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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

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B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]扩散炉管-CN201320102132.6有效
发明人：张朝坤 -专利权人：深圳深爱半导体股份有限公司
申请日： 2013-03-06 - 公布日： 2013-09-11 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扩散炉管，所述扩散炉管内设有硅舟，所述硅舟的两端设有阻挡气流吹向硅舟内部的挡片。该扩散炉管通过在硅舟两端设置阻挡气流吹向硅舟内部的挡片来减小硅舟两端的硅片受到的气流的影响，提高加工出来的硅片的技术参数的一致性，从而提高硅片质量。
扩散炉管

[实用新型]扩散炉管进出气循环装置及包括其的扩散炉-CN202022915747.3有效
发明人：翟广鹏;高晓通;刘瑞源 -专利权人：晶澳太阳能有限公司
申请日： 2020-12-04 - 公布日： 2021-10-29 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本申请实施例公开了一种扩散炉管进出气循环装置，包括设置在扩散炉管尾部上的进气管和排气管，所述进气管自所述扩散炉管尾部延伸至扩散炉管头部，所述排气管位于扩散炉管内的一端靠近所述扩散炉管尾部。还公开了一种扩散炉，包括扩散炉管，所述扩散炉管连接有以上所述的扩散炉管进出气循环装置，所述扩散炉管进出气循环装置中的进气管和排气管设置在扩散炉管尾部上。
扩散炉管进出循环装置包括

[实用新型]管式扩散炉-CN201720936796.0有效
发明人：黄纪德;侯玥玥;金井升;张昕宇;金浩 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2018-05-11 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种管式扩散炉，包括：扩散炉管和加热模块，其中，加热模块加热扩散炉管以使扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高。本实用新型实施例公开的管式扩散炉中，扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高，则在扩散过程中，能够实现扩散炉管内的温度沿扩散炉管的充气方向增高，使得扩散炉管内工艺气体浓度较大的位置温度较低、工艺气体浓度较小的位置温度较高，由于工艺气体的浓度越大扩散电阻越小、扩散炉管的温度越高扩散电阻越小，则提高了扩散方阻的一致性，提高了扩散均匀性。
扩散

[发明专利]太阳能电池硅片的扩散方法、管式扩散炉、太阳能电池-CN201710630198.5在审
发明人：黄纪德;侯玥玥;金井升;张昕宇;金浩 -专利权人：浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
申请日： 2017-07-28 - 公布日： 2017-12-05 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本发明公开了一种太阳能电池硅片的扩散方法、管式扩散炉、太阳能电池，太阳能电池硅片的扩散方法包括步骤将硅片送至扩散炉管内；加热扩散炉管，以使扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高；对扩散炉管内的硅片进行扩散上述太阳能电池硅片的扩散方法，通过加热扩散炉管使得扩散炉管内的温度沿工艺气体充入扩散炉管的方向增高，则扩散炉管内工艺气体浓度较大的位置温度较低、工艺气体浓度较小的位置温度较高，由于工艺气体的浓度越大扩散电阻越小、扩散炉管的温度越高扩散电阻越小，则提高了扩散方阻的一致性，提高了扩散均匀性。
太阳能电池硅片扩散方法

[实用新型]一种扩散均匀的扩散烧结炉-CN201920571499.X有效
发明人：周公庆 -专利权人：通威太阳能(成都)有限公司
申请日： 2019-04-25 - 公布日： 2019-12-13 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散均匀的扩散烧结炉，属于太阳能电池生产设备技术领域，目的在于提供一种扩散均匀的扩散烧结炉，解决现有扩散烧结炉气源扩散不均匀的问题。其包括垂直设置的扩散炉管，扩散炉管外侧设置有隔热层，扩散炉管周围位于扩散炉管与隔热层之间设置有若干加热管，扩散炉管上端安装有扩散炉门，扩散炉管下端中部开设有排气口，扩散炉管下端位于排气口旁还设置有进气口，扩散炉管内位于扩散炉管中部设置有石英舟，石英舟上设置有若干硅片。本实用新型适用于扩散烧结炉。
扩散炉管扩散烧结炉本实用新型隔热层排气口石英舟下端进气口太阳能电池生产设备垂直设置外侧设置不均匀加热管上端硅片炉门气源

