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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[发明专利]一种具有分离式网框的张网机及其张网加工方法-CN202211482797.4在审
发明人：蔡宗宏 -专利权人：黄石全洋光电科技有限公司
申请日： 2022-11-24 - 公布日： 2023-03-07 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明涉及金属掩膜版技术领域，尤其是一种具有分离式网框的张网机及其张网加工方法，包括金属掩膜版网框，其特征是：所述金属掩膜版网框的上表面两端等距设有若干凹槽，若干所述凹槽内设有分离式网框，所述金属掩膜版网框的上表面若干设有金属掩膜版，多个所述分离式网框的上表面均对应设有金属掩膜版，所述金属掩膜版网框的外部四周均设有夹持组件，所述金属掩膜版网框的上方设有点焊组件及CCD相机。本发明具有分离式网框的张网机机通过将多个金属掩膜版的拼接与内置隐藏式分离式网框张网对位后进行镭射点焊，可以有效进行不同大规格金属掩膜版产品的制作，结构布局更加合理。
一种具有分离式网框张网机及其加工方法

[发明专利]一种通用金属掩膜版焊接方法及制作的通用金属掩膜版-CN202110928583.4在审
发明人：潘燕萍 -专利权人：江苏乐萌精密科技有限公司
申请日： 2021-08-13 - 公布日： 2021-11-09 - 主分类号： B23K26/22 文献下载
摘要：本发明公开了一种通用金属掩膜版焊接方法及制作的通用金属掩膜版，属于显示面板制造装备领域。本发明的通用金属掩膜版焊接方法，其将掩模网的四周张网定位在金属框的上表面上，采用点焊工艺将掩模网的四周焊接固定在金属框上；对矩形掩模网的长边和短边分割焊接，先对矩形掩模网的长边和短边的中心焊接区进行焊接，然后再分别对矩形掩模网的长边和短边的对应端部焊接区进行焊接，改善了掩模网单边连续焊接而产生的累积挤压变形，提高了通用金属掩膜版的焊接位置精度；并且，焊接方法简单易行，实施方便，为提高通用金属掩膜版的制作精度提供了新思路制作的通用金属掩膜版的位置精度更高，掩模网不易发生扭曲，保证了通用金属掩膜版的高精度。
一种通用金属掩膜版焊接方法制作

[发明专利]一种PERC电池的制作方法-CN201510976235.9在审
发明人：杨洁;福克斯·斯蒂芬;蒋方丹;金浩 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2015-12-22 - 公布日： 2016-04-06 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本申请公开了一种PERC电池的制作方法，包括：对硅片进行清洗并表面制绒；扩散形成p-n结；在所述硅片的正面制作钝化膜；在所述硅片的背面覆盖掩膜网版，并利用所述掩膜网版沉积Al₂O₃薄膜，退火后再沉积Si₃N₄薄膜，取下所述掩膜网版，形成开槽式钝化膜图案；制作前电极和背电极。由于在上述方法中，在所述硅片的背面覆盖掩膜网版，并利用所述掩膜网版沉积Al₂O₃薄膜，退火后再沉积Si₃N₄薄膜，取下所述掩膜网版，形成开槽式钝化膜图案，因此既能实现晶硅电池的局部背接触，又能避免激光开槽所带来的损伤，从而降低复合，降低接触电阻，提高电池转换效率。
一种 perc 电池制作方法

[发明专利]一种金属掩膜版及掩膜组件-CN202111311704.7在审
发明人：钱超;张蔡星;李成林 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2021-11-08 - 公布日： 2022-02-08 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版及掩膜组件，涉及蒸镀掩膜领域。所述的金属掩膜版的中部具有规则排布的若干开口图案；所述的金属掩膜版大体上呈矩形，且其四边均具有向其网面内侧凹陷的缺口，所述的缺口用于所述的金属掩膜版在张网拉伸时的形变预留量；所述的缺口的边缘起始于所述的矩形的顶点所述的掩膜组件包括所述的金属掩膜版。本发明通过在金属掩膜版的四边设置特定的缺口作为形变预留量，降低张网拉伸时需要给靠近金属掩膜版四角位置提供的张网拉力，实现了在控制金属掩膜版张网后下垂量的同时，避免了因在该位置拉力过大而产生的网面变形。
一种金属掩膜版组件

