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[发明专利]半导体装置的制造方法及衬底处理装置-CN201010238219.7有效
发明人：寿崎健一;王杰 -专利权人：株式会社日立国际电气
申请日： 2004-09-17 - 公布日： 2010-12-15 - 主分类号： C23C16/44 文献下载
摘要：本发明提供半导体装置的制造方法，该方法包括以下工序：将衬底装载到反应炉内的工序；在所述反应炉内，在所述衬底上进行成膜的工序；将成膜后的所述衬底从所述反应炉内卸载的工序；卸载所述衬底后，在所述反应炉内没有所述衬底的状态下，通过向以被覆所述反应炉的方式设置的绝热外壳和所述反应炉之间的空间内流入冷却介质，对所述反应炉内进行强制冷却，同时，通过向所述反应炉内部流入清洗用气体，对所述反应炉内进行气体清洗的工序。
半导体装置制造方法衬底处理

[发明专利]一种气基和煤基相结合的竖炉直接还原工艺-CN201910858439.0在审
发明人：付邦豪;周强;李建涛;唐恩;汪朋;陈泉锋 -专利权人：武汉科思瑞迪科技有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2019-11-12 - 主分类号： C21B13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种气基和煤基相结合的竖炉直接还原工艺，固体炭素料与含铁矿物混合后装入竖炉反应器，并在所述竖炉反应器内完成固体炭素料的热解气化反应及含铁矿物还原反应；炉内还原气与炉料逆向运行；还原后的产品从竖炉反应器底部排料口排出，炉内还原气从竖炉反应器上部排气口排出；炉内还原气排出竖炉反应器后，需要进行焦油脱除处理，并根据需要对其成分进行调整，然后重新加热升温至800～1350℃温度作为载热气体，从竖炉反应器下部进气口通入炉内，为炉内固体炭素料的热解气化反应及含铁矿物还原反应提供所需热量。本发明将固体炭素料的热解气化与含铁矿物的还原过程集于一套竖炉装置内完成，有利于提高能源利用效率，降低生产成本和工程投资。
竖炉反应器含铁矿物固体炭炉内还原热解气化反应还原反应直接还原煤基进气口炉料能源利用效率反应器上部工程投资还原过程加热升温逆向运行排气口排热解气化竖炉装置载热气体焦油排料口炉内排出气排入炉脱除装入还原

[发明专利]一种快速切换电加热天平-CN201611220763.2有效
发明人：黄昭和 -专利权人：重庆山楂树科技有限公司
申请日： 2016-12-26 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： G01N5/04 文献下载
摘要：本专利公开了一种快速切换电加热天平，涉及电加热实验设备技术领域；快速切换电加热天平包括反应器、双炉加热装置、电子天平称量装置；双炉加热装置包括内加热炉和外加热炉，外加热炉的中间部分设有凹腔，凹腔可容纳内加热炉；还包括用于将内加热炉放置于外加热炉内或炉外的升降机构；还包括密封机构，密封机构可根据内加热炉的位置，自动开启或关闭外加热炉；反应器包括进气罩、保护罩、支撑柱体、反应皿和反应气导气管，反应皿固定在支撑柱体上端，支撑柱体下端与电子天平称量装置连接，通过该反应器向反应器内通入反应气时，可以防止气流冲击反应皿，影响称重结果。
一种快速切换加热天平

[发明专利]智能压力平衡控制系统-CN202110541512.9在审
发明人：陈奇志;钟晓宏;何永文;肖岳意 -专利权人：凯德技术长沙股份有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-09-17 - 主分类号： G05D16/20 文献下载
摘要：本发明公开了智能压力平衡控制系统，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，本发明结构简单，使用方便，通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端，方便平衡反应炉内的压强，且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀，方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强，进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。
智能压力平衡控制系统

