“抛光液循环装置 ”专利关键词查询_检索下载_查询列表_检索列表_行业专利分布_钻瓜专利网

钻瓜专利网为您找到相关结果15023397个，建议您升级VIP下载更多相关专利

[发明专利]抛光液传输设备-CN200610148816.4有效
发明人：陈肖科 -专利权人：中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2006-12-28 - 公布日： 2008-07-02 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液传输设备，包括：抛光液配液装置，用于配制抛光液通过第一传输管道输出并接收第二传输管道输回的抛光液；循环泵，用于将抛光液配液装置中的抛光液通过第一传输管道抽出，再通过第二传输管道传输回抛光液配液装置；第一传输管道，用于传输循环泵从抛光液配液装置抽取的抛光液；第二传输管道，用于传输循环泵向抛光液配液装置传输的抛光液；供应盒，用于抽取第一传输管道或第二传输管道内的抛光液向化学机械抛光机台传输。本发明抛光液传输设备能够保证向化学机械抛光机台传输的抛光液的质量，从而提高了化学机械抛光的工艺质量。
抛光传输设备

[实用新型]一种电化学抛光液循环过滤装置-CN202123404305.3有效
发明人：程泽武;张全有;杨坤;张爱兵;迮建军;古宏伟;蔡渊 -专利权人：苏州新材料研究所有限公司
申请日： 2021-12-31 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C25F3/16 文献下载
摘要：本实用新型公开一种电化学抛光液循环过滤装置，包括过滤槽，其包括相连接的未过滤抛光液槽和过滤抛光液槽，未过滤抛光液槽的一端具有进液端口，进液端口与抛光液存储槽连接，过滤抛光液槽的一端具有出液端口，出液端口与抛光槽连接，抛光液存储槽和所述抛光槽之间也连接；过滤机构，连接于未过滤抛光液槽和过滤抛光液槽之间；循环机构设于出液端口与抛光槽之间；过滤槽、过滤机构、循环机构、抛光液存储槽和抛光槽构成循环连接。能够稳定的控制抛光液电压，进而稳定抛光电压等抛光生产工艺中的各项参数，可以除掉抛光液中的金属盐，除掉基带表面麻点，降低粗糙度值，提高了基带性能。
一种电化学抛光循环过滤装置

[发明专利]一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调控方法-CN202211674206.3在审
发明人：朱明露;李磊;王亦君 -专利权人：常州皓研智能科技有限公司
申请日： 2022-12-26 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： B01F35/82 文献下载
摘要：本发明涉及一种高精玻璃抛光过程抛光液在线调控系统及调整方法，其中调控系统包括与控制单元通信连接的表面张力调控模块、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光液循环装置；所述抛光液循环装置包括循环管道以及用于抛光液在循环管道内流动的循环泵；所述循环管道依次通过表面张力调控模块、磨料粒度粒形调控模块、磨料浓度调控模块和抛光工位。本发明中的调控系统和调控方法通过实验模拟不同磨料粒径和圆度抛光液混合后的结果，得到抛光液粒径和圆度变化时需补充的新抛光液的活性剂、磨料粒径、磨料圆度和磨液浓度，实时监控抛光液的理化性质，补充一定浓度指定粒径和圆度的新抛光液，使抛光液总体粒径和圆度保持在固定水平。
一种玻璃抛光过程在线调控系统方法

[发明专利]一种抛光液抛光颗粒循环提取装置-CN201910749801.0有效
发明人：孟凡伟;于涛;张天琪;陈辽原;张超;张海洋;于天彪;赵继 -专利权人：东北大学
申请日： 2019-08-14 - 公布日： 2021-12-07 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光液抛光颗粒循环提取装置，包括箱体和设置在所述箱体内部的抛光液储液器、抛光液超声雾化装置、抛光液烘干装置、抛光颗粒与气流混合装置和抛光颗粒分离装置；所述抛光液储液器内设有抛光液搅拌装置抛光废液在抛光液储液器中进行收集并搅拌，在抛光液超声雾化装置中雾化，之后进入抛光液烘干装置，烘干后进入所述抛光颗粒与气流混合装置，之后进入抛光颗粒分离装置，根据不同颗粒器重力范围的不同实现了不同质量的颗粒分离本发明所述的一种抛光液抛光颗粒循环提取装置，是一种能够在抛光后对抛光液进行回收处理的装置，大大降低了抛光过程中的经济成本，提高了抛光过程绿色制造程度。
一种抛光颗粒循环提取装置

