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[发明专利]一种浅槽隔离结构的制备方法及浅槽隔离结构-CN201811340906.2在审
发明人：赵东光 -专利权人：武汉新芯集成电路制造有限公司
申请日： 2018-11-12 - 公布日： 2019-02-15 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种浅槽隔离结构的制备方法及浅槽隔离结构，包括：步骤S1，提供定义有有源区和浅槽隔离区的一衬底，并于衬底的浅槽隔离区内制备形成凹槽；步骤S2，采用一隔离材料填充每个凹槽形成浅槽隔离预制备结构，并制备一牺牲层覆盖衬底的有源区，且浅槽隔离预制备结构的上表面高于牺牲层的上表面；步骤S3，制备一保护结构覆盖浅槽隔离预制备结构暴露的侧壁；步骤S4，去除牺牲层；步骤S5，对衬底和保护结构暴露的表面进行热氧化工艺，形成覆盖衬底表面的栅氧化层以及保护结构与浅槽隔离预制备结构结合形成的浅槽隔离结构；保证了最终形成的浅槽隔离结构的完整，避免了可能相应产生的漏电情况。
浅槽隔离结构浅槽隔离制备衬底预制保护结构牺牲层上表面源区覆盖半导体技术领域浅槽隔离区热氧化工艺凹槽形成衬底表面隔离材料结构结合栅氧化层漏电暴露侧壁去除填充保证

[发明专利]一种耐磨轴承-CN201410326332.9有效
发明人：张和平;汪雷 -专利权人：芜湖市海联机械设备有限公司
申请日： 2014-07-10 - 公布日： 2014-10-29 - 主分类号： F16C19/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种耐磨轴承，滚轴1，还包括圆盘2，所述圆盘2上盖有外盖3，所述外盖3内表面设有耐磨层4，所述滚轴1上端与圆盘2下表面固定安装在一起形成一体结构，所述圆盘2上设有以圆盘2的中心点为中心等角度分布多个圆球形浅槽5，所述圆球形浅槽5内嵌装滚珠6，所述外盖3上设有转动轴7。
一种耐磨轴承

[发明专利]一种考虑空洞效应的浅埋隧道爆破掏槽药量的优化方法-CN202010000996.1有效
发明人：魏海霞;祝杰;陈锦烽;褚怀保;陈峰宾 -专利权人：河南理工大学
申请日： 2020-01-02 - 公布日： 2021-11-23 - 主分类号： F42D1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种考虑空洞效应的浅埋隧道爆破掏槽药量的优化方法，包括：制定掏槽爆破试验方案；在浅埋隧道开挖区和未开挖区地表处以掌子面为中心等距对称布置N个测点；按照制定的掏槽爆破试验方案开展试验，采集每个测点处的地表爆破振动峰值速度和主频；拟合浅埋隧道未开挖区的地表爆破振动峰值速度模型和主频模型；确定浅埋隧道开挖区的地表爆破振动峰值速度模型和主频模型；根据被保护建筑物所处位置，完成浅埋隧道爆破掏槽药量的优化。本发明既充分考虑了浅埋隧道空洞效应造成的隧道开挖区地表爆破振动的局部放大现象，严格保证了隧道爆破开挖过程中地表被保护建筑物的安全，同时最大限度地提高了浅埋隧道的爆破掘进效率。
一种考虑空洞效应隧道爆破掏槽药量优化方法

[实用新型]一种电机定子铁芯冲片结构-CN201020123563.7有效
发明人：王雄程;赵钊 -专利权人：中山大洋电机制造有限公司
申请日： 2010-02-25 - 公布日： 2010-11-17 - 主分类号： H02K1/16 文献下载
摘要：一种电机定子铁芯冲片结构，包括轭部、齿部、嵌线槽和中心孔，嵌线槽和中心孔相连通，嵌线槽由两种不同槽深的弧形槽底的U形槽构成，两个深嵌线槽和两个浅嵌线槽构成一嵌线槽组，若干个嵌线槽组沿圆周均匀分布，两个浅嵌线槽的两条中心线的交点位于中心点，夹角范围是14度至17度；两个深嵌线槽的中心线交点位于一圆上，圆以中心点为圆心，直径范围25.5mm-28mm，中心线夹角范围是24度至27度；两个浅嵌线槽之间的中心线与两个深嵌线槽之间的中心线之间夹角范围
一种电机定子铁芯冲片结构