[实用新型]一种电力半导体高温扩散炉管-CN202022957772.8有效
发明人：夏清波 -专利权人：襄阳市众力电子有限公司
申请日： 2020-12-09 - 公布日： 2021-06-15 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种电力半导体高温扩散炉管，涉及半导体制造技术领域，为解决现有技术中的扩散炉管反应完成后会处于高温状态容易导致工作人员被烫伤的问题。所述扩散炉管外体的上方安装有冷气进口，且扩散炉管外体与冷气进口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的下方安装有冷气出口，且扩散炉管外体与冷气出口通过螺栓固定连接，所述扩散炉管外体的内部安装有散热压铸铝，且扩散炉管外体与散热压铸铝通过螺栓固定连接，所述散热压铸铝的内部设置有扩散炉管本体，所述扩散炉管本体的外侧设置有降温环管，所述降温环管分别与冷气进口、冷气出口螺纹连接。
一种电力半导体高温扩散炉管

[实用新型]一种新型的扩散炉-CN201820339152.8有效
发明人：张浩;陈志运;田小江;李晴;张华 -专利权人：张家港国龙光伏科技有限公司
申请日： 2018-03-13 - 公布日： 2018-11-16 - 主分类号： F27B17/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种新型的扩散炉，包括控制面板、尾气收集箱、扩散炉管箱和底座，所述控制面板右侧设有尾气收集箱，所述尾气收集箱右端设有扩散炉管箱，所述扩散炉管箱内部设有扩散炉管，所述扩散炉管外壁四周固定安装有加热管，所述加热管四周设有保温层，所述保温层外部设有隔热板，所述扩散炉管箱外壁上设有维修门，所述扩散炉管箱右侧设有玻璃框，所述玻璃框前壁上设有玻璃门，所述扩散炉管箱的底部设有底座，所述底座前壁上设有底座门，所述底座底部设有橡胶垫片
扩散炉管尾气收集箱底座本实用新型控制面板保温层玻璃框扩散炉底座前壁外壁四周橡胶垫片玻璃门底座门隔热板加热管维修门箱外壁前壁热管外部

[实用新型]一种扩散炉管清洁装置-CN202221591060.1有效
发明人：殷超;盛健;张小明;张一波;陈刚 -专利权人：浙江爱旭太阳能科技有限公司;珠海富山爱旭太阳能科技有限公司;天津爱旭太阳能科技有限公司;广东爱旭科技有限公司
申请日： 2022-06-23 - 公布日： 2023-01-24 - 主分类号： C30B31/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散炉管清洁装置，包括转轴、支撑件和刮刀；所述转轴通过所述支撑件与所述刮刀连接；所述刮刀为圆环状，其设有开口的刀刃，所述开口与所述刀刃连接；所述刀刃与所述扩散炉管内壁相贴合；所述转轴受力转动时，带动所述刮刀沿所述扩散炉管内壁转动。本实用新型具有结构简单，省时省力，无需拆卸扩散炉管即可对扩散炉管内壁进行清洁，提高扩散炉管的使用寿命。
一种扩散炉管清洁装置

[发明专利]一种扩散炉管的保养方法-CN201810622901.2有效
发明人：袁华斌;符亮;张凯胜;姚伟忠;孙铁囤 -专利权人：常州亿晶光电科技有限公司
申请日： 2018-06-15 - 公布日： 2021-01-22 - 主分类号： C30B31/10 文献下载
摘要：本发明涉及一种扩散炉管的保养方法，包括：步骤一：扩散炉开机后对扩散炉内部进行梯度升温；步骤二：扩散炉关机前对扩散炉内部进行梯度降温；通过关闭炉门，将高温炉管与低温的车间隔开，防止湿气进入炉管，从源头阻隔磷酸的产生，减少腐蚀与堵塞，延长炉管使用寿命；通过增加采用梯度降温与梯度升温的方式减少炉门与炉管的变形，延长炉门与炉管的使用寿命；通过负压通气的方法升温降温，是为了将炉管内的气态杂志去除干净，保证炉管的气体清洁，
一种扩散炉管保养方法

[发明专利]硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备-CN201310119789.8无效
发明人：王英超;熊景峰;胡志岩;李高非;赵文超 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2013-04-08 - 公布日： 2013-07-24 - 主分类号： C30B31/04 文献下载
摘要：本发明提供了一种硼扩散炉管的清洁方法及其清洁设备。其中，硼扩散炉管的清洁方法包括以下步骤：步骤S10：向硼扩散炉管内通入携水气体；步骤S20：排出经过硼扩散炉管后的携水气体。硼扩散炉管的清洁设备包括供气装置；盛水容器；第一管道，进气端与供气装置连接，第一管道的出气端延伸至盛水容器的液面以下；第二管道，进气端与盛水容器连接并且位于盛水容器的液面以上，第二管道的出气端与硼扩散炉管的进气口连接采用本发明的硼扩散炉管的清洁方法或清洁设备能够快速地、方便地对硼扩散炉管进行清洁。
扩散炉管清洁方法及其设备