[发明专利]独立控制外部循环的抛光液进给系统-CN201410597723.4有效
发明人：李洪玉;张伟;陈宇鑫;秦强运;董慧莲 -专利权人：哈尔滨工业大学
申请日： 2014-10-29 - 公布日： 2015-03-11 - 主分类号： B24B57/02 文献下载
摘要：独立控制外部循环的抛光液进给系统，它涉及一种数控抛光设备的抛光液进给系统，属于超精密光学加工设备领域。本发明的目的是解决现有数控抛光设备抛光液循环系统只能使用一种抛光液、且加工不同尺寸工件时抛光液用量不可控的局限性的问题。独立控制外部循环的抛光液进给系统由抛光液容器、抛光封闭室和气动搅拌装置组成。优点：一、实现了一台设备可以使用多种抛光液，克服了传统抛光设备“一台设备一种抛光液”的局限，提高了设备的加工能力；二、抛光液的用量可以根据被加工件的口径进行控制，有效降低了加工成本；三、本发明使用方便、本发明独立控制外部循环的抛光液进给系统主要用于为数控抛光设备提供抛光液。
独立控制外部循环抛光进给系统

[发明专利]一种蓝宝石介电泳抛光机用抛光液添加装置-CN202110765327.8有效
发明人：张学良;袁巨龙;邓乾发;王金虎;彭宽栋;郑彬楠 -专利权人：杭州科技职业技术学院;浙江工业大学
申请日： 2021-07-06 - 公布日： 2022-07-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种蓝宝石介电泳抛光机用抛光液添加装置，其在上抛光盘上设置主进液盘和循环进液盘，通过液体流道的设置可以同时输入新的以及循环回收的抛光液，主进液盘中新的抛光液靠内侧，循环进液盘中循环回收的抛光液靠外侧，合理的保证新旧抛光液参与抛光的时间差异，令新的抛光液更多的进行抛光，主进液盘和循环进液盘通过液体流道的设置，进行单进液管输入从而简化结构，圆周多位置出液孔的输出，对应上抛光盘上同步进行圆周多位置入液孔的出液，保证抛光液的均匀分布，提高对蓝宝石的均匀抛光效果，整体上在保证抛光质量的同时，更好的实现对抛光液的循环输入进行使用，降低抛光成本以及减少资源浪费。
一种蓝宝石电泳抛光机抛光添加装置

[发明专利]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光装置-CN201810122104.8在审
发明人：李敏;黄振荣;董婷;邓朝晖;毛美姣;唐成;刘玲令;赵前程 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-06-01 - 主分类号： B24B25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光装置，包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置，抛光固动盘安装在防尘罩内，防尘罩上设有抛光工具夹具，抛光工具安装在抛光工具夹具上，抛光工具设置在防尘罩内；抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管，中空管上端与抛光液性状调节室出口连接，抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接，抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接，抛光工具的下端处设有凹腔，凹腔内设有液流边界约束机构
抛光工具防尘罩抛光液循环装置夹具抛光液性状剪切增稠抛光装置超精密抛光凹腔动盘协同抛光液出口边界约束出口连接加工材料加工效率室出口室进口中空管上端空管面形下端液流进口

[实用新型]一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统-CN201320162035.6有效
发明人：易小顺;方建雄;李呼相;吴鲁;隆仁伟 -专利权人：苏州海铂晶体有限公司
申请日： 2013-04-02 - 公布日： 2013-09-18 - 主分类号： B24B57/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于蓝宝石领域的CMP抛光液外部循环系统，包括抛光液管道，所述抛光液管道与抛光液桶连通，在所述抛光液管道上依次设置推进泵A、粗过滤装置、细过滤装置及推进泵B。将所述推进泵B与三通阀连接，三通阀的端口A与CMP设备连接，三通阀的端口B与抛光液桶连通，三通阀的端口A上设有第一阀门，三通阀的端口B上设有第二阀门。当CMP设备不运行的时候，打开第二阀门，将三通阀的端口B与抛光液桶连通，推进泵A和推进泵B保持工作，实现抛光液的外部循环。本实用新型利用将三通阀将抛光液管道与抛光液桶实现循环连通，实现了抛光液的外部循环，避免了抛光液因为CMP设备不运行而结晶的问题。
一种用于蓝宝石领域 cmp 抛光外部循环系统

