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- [发明专利]一种散斑抑制装置、光学设备及激光显示系统-CN201911255768.2在审
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马宏
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觉芯电子(无锡)有限公司
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2019-12-09
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2021-06-25
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G02B27/48
- 一种散斑抑制装置、光学设备及激光显示系统。本发明提供一种散斑抑制装置,所述散斑抑制装置包括至少一个菲涅尔透镜阵列和聚光透镜,所述菲涅尔透镜阵列和所述聚光透镜沿光路依次间隔设置。一种光学设备,包含顺序设置激光光源、合束器、所述散斑抑制装置和微镜装置,所述激光光源用于发出至少一种颜色的激光光束;所述合束器用于将激光光束形成合束光;所述散斑抑制装置用于对所述合束光进行扩束、分束和匀束等操作,产生由若干子光束构成的出射光束;所述微镜装置用于将出射光束反射成扫描光束。本发明光学设备通过菲涅尔透镜阵列与其他光学元件组合使用,以实现激光散斑抑制,该光学设备结构简单、尺寸小、功耗低且适合集成在各种相干光扫描显示模组中。
- 一种抑制装置光学设备激光显示系统
- [发明专利]一种抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法-CN201611153922.1有效
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游桥明;乔大勇
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西北工业大学
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2016-12-14
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2019-03-26
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G02B27/48
- 本发明提供一种激光显示系统中抑制激光散斑的MEMS振镜及其制作方法,该MEMS振镜以SOI片(Silicon‑On‑Insulator)为加工对象,采用光刻、刻蚀和镀膜等微加工工艺制作,主要包含反射镜面反射镜面表面设计有随机分布且微小的波浪起伏特征,在实现激光反射的同时通过干扰激光相位实现散斑抑制功能。反射镜面上设计有与之相匹配的驱动梳齿、检测梳齿和谐振梁结构,通过梳齿静电驱动可以实现反射镜的面内振动,利用人眼视觉暂留时间内散斑图像的叠加从而实现散斑对比度因时间平均而被降低,增强器件的散斑抑制效果。本发明所提供的MEMS振镜形式的激光散斑抑制器件具有可靠性高、能耗低、散斑抑制效果明显、加工简单,易于大批量生产等特点。
- 一种抑制激光mems及其制作方法
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