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[发明专利]抛光机工艺参数调节方法、装置、计算机设备和存储介质-CN202310995157.1在审
发明人：朱亮;李阳健;石秋天;张涛 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司;浙江晶盛创芯半导体设备有限公司
申请日： 2023-08-09 - 公布日： 2023-09-05 - 主分类号： B24B29/02 文献下载
摘要：本申请涉及一种抛光机工艺参数调节方法、装置、计算机设备和存储介质。所述方法包括：控制所述抛光机进行抛光，并获取所述抛光机内多个区域采集的温度数据和所述抛光机的工艺参数；将所述温度数据、所述工艺参数和待抛光物件的平整度参数输入至预先训练的抛光分析模型，得到目标工艺参数；将所述抛光机的工艺参数实时调整为目标工艺参数。采用本方法能够实现通过调整工艺参数对温度进行灵活控制，达到提高抛光品质的效果。
抛光机工艺参数调节方法装置计算机设备存储介质

[发明专利]中小航空发动机压气机叶片的抛光方法-CN202110318018.6有效
发明人：龙永胜;周辉炼;项德义;苏庆怀;王科昌;易鹏 -专利权人：中国航发南方工业有限公司
申请日： 2021-03-25 - 公布日： 2022-03-25 - 主分类号： B24B19/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种中小航空发动机压气机叶片的抛光方法，包括：叶片抛光的区域划分，将叶片型面划分成多个抛光区域，确定抛光轨迹和选取抛光工具；不同区域的抛光参数选取，根据叶片不同区域的空间形状、空间尺寸及加工余量确定不同的抛光参数；抛光方法验证，根据抛光区域、抛光轨迹及抛光参数，将获得的抛光叶片进行抛光方法验证，并与手工抛光叶片进行比对；抛光方法的确定，结合验证试验修正抛光的区域划分、各个区域的抛光轨迹及各个区域的抛光参数；依据修正后的抛光区域划分、各个区域的抛光轨迹及各个区域的抛光参数，进行中小航空发动机压气机叶片抛光。
中小航空发动机压气叶片抛光方法

[发明专利]一种连杆模具的自动抛光方法-CN202311005862.9在审
发明人：王超;郑乾健;伍启华;刘鹏;肖聚亮;黄田;桑国良;陈国清 -专利权人：潍柴动力股份有限公司
申请日： 2023-08-10 - 公布日： 2023-09-08 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本申请提供了一种连杆模具的自动抛光方法，包括：划分待抛光区域，选取对应的抛光头，获取抛光头的磨损规律，并建立抛光头的材料去除模型，以解算任意抛光参数下，抛光头材料去除深度随抛光时间的变化，以及获取待抛光区域的抛光深度最后利用材料去除模型，根据抛光深度及加工路径，得到期望抛光参数，并基于期望抛光参数和加工路径编写抛光程序，抛光机器人基于抛光程序进行自动抛光。该抛光方法利用材料去除模型，根据材料去除深度及加工路径得到期望抛光参数，使得该抛光方法可以根据抛光头的磨损程度设置对应的抛光参数，尽可能的避免抛光头磨损对于抛光质量的影响，有助于提高连杆模具的生产质量。
一种连杆模具自动抛光方法

[发明专利]抛光液物理参数测量装置、测量方法和化学机械抛光设备-CN201110058436.2有效
发明人：路新春;赵德文;何永勇;雒建斌 -专利权人：清华大学
申请日： 2011-03-10 - 公布日： 2011-10-19 - 主分类号： G01K7/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种用于化学机械抛光设备的抛光液物理参数测量装置及测量方法。化学机械抛光设备包括抛光头、转台、抛光盘和抛光垫，其中抛光垫设置有通孔。抛光液物理参数测量装置包括传感器，传感器设置在抛光盘内且适于通过抛光垫内的通孔与抛光液接触以测量抛光液的物理参数；变送器，变送器设置在转台内且与传感器相连用于将传感器的测量信号转换为标准电信号；和处理单元，处理单元与变送器相连用于获取标准电信号以得到抛光液的物理参数。根据本发明实施例的抛光液物理参数测量装置可以在线测量并得到抛光头与抛光垫之间的抛光液的物理参数。本发明还公开了一种具有所述抛光液物理参数测量装置的化学机械抛光设备。
抛光物理参数测量装置测量方法化学机械抛光设备