[实用新型]一种压力平衡控制装置-CN202121064114.4有效
发明人：华传健;钟晓宏;喻磊;谭建军 -专利权人：凯德技术长沙股份有限公司
申请日： 2021-05-18 - 公布日： 2021-11-30 - 主分类号： B01J19/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种压力平衡控制装置，包括反应炉，所述反应炉的内壁固定连接有多个压强检测器，所述反应炉的两侧分别固定连接有进气端和出气端，所述反应炉的一侧设有用于增加反应炉内压强的加压组件，所述反应炉的另一侧设有用于降低反应炉内压强的降压组件，所述反应炉的一侧固定连接有控制面板，本实用新型结构简单，使用方便，通过启动驱动电机和第一电动推杆可以分别打开进气端与出气端，方便平衡反应炉内的压强，且通过启动转动电机和第二电动推杆可以使反应炉内的气体分布均匀，方便在反应炉内不同位置的压强检测器检测到准确的压强，进而方便控制面板控制驱动电机、第一电动推杆、抽气泵和吸气泵来平衡反应炉内的压强。
一种压力平衡控制装置

[实用新型]一种高温反应炉-CN201822243348.X有效
发明人：胡晞 -专利权人：苏州华微特粉体技术有限公司
申请日： 2018-12-29 - 公布日： 2019-10-01 - 主分类号： F27B14/14 文献下载
摘要：本实用新型涉及了一种高温反应炉，包括反应炉外炉体和设置于所述反应炉外炉体内侧的反应炉内炉体，所述反应炉内炉体中具有容纳反应物料的空腔，所述反应炉内炉体的底部包括有两层或两层以上的耐腐蚀导热层，所述耐腐蚀导热层由多个耐腐蚀导热板拼接而成该高温反应炉，实现了反应炉内部与外界热量的快速交换，有效准确的控制了反应炉内部的温度，且便于将加热装置置于反应炉的外部，使现场操作更加安全，且便于加热装置的安装维护，另外还有效的预防了反应炉内高温熔体对外炉体金属板的腐蚀
反应炉耐腐蚀高温反应炉导热层内炉体加热装置导热板外炉体两层本实用新型有效的预防安装维护反应物料高温熔体交错排布快速交换外界热量现场操作金属板接缝空腔炉体拼接腐蚀容纳外部安全

[实用新型]强吸热反应装置-CN201320010820.X有效
发明人：张学花 -专利权人：张学花
申请日： 2013-01-10 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： B01J19/24 文献下载
摘要：本实用新型提供一种强吸热反应装置，属于化工设备技术领域，其结构包括加热炉和列管反应器，加热炉采用横向直通加热炉，列管反应器垂直加热炉设置且列管部设置在加热炉内腔，列管反应器的上封头探出加热炉上壁，列管反应器的下封头探出加热炉下壁，上封头顶部连接进气管，下封头下部连接排气管，加热炉前端底部设置有燃烧室，加热炉内腔设置有折流挡板。该强吸热反应装置利用耐火砖加热炉内的燃烧提供高热量环境，将热量传递给列管反应器中，促使列管反应器内的强吸热反应进行，加热炉内腔的折流挡板能稳定加热炉内腔的温度避免温度不均，维持反应温度，耐火砖加热炉不易损坏
吸热反应装置

[发明专利]一种HF回转反应炉的内返渣系统-CN201611223522.3有效
发明人：徐志雄;童绍丰;陈朝阳;方良均 -专利权人：江苏三美化工有限公司
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2019-04-16 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本发明公开了一种HF回转反应炉的内返渣系统，包含回转反应炉、内返渣筒体、抄料斗、物料挡圈、支撑脚和进料装置，内返渣筒体沿回转反应炉轴向同轴设置在回转反应炉内部，内返渣筒体内壁上设置有螺旋槽板，若干支撑脚沿回转反应炉径向固定在回转反应炉和内返渣筒体之间，进料装置设置在回转反应炉端部并且进料装置位于内返渣筒体左端，若干抄料斗沿内返渣筒体周向等间距固定在内返渣筒体右端端部外侧，物料挡圈固定在回转反应炉内壁上。本发明能够极大地减轻反应介质对反应炉体的腐蚀，降低检修频率，提高反应效率和热利用率。
一种 hf 回转反应炉内返渣系统

