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[发明专利]一种铁锅抛光工艺-CN201410687227.8在审
发明人：郑西涛;刘玉姣 -专利权人：河南摩西机械制造有限公司
申请日： 2014-11-26 - 公布日： 2015-03-25 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种铁锅抛光工艺，该工艺所用到的抛光设备有机械手、内抛台、翻转机构、外抛台以及抛光轮，其具体的工艺步骤包括：铁锅的进位、抛边、内壁抛光、翻转、外壁抛光和移出，其中，所述的机械手分别控制铁锅从进锅位到内抛台、从内抛台到翻转机构、从外抛台到出锅位，所述的抛光轮设置为两个，分别由设置在内抛台和外抛台一侧的两个机械臂控制移动和转动。本发明实现铁锅抛光的自动化，大大的减轻了操作工人的劳动强度，在操作中只需要将待抛光的铁锅用机械运至进锅位即可由本发明所述的装置完成后续的一系列抛光处理，因此效率和抛光的精度得到很大的提高。
一种铁锅抛光工艺

[发明专利]一种可钢化超白玻璃生产用火焰抛光装置及工艺-CN202010152670.0在审
发明人：倪明发;陆春华;倪亚茹;房正刚;许德章;刘有余;于华;杨明;李怀正 -专利权人：和县晶晶玻璃制品有限公司
申请日： 2020-03-06 - 公布日： 2020-06-26 - 主分类号： C03B29/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种可钢化超白玻璃生产用火焰抛光装置及工艺，包括加工底座、抛光轮机构和火焰喷射机构，加工底座的左上侧安装抛光轮机构，加工底座的右上侧安装火焰喷射机构，将烧制完成的钢化玻璃胚件放置于抛光工作台上，并适当调整放置位置将抛光底座及前端组件合并，并在连接板上安装螺栓固定，选择适当参数的抛光轮安装于安装轴上，并在固定螺杆上安装螺栓固定，打开输气管上的调节阀，使火焰喷射口喷射火焰，并通过调节手柄调节火焰喷射的大小，打开旋转电机，使其驱动安装轴及安装轴上的抛光轮转动，使抛光轮在喷射火焰的状态下，对钢化玻璃胚件进行火焰抛光工艺的加工，使工人无需接触高温，方便火焰抛光工艺的操作。
一种可钢化超白玻璃生产火焰抛光装置工艺

[发明专利]一种钛合金高表面完整性力控抛光磨具-CN201910004807.5有效
发明人：黄云;贺毅;肖贵坚;赵永怡 -专利权人：重庆大学
申请日： 2019-01-03 - 公布日： 2021-01-01 - 主分类号： B23Q1/25 文献下载
摘要：本发明公开一种钛合金高表面完整性力控抛光磨具，包括抛光块、连接件、固定装置和压紧组件，抛光块上设置有用于放置待加工工件的安装腔，连接件设置于抛光块端部、用于将抛光块安装在磨床上，固定装置设置于安装腔的内壁上、用于固定砂带，压紧组件贯穿于抛光块设置，且压紧组件的压紧部位于安装腔内、用于将砂带压紧于待加工工件外周面。本发明提供的抛光磨具，设置有左抛光块与右抛光块，可同时对钛合金两侧表面进行抛光，保证磨削工艺效率；另外，自动控制磨削同样保证了磨削工艺的效率；同时，本装置设置有冷却装置，在完成对钛合金的磨削工艺后及时进行冷却
一种钛合金表面完整性抛光磨具

