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[发明专利]用于磁头万向悬挂支架组件的薄膜压电式微致动器-CN200380110734.5无效
发明人：姚明高;白石一雅 -专利权人：新科实业有限公司
申请日： 2003-11-27 - 公布日： 2006-12-13 - 主分类号： G11B5/55 文献下载
摘要：公开了一种薄膜压电(PZT)式微致动器。两片PZT薄膜片耦合至滑块支持框架。滑块支持框架具有滑块支持体，滑块支持体通过主梁被连接到基底。两片PZT薄膜片将滑块支持体连接到基底。所施加的电压导致PZT薄膜片收缩或伸展，使滑块支持体相对于基底移动。PZT薄膜片可以是单层或多层的。通过各向异性导电薄膜，薄膜PZT微致动器可耦合至悬架，并使PZT薄膜片介于T形滑块支持框架和悬架之间。另外，薄膜PZT微致动器可耦合至悬架，并使PZT薄膜片向外至T形滑块支持框架和悬架。
用于磁头万向悬挂支架组件薄膜压电式微致动器

[实用新型]一种用于胶带生产线的手动划膜机-CN201420098117.3有效
发明人：伍曼 -专利权人：昆山玉寰包装材料有限公司
申请日： 2014-03-06 - 公布日： 2014-07-09 - 主分类号： B65B11/02 文献下载
摘要：本实用新型涉及了包装设备技术领域，具体公开了一种用于胶带生产线的手动划膜机，包括机架、支持架、薄膜支持杆和摇动把手，支持架滚动装设在机架上，且支持架的一端凸出于机架的外侧板与摇动把手相连接，薄膜支持杆设置在机架的中部；薄膜支持杆将薄膜卷支持住，用挡板卡在薄膜卷，防止薄膜卷偏移；将薄膜的一端固定在其中一根连接杆上，再通过摇动把手驱动转动杆旋转，转动杆带动支持架将薄膜卷取，当卷取完成时，再用剪刀将薄膜剪断，其中连接杆支撑起了薄膜，使每一层薄膜的长度符合控制在尺寸范围之内，此过程只需一个工作人员就能完成，减少了人工的需要量，剪裁出的薄膜的尺寸公差符合要求。
一种用于胶带生产线手动划膜机

[发明专利]离子剥离技术制备层状组装自支持膜的方法-CN200710055910.X无效
发明人：孙俊奇;马莹 -专利权人：吉林大学
申请日： 2007-07-26 - 公布日： 2007-12-26 - 主分类号： B05D1/18 文献下载
摘要：本发明属于多层薄膜制备领域，具体涉及一种采用离子剥离技术制备大面积层状组装自支持膜的方法。包括基底的处理、层状组装膜的制备、剥离溶液的配制、离子剥离技术制备层状组装自支持膜步骤。本发明方法不受基底大小、形状、种类的限制，对平面、曲面和不规则表面的基底均适用，可制备管状或其他更复杂形状的自支持薄膜。所制备的自支持膜具有重要的意义：一方面，自支持膜方便研究层状组装薄膜的性能，揭示层状组装薄膜的性能与薄膜化学组成、微观结构之间的内联系。另一方面，与附着于固体基底的层状组装薄膜相比，自支持的层状组装薄膜将拓宽层状组装薄膜在分离膜、传感器、催化功能薄膜、微机械装置，甚至是人造器官等方面的应用。
离子剥离技术制备层状组装支持方法