[发明专利]镜片抛光检测方法及装置-CN202211694578.2有效
发明人：姚洪辉;张嘉荣;朱相优;卓少木;马帅杰;邝嘉琪 -专利权人：中山超精科技有限公司
申请日： 2022-12-28 - 公布日： 2023-06-16 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：本发明实施例公开了镜片抛光检测方法及装置，实施例首先获取镜片参数和抛光参数，针对镜片参数对工位上的镜片进行检测是否一致，避免抛光错镜片；之后对当前目标工位对应的抛光设备的抛光参数进行匹配和校正，避免抛光参数出错，造成抛光误差；之后通过采集目标镜片抛光后的图像获取灰度偏差均值来与抛光精度进行匹配是否抛光合格，实施例采用视觉图像自动化对镜片表面的抛光程度进行检测，检测效率高，且准确性高。
镜片抛光检测方法装置

[发明专利]一种利用抛光生成结构型表面的方法-CN201010560985.5有效
发明人：张志辉;孔令豹;何丽婷;杜雪;李荣彬 -专利权人：香港理工大学
申请日： 2010-11-26 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： G06F17/50 文献下载
摘要：本发明涉及一种利用抛光生成结构型表面的方法，用户通过在抛光仿真系统中设定抛光参数，并通过抛光仿真系统模拟抛光生成结构型表面，所述抛光参数包括：抛光策略、表面设计参数、加工参数、抛光头参数、工件材料以及抛光液的配比；所述抛光仿真系统包括：输入模块、基于模型的仿真系统以及输出模块。本发明所述的利用抛光生成结构型表面的方法可处理含铁材料和难加工材料，具有生成更多不同结构型表面及纹理的能力，而这些表面纹理用其他加工方法不可能实现，使抛光过程更具可控性与可预测性。
一种利用抛光生成结构表面方法

[发明专利]一种抛光设备的智能化控制方法及系统-CN202111235940.5有效
发明人：许鹏 -专利权人：南通豪派金属制品有限公司
申请日： 2021-10-22 - 公布日： 2022-03-11 - 主分类号： B24B49/12 文献下载
摘要：本发明公开了一种抛光设备的智能化控制方法及系统，获得第一尺寸信息；获得第一标准尺寸信息；获得第一抛光表面要求信息，将第一尺寸信息、第一标准尺寸信息和第一抛光表面要求信息输入抛光参数分配模型，获得第一参数分配结果；根据第一参数分配结果对粗抛光设备进行控制，获得第一粗抛光产品；获得第一粗抛光产品的第二尺寸信息；获得第一粗抛光产品的第一图像；根据第一图像和第二尺寸信息对第一参数分配结果进行调整，获得第二参数分配结果；通过第二参数分配结果进行精抛光设备参数控制。解决了现有技术中存在不能根据产品的具体参数信息和产品需求信息，智能化进行粗抛光和精抛光参数的联合智能化控制，导致抛光不良率升高的技术问题。
一种抛光设备智能化控制方法系统

[发明专利]普雷斯顿矩阵产生器-CN201980012030.5在审
发明人：锡瓦库马尔·达丹帕尼;托马斯·李;钱隽 -专利权人：应用材料公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-09-22 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种产生矩阵以将化学机械抛光系统的多个可控制参数与抛光速率分布相关的方法包括抛光测试基板。使用将第一参数设置为第一值的基线参数值，来针对第一时间段抛光测试基板，并且使用将第一参数设置为修改的第二值的第一修改参数值，来针对第二时间段抛光测试基板。在抛光期间监控测试基板的厚度，并且针对第一时间段决定基线抛光速率分布，并且针对第二时间段决定第一修改抛光速率分布。基于基线参数值、第一修改参数、基线抛光速率分布和第一修改抛光速率分布，来计算矩阵。
普雷斯顿矩阵产生器