[发明专利]一种用于自由活塞式往复运动机械的气体静压轴承-CN201410183265.X有效
发明人：孔中科;王波;叶重;王飞;王建中;寇翠翠 -专利权人：中国电子科技集团公司第十六研究所
申请日： 2014-05-04 - 公布日： 2017-04-12 - 主分类号： F16C32/06 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于自由活塞式往复运动机械的气体静压轴承，包括活塞、气缸、排出器、压缩腔和储气槽。活塞外套外圆周外侧沿圆周方向分别设有双排第一节流孔、第一环形浅槽和第一均压浅槽。第一均压浅槽与第一节流孔两侧的第一环形浅槽相连通。第一节流孔通过第一均压浅槽和第一环形浅槽相贯通。活塞内套外圆周外侧沿圆周方向设有双排第二节流孔，内圆周内侧设有第二环形浅槽和第二均压浅槽，第二均压浅槽与第二节流孔两侧的第二环形浅槽相连通。第二节流孔通过第二均压浅槽与第二环形浅槽相贯通。
一种用于自由活塞往复运动机械气体静压轴承

[实用新型]弧形齿叶轮电喷燃油泵-CN201520343226.1有效
发明人：刘日荣 -专利权人：浙江恒兴汽车零部件有限公司
申请日： 2015-05-26 - 公布日： 2015-09-23 - 主分类号： F04D29/18 文献下载
摘要：叶轮具有圆周布设的叶片，其特征在于：所述叶片在叶轮轴方向上折成V型，叶片的叶面为弧面设计，相邻叶片的底部之间设有板条，板条两端连接叶片V型折，板条的高度为叶片高度的一半；所述叶轮的右侧端面靠内孔位置设置环形浅槽，环形浅槽区域内圆周均布细孔和凸点，细孔和凸点交错设置，凸点的顶面与叶轮的右侧端面高度持平。
弧形叶轮电喷燃油

[发明专利]一种浅地层层界提取方法及处理终端-CN202010886319.4有效
发明人：马金凤;赵建虎;李邵波;张全印;曾凡祥;杨永;徐岩 -专利权人：广州海洋地质调查局
申请日： 2020-08-28 - 公布日： 2021-04-23 - 主分类号： G01V1/30 文献下载
摘要：本发明涉及一种浅地层层界提取方法及处理终端，所述方法包括如下步骤：步骤1：提取海底线和去除水体冗余；步骤2：基于阈值初步提取浅地层；步骤3：层界点连通处理；步骤4：确定浅地层层界的局部方向；步骤5：方向约束下间断层界延伸本发明考虑到相邻层界段序列的连续性，基于Haar特征实现层界点的局部方向信息的获取；基于局部方向和低阈值约束，实现沿层界方向的间断层界端点延伸，同时基于浅地层剖面灰度直方图特点实现海底线提取和水体冗余数据去除最终提取到的浅地层层界具有较好的连续性。
一种层层提取方法处理终端

[实用新型]用于测量U型浅槽宽度的辊尺-CN201820778068.6有效
发明人：刘金雨;李忠杰;刘殿卫 -专利权人：中车长春轨道客车股份有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： G01B5/02 文献下载
摘要：用于测量U型浅槽宽度的辊尺属于机械加工浅槽宽度测量装置领域，该辊尺主体为圆筒结构，其圆筒的上下端面为两个对称且相交的环状斜面，其二者的交点A为0mm刻度点，环状斜面的椭圆端面上设有径向刻度线组，两个环状斜面之间的圆筒外侧壁上设有沿圆筒轴向的轴向刻度线组本实用新型的辊尺使用时按照轴向刻度线组上的刻度线对应数值进行读数即可获得U型浅槽的槽口宽度L的精确读数，效率高，为产品质量的提升提供了基础保障；该辊尺结构简单实用，操作方便，成本低廉。
浅槽轴向刻度线径向刻度环状斜面刻度线测量宽度测量装置本实用新型垂直连接基础保障机械加工上下端面圆筒结构尺主体刻度点外侧壁圆筒轴椭圆槽口条轴相交对称

[实用新型]一种改进的浅槽分选机-CN201720247351.1有效
发明人：郭其涛 -专利权人：芬雷选煤工程技术（北京）有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： B03B5/30 文献下载
摘要：本实用新型提供一种改进的浅槽分选机，浅槽分选机底部和侧面分别设置带孔的布流板1，底部的布流板开孔对应的下部设置布流漏斗2，内部悬浮液通过浅槽底部和侧面的带孔的布流板给入分选槽体内，浅槽分选机的浅槽底部给入的悬浮液形成上升流，上升流的作用是保持悬浮液稳定、均匀，同时有分散入料的作用；从浅槽分选机的浅槽侧面给入的悬浮液形成水平流，通过水平流布料箱的反击和限制，使水平流均匀的进入浅槽内，水平流的作用是保持浅槽槽体上部悬浮液密度稳定
一种改进分选