[发明专利]防尘薄膜组件以及其安装方法-CN201610323191.4有效
发明人：关原一敏 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2016-05-16 - 公布日： 2020-01-03 - 主分类号： G03F1/64 文献下载
摘要：本发明的目的为提供一种防尘薄膜组件，即使离焦距离小，防尘薄膜组件框架的刚性低，也可容易地处理，从防尘薄膜组件收纳容器安全取出，从而可以无缺陷地向光掩模等贴附的防尘薄膜组件以及其安装方法。本发明的防尘薄膜组件，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧设置可装可卸的防尘薄膜组件支持装置20的同时，离焦距离/外尺寸对角长的值为0.0001～0.003。再者，防尘薄膜组件支持装置20，由平板状或者框状的支持体16构成，通过在支持体16被设置的微粘着性物质，在防尘薄膜组件框架11的防尘薄膜接着层侧可装可卸地设置。
防尘薄膜组件及其安装方法

[发明专利]薄膜器件、薄膜器件的制造方法及电子设备-CN200910159740.9无效
发明人：小野寺胜美 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2009-07-16 - 公布日： 2010-01-20 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明涉及薄膜器件、薄膜器件的制造方法及电子设备。提供柔性的薄膜器件的制造技术。作为薄膜器件的制造方法，包括以下步骤：在基板(10)上形成分离层(11)；在前述分离层上，形成粘土为主要成分并包含具有层状的晶体结构的硅酸盐矿物质的支持层(12)；在前述支持层上形成薄膜体(14)；通过对前述分离层给予能量，使前述分离层与前述基板及前述支持层的各自的粘合力降低；和将前述基板从前述支持层及前述薄膜体去除。
薄膜器件制造方法电子设备

[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器-CN201710083586.6有效
发明人：关原一敏 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2017-02-16 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： G03F1/66 文献下载
摘要：提供一种收纳没有剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，其随时间的变化起因以及制造起因的尺寸误差的影响小，其管理运用容易的防尘薄膜组件收纳容器。本发明的防尘薄膜组件收纳容器为由防尘薄膜组件收纳容器本体和嵌合于防尘薄膜组件收纳容器本体而密闭的盖体构成的且收纳无剥离片的防尘薄膜组件的防尘薄膜组件收纳容器，在防尘薄膜组件收纳容器本体上设置支持掩模具有粘着剂层涂布区域以及未涂布区域的防尘薄膜组件框架的防尘薄膜组件框架支持装置和固定器保持装置，在防尘薄膜组件框架支持装置支持防尘薄膜组件框架的掩模粘着剂层未涂布区域的同时，固定器保持装置保持被插在设于防尘薄膜组件框架的外侧面的沟中的板状框架固定器。
防尘薄膜组件收纳容器

[发明专利]制造薄膜可驱动反射镜阵列的改进方法-CN95109991.4无效
发明人：金东局 -专利权人：大宇电子株式会社
申请日： 1995-07-21 - 公布日： 2000-10-11 - 主分类号： G02B26/08 文献下载
摘要：制造Ｍ×Ｎ薄膜可驱动反射镜阵列方法包括提供一含有Ｍ×Ｎ个接线端的矩阵，在其顶面上构造一薄膜待除层；去除薄膜待除层中围绕各接线端的部分，在其中形成一支持元件，以形成一支持层；在支持层的顶部形成一弹性层；在支持元件和弹性层内构造一导管；在弹性层的顶部沉积第二薄膜层，在第二薄膜电极和弹性层顶部形成薄膜电致位移层，并使之与弹性层及其上的第一薄膜层分别形成Ｍ×Ｎ个相应的电极和元件图案；去除薄膜待除层，形成要制造的阵列。
制造薄膜驱动反射阵列改进方法

[发明专利]包含由氢键结合的多层膜的层叠体、由该层叠体获得的自支持薄膜、及它们的制法和用途-CN200580043241.3无效
发明人：小野升子;热罗·德谢尔 -专利权人：三井化学株式会社;国家科学研究中心
申请日： 2005-11-11 - 公布日： 2007-11-28 - 主分类号： B32B7/06 文献下载
摘要：本发明涉及在支持体上形成由氢键结合的多层膜，并且在该多层膜上进一步形成有薄膜的层叠体；由上述层叠体制得的自支持薄膜；通过在含有要层叠物质的二种以上溶液中交替接触支持体来形成多层膜，并且由选自蒸镀法、旋涂法和交替吸附法的方法来形成薄膜的上述层叠体的制造方法；通过在调节了pH值的水溶液中浸渍上述层叠体，来溶出多层膜，从支持体上剥离薄膜的自支持薄膜的制造方法；由上述层叠体制得的细胞培养用薄膜和缓释性药用胶囊；以及由上述薄膜获得的感应器、分离膜、催化反应用设备和透过型测定用试样薄片
包含氢键结合多层层叠获得支持薄膜它们制法用途

