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- [发明专利]基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法-CN202210407712.X有效
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李炜康;潘登;侯伟盛
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深圳前海石墨烯产业有限公司
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2022-04-19
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2023-06-30
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C01B32/194
- 本发明属于化学气相沉积法石墨烯转移技术领域,具体涉及一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法。针对现有石墨烯转移方法中容易造成聚甲基丙烯酸甲酯残留,并且使用的贵金属成本高的问题,本发明提供了一种基于金属铬牺牲层的石墨烯转移方法,包括如下步骤:a、在金属基底上生长石墨烯;b、正面沉积一层金属铬;c、将聚甲基丙烯酸甲酯旋涂到正面上,加热固化;d、背面放入轰击等离子体的装置,抽真空后轰击等离子体;e、正面朝上加入蚀刻溶液中,蚀刻掉金属基底;f、去除聚甲基丙烯酸甲酯;g、去除铬金属层。本发明首次采用金属铬沉积作为牺牲层进行石墨烯转移,铬金属膜的结合力较强,能减少聚甲基丙烯酸甲酯残留,转移效果更好。
- 基于金属牺牲石墨转移方法
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