔炼炉

[实用新型]一种真空管道电子束聚焦调节机构-CN202122495492.4有效
发明人：黄伟;程永波 -专利权人：江苏久瑞高能电子有限公司
申请日： 2021-10-16 - 公布日： 2022-04-19 - 主分类号： H05H7/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种真空管道电子束聚焦调节机构，包括上环形磁屏蔽体、下环形磁屏蔽体、支撑盘、锁紧环以及线圈；所述线圈套设在真空管道的外围；所述上环形磁屏蔽体位于线圈上部，并且具体对线圈的顶面与外壁面形成磁屏蔽；所述下环形磁屏蔽体位于线圈下部，并且具体对线圈的底面与外壁面形成磁屏蔽；所述上环形磁屏蔽体与下环形磁屏蔽体在线圈朝向真空管道的内壁面留有磁导通缺口，所述下环形磁屏蔽体位于支撑盘上，所述支撑盘通过外调节螺丝与所述锁紧环连接，所述锁紧环通过内调节螺丝与真空管道连接。本实用新型可将电子加速器的真空管道内的电子束进行聚焦，缩小其包络范围，减小电子束的损失，提高电子束辐照面的均匀性。
一种真空管道电子束聚焦调节机构

[发明专利]大直径薄壁T250钢压力容器真空电子束焊接制造方法-CN201210519934.7无效
发明人：袁晓强;刘涛;王生斌 -专利权人：中国航天科工集团第六研究院二一〇所
申请日： 2012-12-03 - 公布日： 2013-03-20 - 主分类号： B23P15/00 文献下载
摘要：本发明提供了一种大直径薄壁T250钢压力容器真空电子束焊接制造方法，按筒体旋压毛坯尺寸展开下料，滚卷成筒体，采用真空电子束焊接技术加工成旋压毛坯，主要工艺流程包括板材复验、展开、划线、剪板下料、刨边、滚卷、打磨、清洗、点焊、真空电子束焊、X射线探伤、热处理、校形、X射线探伤和切头。
直径薄壁 t250 压力容器真空电子束焊接制造方法

[发明专利]一种电子显微及能谱原理实验教学装置-CN202111445424.5有效
发明人：艾峥嵘;于凯;杨波 -专利权人：东北大学
申请日： 2021-11-30 - 公布日： 2022-08-23 - 主分类号： G09B23/18 文献下载
摘要：本发明提供一种电子显微及能谱原理实验教学装置，属于实验教学领域，包括电子光路演示模块、可变真空操作演示模块、电子束通道开关操作演示模块、电子束聚焦过程演示模块、电子束扫描成像过程演示模块；通过演示电子显微镜镜筒内电子信号的产生及汇聚过程，使学生了解电子光源的产生机理、电子束汇聚方法及汇聚过程电子束斑直径的变化，可进行电镜操作步骤的演示，方便进行物镜的种类及应用特点、能谱、电子束内容的教学理、物镜的种类、电子与样品相互关系及能谱内容进行教学，利用本发明的装置可以对扫描电子显微过程的原理进行直观、简单且全面地讲解与演示，经长期使用验证，该装置是一种高效的教学装置。
一种电子显微原理实验教学装置

[发明专利]一种带通道结构的双层板及其真空电子束加工方法-CN201910897297.9在审
发明人：刘奋成;陈悦;夏春;黄春平;李春雨 -专利权人：南昌航空大学
申请日： 2019-09-23 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本发明公开一种带通道结构的双层板及其真空电子束加工方法，涉及带通道结构的双层板技术领域；本发明中将厚度0.1至10mm的合金板材根据设定间隙装配组合在一起；将装配好的双层板结构送至真空电子束的真空室内；抽真空至真空度优于7×10
双层板带通道电子束加工真空电子束上面板下面板熔深加工电子束表面双层板结构编辑加工合金板材间隙装配快速加工熔化金属通道结构预定程序板间隙抽真空高真空真空室充气散焦装配聚焦取出室内保证