[实用新型]晶体硅太阳能电池扩散炉-CN200920041708.6有效
发明人：焦云峰;黄强;张军;陈亮;盛键 -专利权人：常州天合光能有限公司
申请日： 2009-04-01 - 公布日： 2010-02-17 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型涉及太阳能电池生产设备，尤其是一种晶体硅太阳能电池扩散炉。它具有扩散炉管，在扩散炉管和扩散源之间设置有气体缓冲装置，气体缓冲装置的相对两侧分别设有进气孔和出气孔，出气孔通过连接管与扩散炉管的进气口连通。通过气体缓冲装置对扩散源进行充分混合，以提高通入到扩散炉管内扩散源的饱和蒸汽压，从而提高扩散炉管的扩散的掺杂均匀性，且该设备结构简单，安装方便，安全性好。
晶体太阳能电池扩散

[实用新型]一种改善扩散炉管气体分布的结构-CN202223103892.7有效
发明人：郭金城;王越雅;王森;朱彦斌 -专利权人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司
申请日： 2022-11-22 - 公布日： 2023-07-04 - 主分类号： C30B31/16 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种改善扩散炉管气体分布的结构，包括扩散炉管、石英挂环、进气管、抽气泵、抽气管；所述扩散炉管的内顶壁固定有石英挂环，而石英挂环中贯穿有延伸至扩散炉管外侧的进气管，所述抽气泵位于扩散炉管的左侧该改善扩扩散炉管气体分布的结构，通过增加的一组抽气端口同时与控制阀开度相互配合进一步的使得管内的尤其炉口端的气体分布更加均匀，同时整个炉管的气体分布较之前有明显改善。
一种改善扩散炉管气体分布结构

[实用新型]一种扩散炉-CN202022001813.6有效
发明人：李苗苗 -专利权人：北京北方华创微电子装备有限公司
申请日： 2020-09-14 - 公布日： 2021-04-09 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型提供一种扩散炉，包括扩散炉管和进气管路，该进气管路用于向扩散炉管中通入工艺气体，该进气管路具有位于扩散炉管中的第一出气口和第二出气口，该第一出气口和该第二出气口沿扩散炉管的轴线方向存在预设距离在本实用新型中，工艺气体能够通过第一出气口和第二出气口同时由扩散炉管内部的两不同位置注入扩散炉管中，提高了工艺气体在扩散炉管中各处浓度的均匀性，从而提高了对大硅片进行扩散工艺时炉中各硅片表面工艺效果的均匀性以及产品良率
一种扩散

[实用新型]一种扩散炉及扩散装置-CN202222049863.0有效
发明人：周公庆 -专利权人：通威太阳能（眉山）有限公司
申请日： 2022-08-04 - 公布日： 2023-01-17 - 主分类号： C30B31/10 文献下载
摘要：一种扩散炉及扩散装置，属于太阳能电池技术领域。扩散装置包括扩散炉。其中，扩散炉包括炉体、炉管和炉门。炉管的两端为开口结构，炉门分别封闭和打开炉管两端的开口结构。由于炉管的两端为开口结构，则可以从炉管两端的开口结构处同时向炉管内放置或取出石英舟，或者在从其中一个开口结构处退出石英舟的同时，从另一个开口结构处推入另一个石英舟，能够缩短石英舟进出炉管的时间，进而能够缩短扩散工艺时间，提高扩散效率。
一种扩散装置

[实用新型]一种扩散用的石英扩散炉管-CN201620773401.5有效
发明人：徐义胜;韩树果;张春华;衡阳;刑国强 -专利权人：苏州阿特斯阳光电力科技有限公司
申请日： 2016-07-21 - 公布日： 2016-12-21 - 主分类号： H01L31/18 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种扩散用的石英扩散炉管，所述石英扩散炉管的尾部设有球头，所述石英扩散炉管的尾部还设有至少1个旁路管，且该旁路管与所述石英扩散炉管的内部空间连通。本实用新型可以有效减少甚至排尽炉管非加热部分空隙空间部位的扩散酸性气体，使该部位取而代之地充满氮气，从而可以从源头上减少甚至避免扩散酸性物质的沉积，进而减少甚至避免喷淋管由于腐蚀问题而导致的报废。
一种扩散石英炉管

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