[发明专利]一种自由曲面的抛光方法及装置-CN202010492415.0有效
发明人：金洙吉;赵勇;郭江 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-06-18 - 主分类号： B24B1/04 文献下载
摘要：一种自由曲面的抛光方法及装置，尤其涉及一种基于剪切增稠的角度可调整的振动抛光工件自由曲面的方法及装置。装置包括抛光系统、抛光液循环系统、振动装置、角度调节装置，抛光系统与抛光液循环系统连接，抛光液从抛光池底部侧面流出通过管路进入抛光液循环系统，角度调节装置与抛光系统相连。该方法是通过工件在具有剪切增稠效应的非牛顿流体里振动，保证抛光液发生剪切增稠现象。同时，度调节装置可以使工件在抛光液中的抛光角度变化，保证抛光的均匀性。工件表面在抛光液中振动冲刷以实现对内表面材料的高效、均匀去除。本发明可用于实现常规抛光工具难以加工的自由曲面面的抛光，且抛光效率高、可实现自由曲面的均匀抛光、装置简单。
一种自由曲面抛光方法装置

[发明专利]一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法-CN201911377667.2有效
发明人：郭钰;刘春俊;彭同华;杨建 -专利权人：北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达新材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法，将抛光液混液桶的出液口用于与抛光设备的入液口相连，抛光液混液桶的第一回液口用于与抛光设备的出液口相连；检测装置设置于抛光液混液桶出液口至抛光设备入液口之间，并与控制器相连，检测装置用于检测抛光液混液桶出液口中抛光液的稳定性参数，并将检测结果发送至控制器；控制器与调节补给装置相连，用于控制调节补给装置为抛光液混液桶注入抛光液调节剂，提高抛光液的稳定性。通过上述公开的装置和方法，对循环使用的抛光液的稳定性参数进行检测，当抛光液的稳定性参数低于预设稳定性参数时，注入抛光液调节剂使抛光液的稳定性参数符合预设稳定性参数，从而保证能够达到预期抛光效果。
一种尺寸晶片工用抛光循环装置方法

[发明专利]一种用于公自转磁流变抛光中的循环装置-CN201110124410.3有效
发明人：张云;王于岳;祝徐兴;冯之敬;左巍;赵广木 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-05-13 - 公布日： 2011-11-02 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种用于公自转磁流变抛光中的循环装置，包括注液槽与回收槽、注液嘴、刮板和其他必要的辅助装置。注液管将磁流变抛光液注入注液槽，注液槽与注液嘴连通，注液嘴将磁流变抛光液加注到抛光轮上，刮板将磁流变抛光液与抛光轮分离，并将磁流变抛光液引导至回收槽中。抽液管将回收槽中的磁流变抛光液抽走。本发明所涉及到的用于公自转磁流变抛光中的循环装置，在与公自转磁流变抛光方法配合使用的前提下，能够解决磁流变抛光液的循环问题，保证抛光去除函数的稳定性，使公自转抛光发挥其优势。
一种用于自转流变抛光中的循环装置

[实用新型]一种用于公自转磁流变抛光中的循环装置-CN201120153455.9无效
发明人：张云;王于岳;祝徐兴;冯之敬;左巍;赵广木 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-05-13 - 公布日： 2011-12-28 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种用于公自转磁流变抛光中的循环装置，包括注液槽与回收槽、注液嘴、刮板和其他必要的辅助装置。注液管将磁流变抛光液注入注液槽，注液槽与注液嘴连通，注液嘴将磁流变抛光液加注到抛光轮上，刮板将磁流变抛光液与抛光轮分离，并将磁流变抛光液引导至回收槽中。抽液管将回收槽中的磁流变抛光液抽走。本实用新型所涉及到的用于公自转磁流变抛光中的循环装置，在与公自转磁流变抛光方法配合使用的前提下，能够解决磁流变抛光液的循环问题，保证抛光去除函数的稳定性，使公自转抛光发挥其优势。
一种用于自转流变抛光中的循环装置