[实用新型]一种HF回转反应炉的内返渣系统-CN201621442681.8有效
发明人：徐志雄;童绍丰;陈朝阳;方良均 -专利权人：江苏三美化工有限公司
申请日： 2016-12-27 - 公布日： 2017-09-29 - 主分类号： C01B7/19 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种HF回转反应炉的内返渣系统，包含回转反应炉、内返渣筒体、抄料斗、物料挡圈、支撑脚和进料装置，内返渣筒体沿回转反应炉轴向同轴设置在回转反应炉内部，内返渣筒体内壁上设置有螺旋槽板，若干支撑脚沿回转反应炉径向固定在回转反应炉和内返渣筒体之间，进料装置设置在回转反应炉端部并且进料装置位于内返渣筒体左端，若干抄料斗沿内返渣筒体周向等间距固定在内返渣筒体右端端部外侧，物料挡圈固定在回转反应炉内壁上。本实用新型能够极大地减轻反应介质对反应炉体的腐蚀，降低检修频率，提高反应效率和热利用率。
一种 hf 回转反应炉内返渣系统

[发明专利]一种气基和煤基相结合的竖炉直接还原工艺-CN201910859778.0在审
发明人：付邦豪;周强;李建涛;唐恩;汪朋;陈泉锋 -专利权人：武汉科思瑞迪科技有限公司
申请日： 2019-09-11 - 公布日： 2019-11-15 - 主分类号： C21B13/02 文献下载
摘要：本发明涉及一种气基和煤基相结合的竖炉直接还原工艺，固体炭素料与含铁矿物混合后装入竖炉反应器，并在竖炉反应器内完成固体炭素料热解气化反应及含铁矿物还原反应；炉内还原气与炉料一起向下运行，炉内还原气向下运行速度大于物料向下运行速度；还原后产品从竖炉反应器底部排料口排出，炉内还原气从竖炉反应器下部排气口排出；还原气排出后，根据需要对其成分进行调整，并重新加热升温至800～1350℃温度作为载热气体，从竖炉反应器上部进气口通入炉内，为炉内固体炭素料热解气化反应及含铁矿物的还原反应提供所需热量。本发明将固体炭素料热解气化与含铁矿物还原过程集于一套竖炉装置内完成，有利于提高能源利用效率，降低生产成本和工程投资。
竖炉含铁矿物反应器固体炭炉内还原排出热解气化反应还原反应进气口能源利用效率炉料反应器上部下部排气口工程投资还原过程加热升温热解气化竖炉装置载热气体直接还原还原气排料口炉内煤基入炉装入还原

[发明专利]一种生物质流化床气化设备及其气化方法-CN201811159141.2在审
发明人：邵如意;史宇立;王冰宇;李鹏程;李友智 -专利权人：安徽科达洁能股份有限公司
申请日： 2018-09-30 - 公布日： 2018-12-18 - 主分类号： C10J3/00 文献下载
摘要：本发明的气化设备，包括外反应炉和设置于外反应炉内腔中的内反应炉，所述内外反应炉之间装有倾斜的外炉布风板，内反应炉内装有水平的内炉布风板。本发明的气化方法采用上述气化设备，生物质原料在外反应炉进行初步反应后生成中间物质，中间物质进入内反应炉中进行进一步反应，最终生成焦油含量极低的燃气。本气化方法能够使得生物质原料在反应炉中较充分地进行反应，气化效率高。
反应炉气化设备气化生物质流化床生物质原料布风板能量利用率生物质气化换热效果气化效率焦油内腔中内炉外炉燃气

