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- [发明专利]一种减少炉管中颗粒的方法-CN201310129649.9有效
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沈建飞
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2013-04-15
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2016-10-19
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C23C16/44
- 本发明公开了一种减少炉管中颗粒的方法，用于减少炉管内与炉管内腔连通的部件表面上的薄膜脱落形成的颗粒物质，通过N2带走炉管内残留的颗粒物质，并且可以通过向炉管内通入Si2H6气体使得炉管内与炉管内腔连通的部件表面淀积一层止封膜，使得炉管内尚未脱落完全的薄膜及未被N2带走的颗粒物质封住，进而可以显著降低炉管内颗粒物质的含量，使得炉管内薄膜需要进行停机维护的膜厚从50μm增长到了100μm，从而显著降低了炉管进行停机维护PM的频率，减少了炉管内部件的更换频率，极大的降低PM的成本，因为，减少了内外管等更换的频率，提高了生产效率，提高产品质量。
- 一种减少炉管颗粒方法
- [发明专利]双功能反应炉-CN201711486635.7在审
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不公告发明人
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刘成
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2017-12-29
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2018-05-11
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C23C16/455
- 本发明提供了一种双功能反应炉，用于待处理基底表面材料层的生长及刻蚀，包括如下部分：用于放置待处理基底的炉管；位于炉管外围的炉体；位于炉体内且位于炉管外围的加热装置；与炉管内部相连通，且用于向炉管内通入生长气体、生长液体、刻蚀气体及刻蚀液体中的至少一者的进口组件；与炉管内部相连通的出口组件；用于将炉管与外部连通或隔离，并向炉管内传入或传出待处理基底的炉门组件。本发明的反应炉支持待处理基底表面材料层进行生长或刻蚀反应，是一种结构简单，操作容易，便于控制，能连续生产，安全性高的材料生长和刻蚀设备。
- 功能反应炉
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