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- [发明专利]一种粒子加速器负氢束流分束装置-CN201911026258.8在审
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邢建升
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中国原子能科学研究院
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2019-10-25
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2020-02-21
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H05H7/00
- 本发明公开了一种粒子加速器负氢束流分束装置,按照束流流向从左到右包括旋转交替电子剥离器、分束磁铁、核外电子剥离器;在分束磁铁内部固装有分束真空室,所述旋转交替电子剥离器用于负氢束流通过旋转交替电子剥离器后,变成负氢质子组合束流;所述分束磁铁用于将旋转交替电子剥离器剥离后的负氢质子组合束流分为偏转半径相同但偏转方向相反的负氢束流和质子束流、该负氢束流和质子束流分别穿过负氢束流管道和质子束流管道;所述核外电子剥离器用于将负氢束流管道引出的负氢束流变成质子束流;所述粒子加速器负氢束流分束装置最终实现将粒子加速器加速后引出的负氢束流一分为二且转换为两路质子束流,使得加速器利用效率大大提高甚至翻倍。
- 一种粒子加速器负氢束流分束装
- [实用新型]离子注入设备-CN201721039656.X有效
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何川;洪俊华;张劲;陈炯;杨勇
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上海凯世通半导体股份有限公司
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2017-08-18
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2018-04-24
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H01J37/317
- 本实用新型公开了一种离子注入设备,包括离子源、一与该真空腔相连通的加热腔体、一氢气供应装置,和偏转元件,用于从至少部分束流中分离出掺杂源离子束流和氢离子束流;位于掺杂源离子束流传输路径上的掺杂源离子束流检测装置和/或位于氢离子束流传输路径上的氢离子束流检测装置,该掺杂源离子束流检测装置用于检测掺杂源离子束流的电流,该氢离子束流检测装置用于检测氢离子束流的电流。通过偏转,可以通过采样部分或者全部束流,从而得知束流中氢和掺杂源元素的比例,并且通过检测结果来调整掺杂源的升华温度和/或氢气的供应量,由此获得较为理想的束流参数。
- 离子注入设备
- [实用新型]一种粒子加速器负氢束流分束装置-CN201921810804.2有效
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邢建升
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中国原子能科学研究院
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2019-10-25
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2020-07-28
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H05H7/00
- 本实用新型公开了一种粒子加速器负氢束流分束装置,按照束流流向从左到右包括旋转交替电子剥离器、分束磁铁、核外电子剥离器;在分束磁铁内部固装有分束真空室,所述旋转交替电子剥离器用于负氢束流通过旋转交替电子剥离器后,变成负氢质子组合束流;所述分束磁铁用于将旋转交替电子剥离器剥离后的负氢质子组合束流分为偏转半径相同但偏转方向相反的负氢束流和质子束流、该负氢束流和质子束流分别穿过负氢束流管道和质子束流管道;所述核外电子剥离器用于将负氢束流管道引出的负氢束流变成质子束流;所述粒子加速器负氢束流分束装置最终实现将粒子加速器加速后引出的负氢束流一分为二且转换为两路质子束流,使得加速器利用效率大大提高甚至翻倍。
- 一种粒子加速器负氢束流分束装
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