[发明专利]一种化学抛光液及化学抛光工艺-CN201810137423.6有效
发明人：徐艳春;唐明松 -专利权人：深圳市祥盛兴科技有限公司
申请日： 2018-02-10 - 公布日： 2019-03-22 - 主分类号： C23F3/06 文献下载
摘要：本发明属于铜材抛光技术领域，具体涉及一种化学抛光液及化学抛光工艺。本发明提供的化学抛光液，包括以下组分及其质量浓度：密度为1.84g/cm³的硫酸30～45mL·L^‑1，双氧水200～350mL·L^‑1本发明提供的化学抛光液不含硝酸、磷酸，无毒、无污染。使用本发明的化学抛光液对金属表面进行化学抛光得到的化学抛光面光亮度高、表面平整，可达到镜面抛光效果。另外，本发明提供的化学抛光工艺的工艺流程简单，操作方便。
化学抛光液化学抛光工艺化学抛光双氧水抛光技术领域双氧水稳定剂表面活性剂表面平整金属表面镜面抛光工艺流程络合剂硝酸磷酸铁盐铜材硫酸无毒

[发明专利]基于在二十轴设备上使用聚氨酯抛光微小镜片的工艺-CN201910685391.8有效
发明人：李殊良 -专利权人：丹阳丹耀光学有限公司
申请日： 2019-07-27 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B24B13/00 文献下载
摘要：本发明公开了基于在二十轴设备上使用聚氨酯抛光微小镜片的工艺，包括以下步骤：S1制作聚氨酯片：按照微小透镜抛光模具的尺寸要求，加工出符合要求的聚氨酯片；S2加热微小透镜抛光模具：将微小透镜抛光模具置于加热装置上进行加热，加热温度165‑170℃，加热时间3‑5分钟；S3安装聚氨酯片：通过标准挤压模具将聚氨酯片压入微小透镜抛光模具内，冷却降温；S4抛光；该抛光工艺是针对现有古典法的缺陷进行改进，采用聚氨酯片来替换白胶和黑胶，解决了白胶和黑胶在抛光工艺中受热不稳定，影响透镜抛光精度及完整性、光圈稳定性差，寿命短，且抛光时间长，效率低以及需要每天对白胶和黑胶进行清理并上胶导致人力物力投入较大的问题。
基于二十轴设备使用聚氨酯抛光微小镜片工艺

[发明专利]利用镜面抛光工艺制造航空有机玻璃窗的方法-CN201010171459.X无效
发明人：曹元 -专利权人：苏州利盾航空材料有限公司
申请日： 2010-05-13 - 公布日： 2010-10-13 - 主分类号： B24B7/24 文献下载
摘要：本发明的目的是提供利用镜面抛光工艺制造航空有机玻璃窗的方法，包括以下工艺流程：1)采用360度多向拉伸工艺加工航空有机玻璃窗；2)切割已用360度多向拉伸工艺加工过的航空有机玻璃窗；3)采用5坐标加工技术，镜面抛光航空有机玻璃窗边部。采用此边部镜面抛光加工工艺法制成的航空有机玻璃窗，边部经抛光，使可视面积最大化，提高航空高强度作业的实用性。
利用抛光工艺制造航空有机玻璃窗方法

[发明专利]一种用于铜互连抛光的工艺方法-CN201210585146.8无效
发明人：荆建芬;王雨春;张建;蔡鑫元;姚颖;陈宝明 -专利权人：安集微电子（上海）有限公司
申请日： 2012-12-28 - 公布日： 2014-07-02 - 主分类号： C23F3/04 文献下载
摘要：本发明公开了用于铜互连化学机械抛光的工艺方法，包括以下步骤：第一步，用铜抛光液去除铜覆盖层并对表面进行平坦化；第二步，用抛光液去除钽阻挡层；第三步，用抛光液去除部分介电层和铜，并对表面进行平坦化。采用优化工艺进行抛光可在维持好的抛光效果的同时，提高产能。
一种用于互连抛光工艺方法