[实用新型]一种金属掩膜版及其金属网框-CN201920391281.6有效
发明人：王宝 -专利权人：南京高光半导体材料有限公司
申请日： 2019-03-26 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属掩膜版及其金属网框，属于金属掩膜版技术领域。一种金属掩膜版，包括金属网框与固定在金属网框上表面的金属掩膜，金属网框包括依次固定连接在一起形成框架结构的边条，边条的上表面为金属网框与金属掩膜接触的上表面，所述边条的上表面为凸凹表面，所述金属掩膜通过电镀直接生长在边条的上表面上，所述金属掩膜的下表面将凸凹表面填充满使金属掩膜与金属网框无缝结合在一起。本实用新型的金属网框的上表面为凸凹结构，金属掩膜由电镀镀层直接生长而成，金属掩膜与金属网框无缝结合在一起，金属掩膜与金属网框的连接牢固，蒸镀时不会发生破片的现象。
一种金属掩膜版及其金属网

[发明专利]一种金属掩膜版及其制造方法-CN202210586642.9在审
发明人：李博;刘鑫;李哲;杨凡;吴义超 -专利权人：成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-09-30 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种金属掩膜版及其制造方法，涉及显示技术领域，其可至少部分解决现有技术中掩膜版使用张网拉力时，掩膜版主体的边框区与网面区需要不同拉力，造成网面区折角处容易出现形变，影响掩膜版成品品质的问题。本发明实施例一的一种金属掩膜版，包括具有遮挡区的掩膜版主体，所述遮挡区的顶部半蚀刻有若干间隔式设置的减重单元，单位面积的减重单元分布密度沿遮挡区顶部的中间位置往边角位置呈规律式降低。
一种金属掩膜版及其制造方法

[实用新型]一种金属掩膜版-CN202221296574.4有效
发明人：李博;刘鑫;李哲;杨凡;吴义超 -专利权人：成都拓维高科光电科技有限公司
申请日： 2022-05-27 - 公布日： 2022-11-18 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种金属掩膜版，涉及显示技术领域，其可至少部分解决现有技术中掩膜版使用张网拉力时，掩膜版主体的边框区与网面区需要不同拉力，造成网面区折角处容易出现形变，影响掩膜版成品品质的问题。本实用新型实施例一的一种金属掩膜版，包括具有遮挡区的掩膜版主体，所述遮挡区的顶部半蚀刻有若干间隔式设置的减重单元，单位面积的减重单元分布密度沿遮挡区顶部的中间位置往边角位置呈规律式降低。
一种金属掩膜版

[实用新型]一种高效低成本制备的PERC太阳能电池-CN201922002751.8有效
发明人：余伟;董仲;曹绿叶;赵艳 -专利权人：南京朗伯尼特新能源有限公司
申请日： 2019-11-19 - 公布日： 2020-07-28 - 主分类号： H01L31/0216 文献下载
摘要：本实用新型公开一种高效低成本制备的PERC太阳能电池，PERC太阳能电池包括硅片，所述硅片的背面为钝化膜，所述硅片背面钝化膜镀膜时，所述硅片背面放置有耐高温镀膜掩版，所述镀膜掩版的图案与丝网印刷电极网版图案一样，所述镀膜掩版与丝网印刷电极网版中的镂空与遮挡区域相反设置，所述镀膜掩版遮挡金属电极印刷区域。本实用新型创造性地在硅片背面设置镀膜掩版，通过镀膜掩版实现钝化膜镀膜和局部开孔，避免了激光损伤对PERC电池所产生的不利影响。
一种高效低成本制备 perc 太阳能电池

[发明专利]掩膜版框架的张网对抗力的确定方法、装置和掩膜版-CN202011364854.X有效
发明人：范柳彬;李文星;李金库;刘明星;甘帅燕 -专利权人：昆山国显光电有限公司
申请日： 2020-11-27 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G06F30/23 文献下载
摘要：本发明实施例公开了一种掩膜版框架的张网对抗力的确定方法、装置和掩膜版，该掩膜版框架的张网对抗力的确定方法包括根据掩膜版的参数建立掩膜版网面的仿真模型，并获取网面的仿真模型进行仿真得到的张网参数；根据张网参数和掩膜版框架的仿真模型得到框架的第一变形数据本发明实施例提供的技术方案，由于施加到框架上的对抗力是经过仿真模拟得到的，具有较高的精度，因此可以很好地匹配预期设定的网面下垂量，极大地提高了张网精度，进而有利于提高产品的良率。
掩膜版框架抗力确定方法装置