[发明专利]在磷化铟衬底上制备T型栅的方法-CN201010577818.1无效
发明人：黄杰;郭天义;张海英;杨浩 -专利权人：中国科学院微电子研究所
申请日： 2010-12-07 - 公布日： 2012-07-11 - 主分类号： H01L21/28 文献下载
摘要：公开了在磷化铟衬底上制备T型栅的方法包括：A、清洗磷化铟衬底外延片，在真空烘箱内将六甲基二硅氨烷（HMDS）蒸发在清洗后的外延片上；B、在上述外延片上匀第一层电子束胶PMGI，前烘；C、在上述第一层电子束胶PMGI上匀第二层电子束胶ZEP520A，前烘；D、在上述第二层电子束胶ZEP520A上匀第三层电子束胶PMGI，前烘；E、在上述第三层电子束胶上匀第四层电子束胶PMMA，然后前烘；F、将上述匀有四层束胶层的外延片进行电子束曝光
磷化衬底制备方法

[发明专利]一种物镜及环境扫描电镜-CN202211347606.3在审
发明人：王鹏飞;史丽娜;赵伟霞;刘俊标;殷伯华;王岩;董增雅;韩立 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2022-10-31 - 公布日： 2022-12-27 - 主分类号： H01J37/141 文献下载
摘要：本发明涉及电子显微成像技术领域，提供了一种物镜及环境扫描电镜，该物镜至少包括：上极靴，具有连接部与工作部，工作部具有中空的容纳腔，适于形成电子束通道；下极靴，与连接部相连，且工作部至少部分插置在下极靴内，下极靴的内侧壁与工作部的外侧壁之间的区域形成过渡真空区；下极靴的侧壁上设置有第一抽气孔，适于通过第一抽气孔对过渡真空区进行抽真空；密封结构，设置在下极靴远离上极靴的一端，以将电子束通道与过渡真空区相隔开，以及将过渡真空区与外部环境相隔开；密封结构具有气体通道以及使电子束通过的第一通孔，气体通道连通第一通孔与过渡真空区。该物镜，扫描过程中更容易维持电子束通道的高真空度，从而提高扫描效果。
一种物镜环境扫描电镜

[发明专利]一种三维多孔金属材料烧结成型装置及成型方法-CN201410120744.7有效
发明人：马强;陈振乾;周长军 -专利权人：兴化市兴东铸钢有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2014-06-25 - 主分类号： B22F3/11 文献下载
摘要：其中成型装置包括真空室以及置于真空室内的工作台，在工作台上方设置有布粉机构和电子束烧结装置，在真空室内还设置有吹扫机构和粉末回收机构，吹扫机构和粉末回收机构分别位于工作台的两侧，电子束烧结装置包括电子束发射器以及偏转线圈，偏转线圈使所述电子束发射器发出的电子束射到工作台上需要烧结的位置，在作台的下方设置有使所述工作台振动的超声波发生装置。本发明所提供的技术在电子束选区烧结粉末金属制造多孔金属材料的工作间隙，通过超声波的作用将未烧结布粉的金属粉末从已成型的多孔结构中分离出来，清除孔隙内残留的金属粉末，提高了多孔金属材料的成型精度。
一种三维多孔金属材料烧结成型装置方法

[实用新型]一种三维多孔金属材料烧结成型装置-CN201420145426.1有效
发明人：马强;陈振乾;周长军 -专利权人：兴化市兴东铸钢有限公司
申请日： 2014-03-28 - 公布日： 2014-10-22 - 主分类号： B22F3/11 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种三维多孔金属材料烧结成型装置，包括真空室以及置于真空室内的工作台，在工作台上方设置有布粉机构和电子束烧结装置，在真空室内还设置有吹扫机构和粉末回收机构，吹扫机构和粉末回收机构分别位于工作台的两侧，电子束烧结装置包括电子束发射器以及偏转线圈，偏转线圈使所述电子束发射器发出的电子束射到工作台上需要烧结的位置，在作台的下方设置有使所述工作台振动的超声波发生装置。本实用新型所提供的技术在电子束选区烧结粉末金属制造多孔金属材料的工作间隙，通过超声波的作用将未烧结布粉的金属粉末从已成型的多孔结构中分离出来，清除孔隙内残留的金属粉末，提高了多孔金属材料的成型精度。
一种三维多孔金属材料烧结成型装置