[发明专利]一种氧化石墨烯衍生物复合薄膜的制备方法-CN201711188273.3在审
发明人：金闯 -专利权人：太仓斯迪克新材料科技有限公司
申请日： 2017-11-24 - 公布日： 2019-06-04 - 主分类号： C08J9/40 文献下载
摘要：本发明公开了一种氧化石墨烯衍生物复合薄膜的制备方法，包括：提供一支持薄膜，设置于一底部具有开口的容器的底部；将氧化石墨烯衍生物添加于一溶剂中，搅拌均匀，得到一均匀的氧化石墨烯衍生物分散液；使该氧化石墨烯衍生物分散液，覆盖该支持薄膜；从该氧化石墨烯衍生物分散液侧，施以高压，使液体通过该支持薄膜，使多层的氧化石墨烯衍生物层沉积于该支持薄膜上，得到氧化石墨烯衍生物复合薄膜。
氧化石墨烯支持薄膜复合薄膜分散液制备衍生物层液体通过溶剂沉积多层开口覆盖

[发明专利]防尘薄膜组件收纳容器-CN201010235016.2有效
发明人：堀越淳 -专利权人：信越化学工业株式会社
申请日： 2010-07-21 - 公布日： 2011-03-30 - 主分类号： G03F1/14 文献下载
摘要：本发明是一种防尘薄膜组件收纳容器，包含：托盘，其可载置防尘薄膜组件；以及盖部，其覆盖托盘，与托盘共同形成收纳防尘薄膜组件的封闭空间；托盘包含：防尘薄膜组件框架支持体，其只与设置在防尘薄膜组件框架的粘合剂涂布端面的一部分上的未涂布粘合剂的区域接触，以支持防尘薄膜组件；以及保持机构，其将防尘薄膜组件框架固定在防尘薄膜组件框架支持体上；防尘薄膜组件框架支持体，是由基体部以及与防尘薄膜组件框架接触的缓冲部所构成，形成由两个硬度不同的构件所接合而成的接合体若利用本发明，则防尘薄膜组件以粘合剂层不会接触防尘薄膜组件收纳容器的方式被固定在收纳容器内，这样即使不使用隔离部也能够保护粘合剂层，故在保管作业中不需要隔离部。
防尘薄膜组件收纳容器

[发明专利]用于将粘接在柔软薄膜上的部件分开的方法和装置-CN200480043065.9有效
发明人：乔基姆·特林克斯;安德烈亚斯·马特;沃尔夫冈·赫布斯特 -专利权人：阿尔法森有限责任公司
申请日： 2004-12-17 - 公布日： 2007-08-15 - 主分类号： H01L21/00 文献下载
摘要：带有要分开的部件(1)的薄膜(2)在部件的区域内放置在分开工具(5)上，该分开工具具有至少一个在一个支持平面(11)内延伸的用于薄膜的支持元件(6)。该薄膜借助负压既顶着支持元件(6)也部分地被吸附到支持平面下方。在支持元件的区域内提供至少一个表面部分(8)，该表面部分在分开过程开始时在支持平面内延伸，而在保持负压的情况下在利用一个吸附工具(4)抓住部件(1)之后该表面部分能够平面平行于支持平面地进行运动。由此能够在受控制的运动中控制薄膜的分开过程，而不会损坏或者移动部件。
用于将粘接柔软薄膜部件分开方法装置