[实用新型]一种用于炭黑生产反应炉内部清洁装置-CN202022562153.9有效
发明人：吴小平 -专利权人：江西省永固新能源炭黑有限公司
申请日： 2020-11-09 - 公布日： 2021-06-29 - 主分类号： B08B3/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于炭黑生产反应炉内部清洁装置，包括反应炉，所述反应炉顶部固定安装有电动推杆，所述电动推杆的输出端贯穿且延伸至反应炉内，所述反应炉内滑动安装有储水管，所述反应炉一侧固定安装有水箱，所述水箱顶部固定安装有高压水泵，所述高压水泵上连通设置有进水管，所述伸缩软管一端贯穿反应炉连通于储水管顶部，所述储水管下方固定连接有毛刷底板，所述毛刷底板上固定安装有刷毛，通过反应炉一侧设置的高压水泵连通进水管，进水管一端贯穿且延伸至反应炉内，反应炉内部滑动安装的储水管通过高压喷头向反应炉内喷水，环形储水管上等距开设的高压喷头便于全方位对反应炉进行清洗，提高清洗效果。
一种用于炭黑生产反应炉内部清洁装置

[发明专利]用于小型热处理炉的炉气产生装置-CN201310530580.0有效
发明人：罗万中;杨济华 -专利权人：财团法人金属工业研究发展中心
申请日： 2013-10-31 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： C21D1/74 文献下载
摘要：本发明提出一种用于小型热处理炉的炉气产生装置，其透过将炉气产生装置设置于小型热处理炉内，炉气产生装置包含一内盒及包覆内盒的一外盒，其利用该小型热处理炉的热能，雾化内盒的甲醇滴注液，以与反应气体混合分解为一炉气炉气产生装置所产生的炉气的出气方向与内盒的甲醇滴注液与反应气体的反应方向相垂直，使炉气呈辐射状喷射于热处理炉内，外盒可防止内盒的未完全反应的甲醇滴注液直接滴于热处理炉，而于热处理炉内产生积碳。
用于小型热处理产生装置

[发明专利]生产气相二氧化硅的系统及方法-CN201811497813.0在审
发明人：胡光健;陈朝霞;包全星;李西良 -专利权人：新特能源股份有限公司
申请日： 2018-12-07 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C01B33/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种生产气相二氧化硅的系统及方法，该系统包括：燃烧器，用于通入原料氯硅烷、氢气、氧气或空气点火燃烧；反应炉，与燃烧器连接，燃烧器的出口设置于反应炉内，反应炉为密闭式反应炉，原料氯硅烷、氢气、氧气或空气在反应炉内燃烧发生水解反应生成气相二氧化硅。生产气相二氧化硅的系统采用的反应炉为密闭式反应炉，避免了吸入外界的冷空气影响反应炉内的物料浓度，提高了反应炉内的反应温度的控制，避免了反应炉内的氯硅烷发生低温水解产生部分大颗粒二氧化硅，从而使得反应炉内反应生成了气相二氧化硅的粒径比及比表面积分布均匀
生产二氧化硅系统方法

[发明专利]一种炉内新增热源的PECVD反应炉及其控制方法-CN201810502077.7有效
发明人：王晨光;余仲;张勇;王凯 -专利权人：深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司
申请日： 2018-05-23 - 公布日： 2020-06-16 - 主分类号： C23C16/50 文献下载
摘要：本发明公开了一种炉内新增热源的PECVD反应炉及其控制方法，所述反应炉包括管状的炉体（1）、分别设于炉体两端的端盖（2）和炉门（3）、围绕在炉体外壁上的炉外加热装置、置于炉体腔内的炉内加热装置、以及控制炉外加热装置和炉内加热装置的温控装置；与现有技术相比，本发明在反应炉的内外设有两套热源，使反应炉内升温迅速，缩短了升温等待时间，加快了工艺进程，提高了产能；同时对反应炉中心进行了温度补偿，改善了工艺环境。
一种新增热源 pecvd 反应炉及其控制方法

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