[发明专利]一种镜片加工的抛光方法-CN201911019887.8在审
发明人：朱晓;祝建军 -专利权人：明灏科技(北京)有限公司
申请日： 2019-10-24 - 公布日： 2020-01-24 - 主分类号： B24B1/00 文献下载
摘要：一种镜片加工的抛光方法，该方法包括以下的抛光流程：设置对应于左右眼两片镜片的抛光加工参数；选取所述两片镜片的其中一个，根据对应的抛光加工参数对选取的镜片进行抛光加工；抛光加工完成后，根据对应的抛光加工参数对剩余的镜片进行抛光加工；本发明根据左右镜片其中一个镜片的折射率、屈光度、中心厚度等技术参数，设定精确的加工参数对该镜片进行抛光，相较于左右两片镜片依照其中一个镜片的加工参数同时进行抛光，本发明能够确保高精确度的镜片加工要求，降低了因同时抛光导致其中一个镜片精确度不够而产生过高的镜片废品率。
镜片抛光加工抛光加工参数镜片加工屈光度技术参数折射率左右眼

[发明专利]抛光工艺参数优化方法、抛光系统、电子设备及存储介质-CN202310805671.4有效
发明人：谢银辉;李俊 -专利权人：泉州装备制造研究所
申请日： 2023-07-03 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明涉及数据处理技术领域，提供一种抛光工艺参数优化方法、抛光系统、电子设备及存储介质，首先获取用户输入的目标工件的抛光工艺参数的取值，抛光工艺参数包括抛光工具施加的压力、抛光工具的转速和进给速度；然后将目标工件的抛光工艺参数的取值输入至表面粗糙度预测模型，由表面粗糙度预测模型基于XGBoost算法确定目标工件经所述抛光工具进行抛光作业后的表面粗糙度。该方法结合抛光工具施加的压力、抛光工具的转速和进给速度等抛光工艺参数，利用XGBoost算法确定目标工件经抛光工具进行抛光作业后的表面粗糙度，可以实现对表面粗糙度的准确预测，为后续实现精确的表面质量控制提供理论基础，有助于提高抛光工具的抛光效率。
抛光工艺参数优化方法系统电子设备存储介质

[实用新型]数控抛光机床用多参数设定抛光笔-CN201720248102.4有效
发明人：丛子健;李锐;陆巍群;曹雪;邹惠莹;徐椿明 -专利权人：长春继珩精密光学技术有限公司
申请日： 2017-03-14 - 公布日： 2017-11-24 - 主分类号： B24B49/12 文献下载
摘要：数控抛光机床用多参数设定抛光笔，属于光学加工技术领域，其包括抛光笔、联轴器、抛光笔支撑座和HD25转接头，抛光笔与联轴器上端的弹性卡头固定连接；抛光笔支撑与联轴器下端的弹性卡头固定连接；HD25转接头与非抛光笔支撑座一体成型；本实用新型中的数控抛光机床用多参数设定抛光笔，结构简单，加工成本低廉，并且能够提供数控机床的多种参数设定，来达到抛光所需的各种参数。
数控抛光机床参数设定