[发明专利]层压金属板的制造设备-CN97192766.9无效
发明人：加隈德昭;坂本宜树;田中厚夫 -专利权人：东洋钢钣株式会社
申请日： 1997-03-04 - 公布日： 2003-03-19 - 主分类号： B32B15/08 文献下载
摘要：为此在本发明中，在利用层压滚筒2将树脂薄膜3层压于金属板1的一侧或两侧的设备上，对应于从卷材薄膜6向层压滚筒2供给薄膜3，将赋予薄膜3以张力的支持滚筒设置在树脂薄膜3的层压滚筒2接触侧。上述的支持滚筒从层压滚筒2与卷材薄膜连接的直线突出地设置。在将层压速度定为V(m/分)，将层压滚筒2与设置其前的支持滚筒5之间的树脂薄膜3的长度定为L(m)时，将支持滚筒5设置于层压滚筒2之前，使得L×V≤600。
层压金属板制造设备

[发明专利]无金属电极的垂直结构的LED高压芯片-CN201210452506.7无效
发明人：金木子 -专利权人：金木子;彭晖
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2014-05-21 - 主分类号： H01L33/64 文献下载
摘要：本发明揭示无金属电极的垂直结构的LED高压芯片，包括：支持衬底，至少两个单元半导体外延薄膜。其中，支持衬底包括，绝缘支持衬底，导电支持衬底，通孔绝缘支持衬底，通孔导电支持衬底。单元半导体外延薄膜键合在支持衬底上，剥离生长衬底。相邻的单元半导体外延薄膜通过透明的中间连接电极电连接。全部单元芯片以串联方式连接，形成无金属电极的垂直结构的LED高压直流芯片。
金属电极垂直结构 led 高压芯片

[实用新型]无金属电极的垂直结构的LED高压芯片-CN201220595314.7有效
发明人：金木子 -专利权人：金木子;彭晖
申请日： 2012-11-13 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： H01L33/64 文献下载
摘要：本实用新型揭示无金属电极的垂直结构的LED高压芯片，包括：支持衬底，至少两个单元半导体外延薄膜。其中，支持衬底包括，绝缘支持衬底，导电支持衬底，通孔绝缘支持衬底，通孔导电支持衬底。单元半导体外延薄膜键合在支持衬底上，剥离生长衬底。相邻的单元半导体外延薄膜通过透明的中间连接电极电连接。全部单元芯片以串联方式连接，形成无金属电极的垂直结构的LED高压直流芯片。
金属电极垂直结构 led 高压芯片

[发明专利]制造带有纹理的多个薄膜的固体清洁剂支持物的装置-CN03155523.3无效
发明人： K·V·巴克里斯纳;A·P·纳拉延;S·R·布哈斯卡;V·J·杉卡 -专利权人：庄臣及庄臣有限公司
申请日： 2003-05-07 - 公布日： 2004-06-02 - 主分类号： B29C65/74 文献下载
摘要：一种制造带有纹理的多个薄膜固体清洁剂支持物的装置。固体清洁剂进料传送带安装在第一个框架上，并且提供有支持袋。薄膜进料单元包括一对薄膜退绕顶辊和一对薄膜退绕底辊，安装在进料传送带的进料端的架子上。一对薄膜层压单元安装在第一框架的顶部和底部。固体清洁剂支持物成形部件安装在第二个框架上，它位于接近进料传送带的出料端。固体清洁剂支持物密封单元，物切割单元，刻痕单元和下脚料薄膜传送带依次并列安装在第二个框架上。多个薄膜张力辊和多个薄膜牵引单元提供在带有纹理的薄膜路径上。间歇的差速驱动单元与进料传送带，逆转传送带，薄膜刻痕单元，下脚料薄膜传送带和薄膜牵引单元连接(图1)。
制造带有纹理薄膜固体清洁剂支持装置

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