[发明专利]浅槽隔离的方法-CN200910047948.1有效
发明人：周建军;张京晶;王军;石锗元 -专利权人：中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请日： 2009-03-20 - 公布日： 2010-09-22 - 主分类号： H01L21/762 文献下载
摘要：本发明公开了一种浅槽隔离的方法，包括以下步骤：(1)提供一硅衬底；(2)依次在所述硅衬底上形成氧化物层、氮化物层、光阻层；(3)刻蚀光阻形成图案；(4)刻蚀氮化物层；(5)刻蚀氧化物层；(6)刻蚀硅形成浅槽该浅槽隔离方法，是将剥离步骤置于刻蚀后，可以更加彻底清除光阻，防止光阻残留在产品上，并增加气体吹洗步骤，可以更加彻底地清除刻蚀过程中的剩余的光阻及光阻的副产物，避免了刻蚀后残留的光阻及其产生的副产物沉积在刻蚀图案的边侧或表面
隔离方法

[发明专利]硅浅槽刻蚀工艺-CN200710175213.8有效
发明人：张庆钊 -专利权人：北京北方微电子基地设备工艺研究中心有限责任公司
申请日： 2007-09-27 - 公布日： 2009-04-01 - 主分类号： C23F1/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅浅槽刻蚀工艺，包括二氧化硅层开启步、硅槽刻蚀步，在二氧化硅层开启步与硅槽刻蚀步之间还包括硅槽初刻步，硅槽初刻步中所用的工艺气体包括Cl₂气体，还可以适当加入SF<
硅浅槽刻蚀工艺

[发明专利]浅槽隔离的方法-CN02108408.4无效
发明人：黄文信;张国华 -专利权人：旺宏电子股份有限公司
申请日： 2002-03-29 - 公布日： 2003-10-15 - 主分类号： H01L21/76 文献下载
摘要：本发明提供一种浅槽隔离方法。该方法包括下列步骤：(1)于一衬底表面形成一经构图的掩蔽层，该掩蔽层包含有一缓冲氧化层以及一氮化硅层形成于该缓冲氧化层上；(2)蚀刻未被该掩蔽层覆盖的该衬底，以形成一槽区域；(3)形成一高温氧化膜，覆盖于该槽区域表面以及该掩蔽层表面；(4)沉积一介电层，该介电层填满该槽区域，并覆盖该高温氧化膜；(5)平坦化该介电层，直至暴露出该氮化硅层；以及(6)去除该氮化硅层。
隔离方法

[实用新型]浅生槽种植机-CN201721710609.3有效
发明人：韦桂辉 -专利权人：韦桂辉
申请日： 2017-12-07 - 公布日： 2018-09-07 - 主分类号： A01C5/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及农用机械设备技术领域，具体公开了一种浅生槽种植机，包括机架、开槽机构、升降机构和行走机构，以及包括用于控制开槽机构、升降机构和行走机构工作的电控箱，其特征在于：所述机架四端分别设有垂直的定位轨另一端连接带座轴承，传动箱和带座轴承分别通过活动板设有两端的定位轨上，所述的升降机构包括升降电机和丝杆传动组件，丝杆传动组件通过吊臂与两端的活动板连接，所述的行走机构包括设于机架底部的前从动轮和后驱动轮；减轻淮山浅生种植的劳动强度，提高了淮山浅生种植的规范和标准。
开槽机构升降机构行走机构传动箱丝杆传动组件带座轴承定位轨活动板螺旋杆种植机淮山农用机械设备本实用新型后驱动轮开槽电机前从动轮倾斜设置升降电机一端连接垂直的电控箱吊臂种植

[实用新型]抗变形浅槽模具-CN202020675233.2有效
发明人：王俭华 -专利权人：昆山施宝得精密模具有限公司
申请日： 2020-04-28 - 公布日： 2021-01-26 - 主分类号： B21D37/10 文献下载
摘要：本实用新型属于模具技术领域，涉及一种抗变形浅槽模具，包括上模板和下模板，所述上模板的中部和所述下模板的中部各设有互相匹配的模压区，所述下模板在其模压区的外围设有一道回形的补强筋，所述上模板在其模压区的外围设有避让所述补强筋的回形槽
变形模具

[实用新型]块煤浅槽分选机-CN202222572978.8有效
发明人：陈军;吴成山;汪成明;朱泽旭 -专利权人：中煤新集能源股份有限公司
申请日： 2022-09-28 - 公布日： 2023-01-06 - 主分类号： B03B5/40 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种块煤浅槽分选机，包括分选机机体，分选机机体包括刮板链、刮板链调节轴和刮板链中间轴和改向轮总成；改向轮总成包括调节轴，调节轴上设置有半链轮，半链轮与刮板链相连接；通孔外侧设置有填料箱；填料箱包括填料箱体本实用新型块煤浅槽分选机，将现有技术中普遍采用的固定式刚性卡槽内滑动摩擦改为滚动磨损，降低了摩擦系数，能实现对套筒滚子链的高寿命的长期使用，降低了设备故障出现的频次，延长了套筒滚子链使用寿命，降低了使用成本
块煤分选