[发明专利]一种金属镜面抛光工艺参数自适应匹配方法-CN202210011543.8在审
发明人：潘杰;陈凡;杨炜;金闻达 -专利权人：华中科技大学无锡研究院;江苏集萃华科智能装备科技有限公司
申请日： 2022-01-06 - 公布日： 2022-04-12 - 主分类号： G06F30/27 文献下载
摘要：本发明涉及金属加工技术领域，具体公开了一种金属镜面抛光工艺参数自适应匹配方法，其中，包括：获取抛光工艺参数以及对应的抛光结果的试验数据；根据自适应寻优算法构建预测模型，所述预测模型能够根据所述试验数据进行自学习获得所述抛光工艺参数与所述抛光结果的映射关系；将目标抛光结果输入所述预测模型，获得所述预测模型进行仿真预测的结果；将所述仿真预测的结果作为实现所述目标抛光结果的指导性抛光工艺参数。本发明提供的金属镜面抛光工艺参数自适应匹配方法能够提高抛光效率并获得理想的表面粗糙度。
一种金属抛光工艺参数自适应匹配方法

[发明专利]研磨抛光模拟方法、系统及研磨抛光工艺转移方法-CN202110005115.X有效
发明人：罗元玠;王右勋;林沛群;施志轩;黄甦 -专利权人：财团法人工业技术研究院
申请日： 2021-01-04 - 公布日： 2023-08-08 - 主分类号： B24B37/005 文献下载
摘要：一种研磨抛光模拟方法、系统及研磨抛光工艺转移方法，研磨抛光模拟方法包括以下步骤：取得研磨抛光设备进行工件的研磨或抛光作业的感测信息；依据此感测信息识别出多个模型参数；依据加工路径、多个工艺参数以及此些模型参数计算出至少一品质参数
研磨抛光模拟方法系统工艺转移

[发明专利]一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法-CN201911377667.2有效
发明人：郭钰;刘春俊;彭同华;杨建 -专利权人：北京天科合达半导体股份有限公司;江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达新材料有限公司
申请日： 2019-12-27 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： B24B37/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种大尺寸晶片加工用抛光液循环装置和方法，将抛光液混液桶的出液口用于与抛光设备的入液口相连，抛光液混液桶的第一回液口用于与抛光设备的出液口相连；检测装置设置于抛光液混液桶出液口至抛光设备入液口之间，并与控制器相连，检测装置用于检测抛光液混液桶出液口中抛光液的稳定性参数，并将检测结果发送至控制器；控制器与调节补给装置相连，用于控制调节补给装置为抛光液混液桶注入抛光液调节剂，提高抛光液的稳定性。通过上述公开的装置和方法，对循环使用的抛光液的稳定性参数进行检测，当抛光液的稳定性参数低于预设稳定性参数时，注入抛光液调节剂使抛光液的稳定性参数符合预设稳定性参数，从而保证能够达到预期抛光效果。
一种尺寸晶片工用抛光循环装置方法

[发明专利]一种用于造币模具的喷射式抛光方法-CN201911415051.X在审
发明人：张珠慧;刘洪鹏;赵大仲;刘勇;马麟;唐炫慧;李佳林;邵伟;李忘贤;李宇;冯立新 -专利权人：沈阳造币有限公司
申请日： 2019-12-31 - 公布日： 2020-08-07 - 主分类号： B24C1/08 文献下载
摘要：本发明涉及一种用于造币模具的喷射式抛光方法，包括以下步骤：a、分别调整档位、频率、抛光时间的参数；b、选取不同研磨度的磨料；c、记录在不同参数下对模具的抛光效果；d、根据抛光效果，对比分析得出档位、频率、抛光时间的参数范围和磨料的选取范围；e、通过对不同材质、图案和工艺要求的模具进行试验优化参数；f、整理记录优化参数；g、根据材质、图案和工艺要求的不同选择优化参数进行设置；h、使用设置好优化参数的设备对模具进行抛光处理本发明的有益效果：不需遮盖进行抛光，抛光方式灵活，解决图纹磨浅、磨漏、棱角变形等质量问题；可以实现图纹浮雕细节刷亮效果；提升模具镀后的成品率，工作效率显著提升。
一种用于造币模具喷射式抛光方法

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