[实用新型]一种乌木工艺品的抛光机-CN201721547364.7有效
发明人：韩水林 -专利权人：成都古蜀乌木工艺品厂
申请日： 2017-11-17 - 公布日： 2018-06-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种乌木工艺品的抛光机，包括两个并排设置的抛光工作台，两个抛光工作台之间设有水平设置的抛光轮，抛光工作台的上方设置有侧壁上具有通槽缺口的圆筒形保护罩，圆筒形保护罩内抛光工作台上表面设有固定台，固定台的边缘四周设有卡紧装置，两个抛光工作台下方设有滑轨。本实用新型的抛光机，能够自动的在一个抛光轮的情况下同时对两个工艺品进行抛光，大大的提高了工作效率，降低了工作人员的劳动强度，同时通过保护罩罩设在工艺品的周围，不仅能够起到保护工艺品的作用，而且起到了防止抛光中的废屑飞溅的作用
抛光工作台工艺品抛光机废屑圆筒形保护罩本实用新型固定台抛光轮抛光飞溅工作台上表面并排设置工作效率卡紧装置生产过程生产环境水平设置通槽缺口保护罩内抛光清洁性侧壁粉丝滑轨

[发明专利]一种改善硅片R型轮廓的边缘抛光工艺-CN202111502766.6在审
发明人：路一辰;库黎明;王玥;陈海滨;陈信;刘云霞;闫志瑞 -专利权人：山东有研艾斯半导体材料有限公司
申请日： 2021-12-09 - 公布日： 2022-04-08 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种改善硅片R型轮廓的边缘抛光工艺，包括以下步骤：(1)对硅片进行寻参处理：使用边缘抛光机寻找硅片的V槽，使硅片的V槽与槽口抛光布对准；(2)对硅片的V槽进行抛光处理；(3)将完成V槽抛光的硅片进行对心处理，使硅片圆心与机台圆心对准；(4)将完成对心处理的硅片进行圆边边缘抛光处理，所使用的抛光鼓包括斜边抛光鼓和顶端抛光鼓，斜边抛光鼓加工角度范围为25°～70°，顶端抛光鼓加工角度为70°～90°。本发明通过改进圆边边缘抛光工艺，使用特殊构造的抛光鼓，并控制其中斜边抛光鼓与顶端抛光鼓的加工角度范围，使硅片整个边缘均匀抛光，避免固定角度的抛光鼓对边缘造成的局部过度抛光或失效抛光。
一种改善硅片轮廓边缘抛光工艺

[发明专利]一种高洁净度抛光片的制备工艺-CN202111075148.8在审
发明人：张琪;代冰;胡碧波;李博;王鹏 -专利权人：万华化学集团电子材料有限公司;万华化学集团股份有限公司
申请日： 2021-09-14 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L21/02 文献下载
摘要：本发明提供了一种高洁净度抛光片的制备工艺，包括如下步骤：在洁净的待抛片背面均匀涂敷一层水溶性抛光蜡，将背面涂覆抛光蜡的待抛片贴敷在高温陶瓷盘上，随后进行冷却；对贴敷在陶瓷盘上的待抛片进行抛光处理，分别经历粗抛光、一次精抛光、二次精抛光，得到抛光片；对抛光片用纯水进行去蜡清洗，去除抛光片背面的抛光蜡，得到洁净的抛光片；对抛光片进行最终清洗，得到高洁净度的抛光片。利用本发明的制备工艺，最终得到的抛光片表面颗粒度可达到：＞65nm≤20颗，表面洁净度高。
一种洁净抛光制备工艺

[发明专利]用于结合CMP工艺的追踪数据与3D打印的CMP耗材的技术-CN202310301737.6在审
发明人： J·G·方;R·巴贾杰;D·莱德菲尔德;A·康纳;M·科尔内霍;G·E·孟克;J·沃特金斯 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2016-10-19 - 公布日： 2023-06-02 - 主分类号： B24B37/00 文献下载
摘要：本文涉及用于结合CMP工艺的追踪数据与3D打印的CMP耗材的技术。本文提供化学机械抛光(CMP)设备及用于制造CMP设备的方法。CMP设备可包括抛光衬垫、抛光头保持环及抛光头膜等等，且可经由诸如三维(3D)打印工艺的增材制造工艺制造CMP设备。CMP设备可包括整合于其中的无线通信设备组件。制造CMP设备的方法包括将无线通信设备3D打印至抛光衬垫中且使抛光衬垫打印有经配置以接收预成型无线通信设备的凹部。
用于结合 cmp 工艺追踪数据打印耗材技术