[发明专利]一种柴油机曲轴的抛光装置-CN202010492314.3有效
发明人：郭江;杨哲;宋传平;鲍永杰 -专利权人：大连理工大学
申请日： 2020-06-03 - 公布日： 2021-07-16 - 主分类号： B24B21/02 文献下载
摘要：一种柴油机曲轴的抛光装置，属于精密/超精密加工领域。该装置利用曲轴在抛光液中的周向转动，保证抛光液发生剪切增稠现象。装置包括抛光系统、抛光液循环冷却系统、振动装置系统、曲轴随动系统。所述抛光系统含有抛光液且与抛光液循环冷却系统通过管路相连接；所述抛光液循环冷却系统用于保证整个系统中的抛光液温度恒定，使抛光工作顺利进行；所述振动装置系统能够提升曲轴的加工效率和表面质量；所述曲轴随动系统用于实现抛光系统沿曲轴径向、周向、轴向三个方向的运动，从而可以对曲轴主轴颈、连杆颈进行全方位的抛光。本发明提供一种抛光装置，设备简单、抛光质量较好，可以实现曲轴高效率低成本的表面抛光。
一种柴油机曲轴抛光装置

[实用新型]一种高效超精密剪切增稠-化学协同抛光加工装置-CN201820213320.9有效
发明人：李敏;黄振荣;董婷;邓朝晖;毛美姣;唐成;刘玲令;赵前程 -专利权人：湖南科技大学
申请日： 2018-02-07 - 公布日： 2018-09-11 - 主分类号： B24B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种高效超精密剪切增稠‑化学协同抛光加工装置，包括抛光工具、抛光工具夹具、抛光固动盘、防尘罩及抛光液循环装置，抛光固动盘安装在防尘罩内，防尘罩上设有抛光工具夹具，抛光工具安装在抛光工具夹具上，抛光工具设置在防尘罩内；抛光工具包括抛光液性状调节室和中空管，中空管上端与抛光液性状调节室出口连接，抛光液性状调节室进口与抛光液循环装置的出口连接，抛光液循环装置的进口与抛光液出口连接，抛光工具的下端处设有凹腔
抛光工具防尘罩抛光液循环装置夹具抛光液性状本实用新型剪切增稠抛光加工超精密抛光凹腔动盘协同抛光液出口边界约束出口连接加工材料加工效率室出口室进口中空管上端空管面形下端液流进口

[发明专利]基于非牛顿流体剪切增稠机理的孔内壁抛光装置-CN201510489786.2在审
发明人：吕冰海;戴伟涛;程仲点;翁海舟;邓乾发 -专利权人：浙江工业大学
申请日： 2015-08-11 - 公布日： 2015-11-11 - 主分类号： B24B29/04 文献下载
摘要：一种基于非牛顿流体剪切增稠机理的孔内壁抛光装置，包括抛光池、抛光液循环系统、抛光工具和工件夹具，所述抛光池内放置抛光液，所述的抛光液为在具有剪切增稠效应的非牛顿流体中添加磨粒或微粉的抛光液；所述抛光工具位于抛光池内且与待加工的工件内孔壁保持加工间隙，所述工件夹具位于抛光工具的下方，所述抛光工具、工件夹具和待加工的工件均位于抛光池的液面下方；所述工件夹具与工件驱动机构连接，所述抛光工具与抛光工具驱动机构连接，所述抛光液循环系统的循环进口与所述抛光池的底部出口连通，所述抛光液的循环出口与所述抛光池的上部入口连通。本发明抛光效率高、质量好、成本低、装置结构简单。
基于牛顿流体剪切机理内壁抛光装置

1
2
3
4
5
6
7
8
9
10
11
12
13
14
15
16
17
18
19
20
下一页»
尾页
共 100000 条