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- [发明专利]一种减少氢氟酸清洗后之缺陷的方法-CN201410340149.4在审
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宋振伟
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上海华力微电子有限公司
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2014-07-17
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2014-10-01
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H01L21/02
- 一种减少氢氟酸清洗后之缺陷的方法,包括:执行步骤S1:待清洗之硅片经过氢氟酸清洗;执行步骤S2:经过氢氟酸清洗后之硅片在伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中清洗;执行步骤S3:经过伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中清洗后之硅片浸置在具有亲水类表面活性剂的去离子水中清洗;执行步骤S4:经过浸置在具有亲水类表面活性剂的去离子水中清洗后之硅片在伴随有亲水类表面活性剂注入过程的去离子水中进一步清洗。本发明通过在氢氟酸清洗后的去离子水清洗过程中,采用向上导流的方式引入亲水类表面活性剂,降低了硅片的表面张力,增加了清洗效果,减少了缺陷,极大的改善了硅片的性能和产品良率。
- 一种减少氢氟酸清洗缺陷方法
- [实用新型]一种含金尾液净化吸附塔-CN201320325063.5有效
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张立军;张鹏远;梁国海;苑兴伟
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张立军
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2013-06-06
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2014-01-01
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C02F1/28
- 本实用新型涉及一种含金尾液净化吸附塔,包括吸附塔本体、爪式布水器、活性炭层、石英砂层、锰砂层及布水器,所述爪式布水器、活性炭层、石英砂层、锰砂层及布水器均位于所述吸附塔本体内,其中,所述爪式布水器安装在所述吸附塔本体的顶部,所述活性炭层、石英砂层及锰砂层依次相连接,且所述活性炭层靠近所述吸附塔本体的顶部,所述锰砂层靠近所述吸附塔本体的底部,所述布水器与所述锰砂层相连接。本实用新型中的石英砂层内的石英砂、锰砂层内锰砂的可除去水中的铁和污泥等,活性炭层内的活性炭可吸附金、银。净化后水从上端排出可直接进入炭浆工艺流程,同时压滤水经过净化后能够使工艺药液的配比更准确更节省。
- 一种含金尾液净化吸附
- [发明专利]空气净化器及空气净化方法-CN201610885857.5有效
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涂一新
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涂一新
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2016-10-09
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2020-04-07
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F24F13/28
- 本发明实施例提供了一种空气净化器及空气净化方法,该空气净化器包括:进气口、出气口、活性炭腔体、气泵、盛水容器;进气口设置有微尘隔离栅格,微尘隔离栅格用于过滤固体颗粒,盛有活性炭的活性炭腔体与进气口连接,该活性炭用于过滤由进气口进入的空气,气泵通过第一导管与活性炭腔体连接,并通过第二导管与盛水容器连接,该气泵用于将经过活性炭腔体的空气通过第二导管导入盛水容器,盛水容器中设置有第一可调节容器,其用于盛放过氧碳酸钠,过氧碳酸钠用于与盛水容器中的水进行化学反应以对气泵导入的空气进行净化,并由出气口导出空气。
- 空气净化器空气净化方法
- [实用新型]一种活性饮用水装置-CN201520060774.3有效
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谢崇泽
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谢崇泽
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2015-01-28
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2015-07-01
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C02F1/48
- 本实用新型提出了一种活性饮用水装置,所述活性饮用水装置包括一密闭可补水容器、循环水泵、循环水管,所述水容器的下端设有下端开口,所述水容器的上端设有上端开口,所述循环水泵通过循环水管连接所述下端开口和所述上端开口本实用新型的活性饮用水装置通过将水容器、循环水管、循环水泵组成一个水的自循环系统,并在循环水管外围缠绕绕组线圈,在绕组线圈中通入可编程的脉冲电流,依据一定算法编程形成可变电磁场,提高水与磁水线的切割,使容器中符合国家卫生安全规范之饮用水得到活化处理,其活性处理能力较强,同时可防止其活性水处理效果的递减,使得活性水可以长期保存。
- 一种活性饮用水装置
- [实用新型]一种活性炭清洗装置-CN202022812751.7有效
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张迪
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徐州赛邦环保科技有限公司
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2020-11-28
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2021-11-09
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B08B3/10
- 本实用新型是一种活性炭清洗装置,包括活性炭清洗箱、清洗水加热装置、设备密封门、清洗进度观察窗、控制面板、排水孔和设备支撑脚,所述的活性炭清洗箱上部设有清洗水加热装置,清洗水加热装置表面设有供水接口,用于为设备提供清洗用水,采用热胀冷缩原理清洁活性炭的微孔,首先使用热水使活性炭充分扩张然后直接用冷水进行冲洗震荡清洁微孔,如此多次反复可以有效保证活性炭微孔的清洁效果,活性炭清洗箱表面开矩形通孔通过钢制折页连接设备密封门,可以对使用过的活性炭进行清洗
- 一种活性炭清洗装置
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