专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]TaN材料腐蚀溶液以及TaN材料腐蚀方法-CN200810223349.6有效
  • 李永亮;徐秋霞 - 中国科学院微电子研究所
  • 2008-09-26 - 2009-04-01 - C09K13/00
  • 本发明是关于一种TaN材料腐蚀溶液以及TaN材料腐蚀方法。该TaN材料腐蚀溶液,以重量百分比计包括:NH4OH:1.47%-7.26%;H2O2:3.00%-24.91%;以及余量的水。所述的TaN材料腐蚀方法,是对于厚度小于400埃的TaN可采用光刻胶作为掩膜,先以重量百分含量为3.25%-10.44%的HF、7.17%-21.95%的HNO3以及余量的水组成的溶液对TaN材料进行腐蚀,再以重量百分含量为1.47%-7.26%的NH4OH,3.00%-24.91%的H2O2以及余量的水组成的溶液对TaN2以及余量的水组成的溶液对TaN材料进行腐蚀
  • tan材料腐蚀溶液以及方法
  • [实用新型]材料表面处理装置-CN202221482146.0有效
  • 牛晓东;狄聚青;赵青松;顾小英 - 安徽光智科技有限公司
  • 2022-06-13 - 2022-12-30 - C23F1/08
  • 提供一种材料表面处理装置,其包括材料盛放槽、腐蚀液槽及清洗液槽;材料盛放槽用于收容待表面腐蚀材料材料盛放槽具有第一底壁和第一周壁,第一底壁和第一周壁围成第一收容腔,第一收容腔用于收容待表面腐蚀材料,第一底壁用于支撑待表面腐蚀材料,第一底壁具有多个通孔;腐蚀液槽用于盛放腐蚀液以及材料盛放槽,腐蚀液用于流通通过盛放在腐蚀液槽中的材料盛放槽的多个通孔、进而淹没待表面腐蚀材料并对待表面腐蚀材料进行表面腐蚀处理;清洗液槽用于盛放清洗液以及材料盛放槽,清洗液用于流通通过盛放在清洗液槽中的材料盛放槽的多个通孔、进而淹没已表面腐蚀材料并对已表面腐蚀材料进行表面清洗。
  • 材料表面处理装置

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