[发明专利]一种哑光瓷质抛光砖的生产工艺及其抛光和研磨设备-CN200510035090.9有效
发明人：曾德朝;钟保民 -专利权人：广东东鹏陶瓷股份有限公司
申请日： 2005-06-13 - 公布日： 2006-01-11 - 主分类号： B28B11/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种哑光瓷质抛光砖的生产工艺以及与工艺相配合的抛光设备和研磨设备，在该生产工艺流程中，抛光工序设置在干燥工序以后、烧成工序之前，在烧成工序之后增设有研磨工序，所述干坯抛光设备及研磨设备采用行星式结构本发明的优点是制备的瓷质抛光砖表面哑光或无光，手感细腻，可呈现砖坯深层布料装饰纹理，具有防污、防滑、耐磨性质，无需施防污剂，环保，节能，节水。
一种哑光瓷质抛光生产工艺及其研磨设备

[实用新型]一种工艺品抛光机-CN202022246630.0有效
发明人：杜龙池;李江玉;王婷 -专利权人：威海金镶玉工艺品有限公司
申请日： 2020-10-10 - 公布日： 2021-07-30 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本申请涉及日用工艺品加工设备的领域，尤其是涉及一种工艺品抛光机，包括机架，机架上设有用于夹紧需要抛光器具的夹紧组件，机架上设有用于驱动夹紧组件和需要抛光的器具转动的第一转动驱动装置，机架上设有抛光块，抛光块下方设有驱动抛光块转动的第二转动驱动装置，抛光块能够沿水平面滑动，机架上设有驱动抛光块滑动的水平驱动装置。本申请具有，通过第二转动驱动装置调整抛光块的角度，通过水平驱动装置调整抛光块的位置，从而能够灵活的调整抛光块，同时保证抛光效率和抛光效果的效果。
一种工艺品抛光机

[发明专利]一种电化学抛光装置及使用该装置的电化学抛光方法-CN201510957746.6在审
发明人：黄仁东 -专利权人：上海集成电路研发中心有限公司
申请日： 2015-12-18 - 公布日： 2016-04-13 - 主分类号： C25F7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种电化学抛光装置及使用该装置的电化学抛光方法，通过在电化学抛光工艺过程中，根据供电电源的电压变化反馈进行计算，根据计算结果控制连接第二喷嘴的摆臂的对应摆动，以沿晶圆边缘调整第二喷嘴相对第一喷嘴的位置，使电抛光回路中的电阻始终保持在初始值状态，负载变化小，从而可避免电化学抛光过程中因抛光电压变化而带来的工艺难控制的问题，有效提高了抛光后的片内均匀性，并降低了因高电压导致的工艺中断的概率。
一种电化学抛光装置使用方法

[发明专利]一种砼缸内孔抛光工艺-CN201810453234.X在审
发明人：蒋卫红 -专利权人：长沙大力神液压工程有限公司
申请日： 2018-05-11 - 公布日： 2018-08-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种砼缸内孔抛光工艺，包括以下步骤：(1)选择普通卧式车床作为砼缸装夹旋转机构，选择抛光机构作为砼缸内孔旋转机构；(2)将普通卧式车床与抛光机构装配完整；(3)开启工作，普通卧式车床带动砼缸本身旋转，动力头带动抛光机构的千叶轮旋转，同时抛光机构在溜板箱的带动下纵向行走，使得千叶轮压紧产品内孔纵向行走；(4)千叶轮压紧产品内孔纵向行走一个来回。本发明提供的一种砼缸内孔抛光工艺，双旋转抛光工艺提升砼缸内孔表面形貌质量。
砼缸内孔抛光工艺抛光机构卧式车床纵向行走千叶轮旋转机构压紧产品形貌内孔表面选择抛光动力头溜板箱双旋转装夹装配