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- [发明专利]监控系统、薄膜沉积系统和薄膜产品的制造方法-CN202310425166.7在审
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林岳明
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上海传芯半导体有限公司
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2023-04-20
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2023-09-12
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C23C14/54
- 本发明提供一种监控系统、薄膜沉积系统和薄膜产品的制造方法，该监控系统具有上监控组件和下监控组件中的一者或者两者，所述上监控组件布设在沉积腔室的外部上方，所述下监控组件布设在所述沉积腔室的外部下方；所述上监控组件用于监测所述沉积腔室中正在制造的薄膜产品的正面上的反射率和/或透射率；所述下监控组件用于监测所述薄膜产品的背面上的反射率和/或透射率；其中，所述上监控组件和/或所述下监控组件所监测到的反射率和/或透射率用于在线调整所述沉积腔室的沉积工艺参数。由此能够实现薄膜沉积工艺的在线监控，并根据监控结果实时调整沉积工艺参数，最终提高空白掩模版等薄膜产品的良率和生产效率，降低生产成本。
- 监控系统薄膜沉积产品制造方法
- [实用新型]一种智慧共享杆用监控装置-CN202120314028.8有效
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石玮
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江苏创思特显示技术有限公司
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2021-02-03
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2021-11-05
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H04N5/225
- 本实用新型公开了一种智慧共享杆用监控装置，该监控装置包括固定座、安装于共享杆上并与该固定座固定连接的第一监控组件、安装于共享杆上并与该固定座固定连接的第二监控组件、以及固设于该共享杆上并罩设于该第一监控组件和第二监控组件上方的保护组件，该第一监控组件包括第一壳体、可转动设置于该第一壳体上的第一监控摄像头、以及固设于该第一壳体内用于驱动该第一监控摄像头转动的第一伺服电机，该第二监控组件包括第二壳体、可转动设置于该第二壳体上的第二监控摄像头、以及固设于该第二壳体内用于驱动该第二监控摄像头转动的第二伺服电机，该保护组件包括保护罩、固设于该保护罩中部并用于与该共享杆固定连接的第一固定环。
- 一种智慧共享监控装置
- [发明专利]一种远程智能监控机器人-CN201610872487.1在审
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林岳镔;叶飞雁;欧传双;莫颖琳
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莫颖琳
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2016-10-08
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2017-01-04
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B25J9/16
- 本发明涉及一种远程智能监控机器人，包括：机器人主体，其特征在于：在所述的机器人主体内设有控制模块，机器人主体的底部设有移动组件；机器人主体的顶部设有监控组件，该监控组件通过关节头与机器人主体相连接，并通过安装在机器人主体上的驱动器驱动监控组件运动；所述的监控组件与移动组件分别与控制模块相连接；在所述的机器人主体上还设有远程控制组件该远程控制组件与控制模块相连接。本发明通过采用远程控制的形式控制机器人，对一定区域内进行监控，由于机器人的移动灵活性，使机器人在区域内可以任意行走，并通过监控组件监控区域内所发生的状况，并及时通报监控人员，从而实现了辅助监控人员远程监控某一区域的目的
- 一种远程智能监控机器人
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