[发明专利]一种在网板上制作图形的方法-CN201610906631.9在审
发明人：贾云涛 -专利权人：贾云涛
申请日： 2016-10-18 - 公布日： 2017-01-04 - 主分类号： G03F1/68 文献下载
摘要：本发明提供了一种制作丝网印刷用网板的掩膜版的方法，包括：对固定在载体上的构成丝网的微观结构进行图像识别的光电扫描；在电子计算机上对丝网的丝线的扫描结果生成空间关系结构模型；电子计算机根据生成的丝网模型建模，可生成掩膜版图形；制作带有栅线图形的掩膜版。本发明还提供了利用所制作的掩膜版在网板上制作图形的方法。本发明所提供的制作掩膜版和在网板上制作图形的方法，能够根据丝网的丝线走势制作掩膜版的栅线图形，从而避免了或尽可能的避免了网板上制作的槽线(印刷图形)与丝网的丝线交叉的情况。
一种网板上制作图形方法

[发明专利]一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法-CN202210355669.7在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种金属掩膜版框、掩膜版组件及其张网加工方法，涉及金属掩膜版领域。金属掩膜版框包括固定框、四组活动框边和若干弹簧；固定框四周的外侧面上分布有若干个弹簧孔，弹簧孔沿相应的外侧面的法向向框体内部延伸；活动框边分别设置在固定框的四边上，且均与固定框的上侧面滑动连接，活动框边具有弹簧阻挡部掩膜版组件包括上述金属掩膜版框和金属掩膜版。张网时，通过朝向固定框中心的方向挤压移动活动框边到预设位置，然后将金属掩膜版张网并焊接在活动框边上。本发明能够抑制掩膜网面的下垂。
一种金属掩膜版框掩膜版组件及其加工方法

[发明专利]一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置-CN202010596206.0有效
发明人：李典虹;苏长恒 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2020-06-28 - 公布日： 2022-10-04 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本申请公开了一种掩膜版组件、张网方法及蒸镀装置。该掩膜版组件包括框架，支撑网，至少两块掩膜版，以及至少一个遮掩条，遮掩条的两端以一定的拉力固定连接在框架上，用于使框架产生预定的弹性形变，遮掩条设在两块相邻掩膜版之间的间隙处。本申请增加了至少一条遮掩条，只需要调整遮掩条的拉力就可以改善镀膜像素位置精度拉伸向整体尺寸精度，节约了掩膜版组件的制作成本。
一种掩膜版组件方法装置

[发明专利]一种精密金属掩膜版、蒸镀装置和蒸镀制程-CN201810949101.1有效
发明人：杜骁 -专利权人：武汉华星光电半导体显示技术有限公司
申请日： 2018-08-20 - 公布日： 2020-11-27 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种精密金属掩膜版，包括支撑框架以及设置在支撑框架上的金属支撑网和至少一个精密金属掩膜条，精密金属掩膜条位于金属支撑网上方，其中，金属支撑网为一体成型结构，金属支撑网上设置有至少一个开口区域，精密金属掩膜条上设置有图形区域，图形区域位于至少一个开口区域的上方且覆盖至少一个开口区域，蒸镀制程中，蒸镀材料依次通过开口区域和图形区域在待蒸镀基板上形成预设蒸镀图案。本发明的精密金属掩膜版中使用一体成型的金属支撑网，可以支撑精密金属掩膜条并阻挡蒸镀材料从相邻精密金属掩膜条之间的间隔处通过；开口区域的形状决定了预设蒸镀图案的形状，因此，通过设置开口区域可以使得精密金属掩膜版用于异形屏的蒸镀中
一种精密金属掩膜版装置蒸镀制程

[发明专利]一种改善掩模版清洗效果的装置及方法-CN202111594931.5在审
发明人：钟立华;朱邦余;李欣 -专利权人：昆山福拉特自动化设备有限公司
申请日： 2021-12-24 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： C23G5/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善掩模版清洗效果的装置及方法，通过在掩膜版网表面区域产生静电场，并且particle所受电场力背离掩膜版网的手段或方案，达到了利用电场力去除掩膜版网表面particle的效果，金属板和粘尘垫开通孔
一种改善模版清洗效果装置方法

[发明专利]一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法-CN202210356434.X在审
发明人：钱超;李成林;张蔡星;杨柯 -专利权人：江苏高光半导体材料有限公司
申请日： 2022-04-06 - 公布日： 2022-06-28 - 主分类号： C23C14/04 文献下载
摘要：本发明提出的一种液压式金属掩膜版框、掩膜版组件及其调节方法，涉及金属掩膜版领域。液压式金属掩膜版框包括液压框，液压框框体内部具有液体腔，液体腔内填充液压介质，液压框框体的外侧面上分布有若干活塞孔，活塞孔内均装有与之相适配的活塞推杆，液压框上还具有至少一个调节孔，调节孔与液体腔连通，掩膜版组件包括上述液压式金属掩膜版框和金属掩膜版。本发明能够抑制掩膜网面的下垂，提高产品质量。
一种液压式金属掩膜版框掩膜版组件及其调节方法

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