[发明专利]一种电子束局域重熔诱导钛合金自生复合材料的制备方法-CN202010353666.0在审
发明人：李晓鹏;陈海瑞;布文宝;范霁康;杨东青;彭勇;王克鸿;周琦 -专利权人：南京理工大学
申请日： 2020-04-29 - 公布日： 2020-08-25 - 主分类号： B23K15/00 文献下载
摘要：本发明属于复合材料制备领域，具体涉及一种电子束局域重熔诱导钛合金自生复合材料的制备方法。步骤如下：通过机加工的方式制备出钛合金基板，将基板真空干燥后置于真空室内；采用电子束作为热源，先进行纵向电子束扫描，再进行横向电子束扫描，扫描过程中采用表面聚焦、下聚焦、上聚焦等方式，在钛合金基体表面诱导获得不同厚度的网格状重熔层本发明通过电子束重熔获得不同厚度的网格状重熔层，实现钛合金自生复合材料的制备，避免了当前钛合金复合材料第二相强化过程中的界面强度低，界面稳定性差等问题。
一种电子束局域诱导钛合金自生复合材料制备方法

[发明专利]一种电子束表面处理改善共晶高熵合金疲劳性能的方法-CN202211480199.3在审
发明人：黄淼;郑文健;李乘安;李正阳;冯道臣;周浩;王文军 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C22B9/04 文献下载
摘要：本发明属于高熵合金表面处理的技术领域，具体涉及一种电子束表面处理改善共晶高熵合金疲劳性能的方法。包括以下步骤：（1）将共晶高熵合金AlCoCrFeNi2.1分割成均等的共晶高熵合金块，超声清洗干净后打磨抛光再吹干；（2）将步骤（1）得到的共晶高熵合金块置于电子束真空腔室内，设置电子束的参数及重熔的搭接率，进行电子束重熔处理，随即在真空腔室内快速冷却至室温后取出，打磨抛光。本发明采用的电子束表面强化技术处理共晶高熵合金AlCoCrFeNi2.1，使得其疲劳裂纹扩展的速率与未处理的铸态共晶高熵合金相比大幅度降低，大大改善了其疲劳性能
一种电子束表面处理改善共晶高熵合金疲劳性能方法

[实用新型]一种稳定磁场的真空电子束焊机-CN202320716428.0有效
发明人：王昌高 -专利权人：东莞市欧莱溅射靶材有限公司;广东欧莱高新材料股份有限公司
申请日： 2023-04-04 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： B23K15/06 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种稳定磁场的真空电子束焊机，旋转夹具包括旋转驱动机构、夹盘和薄壁形状的中空的屏蔽罩，屏蔽罩的磁导率高于夹盘的磁导率，旋转驱动机构固定安装于加工平台，夹盘固定安装于旋转驱动机构的输出轴上通过屏蔽罩自身的高磁导率对旋转夹具进行感应屏蔽，防止旋转夹具对真空电子束焊装置的电子束产生的磁场进行干扰，稳定电子束，防止在焊接过程中电子束不规则跳动，降低焊缝气孔产生，提高焊接质量；具体是用于加工长度大于
一种稳定磁场真空电子束

[发明专利]薄膜沉积设备及其镀膜方法、真空镀膜机-CN202111081911.8在审
发明人：刘伟基;冀鸣;易洪波;赵刚 -专利权人：佛山市博顿光电科技有限公司;中山市博顿光电科技有限公司
申请日： 2021-09-15 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C23C14/30 文献下载
摘要：本申请涉及一种薄膜沉积设备及其镀膜方法、真空镀膜机，所述薄膜沉积设备包括：设于真空室内的电子束热蒸发系统和磁控溅射系统；其中，电子束热蒸发系统设于工件盘的下部，磁控溅射系统设于工件盘的上部；工件盘用于放置被镀膜的基片；电子束热蒸发系统用于通过热蒸发方式对基片的下表面进行薄膜沉积；磁控溅射系统用于通过溅射方式对基片的上表面进行薄膜沉积；在镀膜过程中，工件盘转动基片，电子束热蒸发系统在第一真空状态下对基片的下表面进行薄膜沉积，磁控溅射系统在第二真空状态下对基片的上表面进行薄膜沉积；该技术方案，在一个工序中分别完成薄膜沉积主要工序和增透薄膜工艺组合流程，从而简化了薄膜沉积工序，提高了薄膜沉积效率。
薄膜沉积设备及其镀膜方法真空镀膜