专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]放射线树脂组合-CN200910126173.7无效
  • 西村幸生;石井宽之;西村功;小林英一 - JSR株式会社
  • 2003-10-23 - 2009-09-16 - G03F7/039
  • 本发明提供一种放射线树脂组合,该树脂组合在使用如KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外线之类的各种放射线的微细加工中可以用作为化学增幅型抗蚀剂。本发明的放射线树脂组合含有〔A〕含有由通式(I-1)表示的重复单元(1-1)、以及、由通式(I-2)表示的重复单元(1-2)或由通式(I-5)表示的重复单元(1-5),为碱难溶性或不溶性的、通过酸的作用而变成碱易溶性的树脂、以及〔B〕放射线酸发生剂;其中,上述树脂中没有内酯环,在构成上述树脂的总重复单元的合计量为100摩尔%的情况下,上述重复单元(1-1)的含有比例为40~90摩尔%。
  • 放射线性树脂组合
  • [发明专利]图案形成方法、电子元件的制造方法及电子元件-CN201480021866.9在审
  • 中村贵之;山中司 - 富士胶片株式会社
  • 2014-04-14 - 2015-12-02 - G03F7/38
  • 一种图案形成方法,其依序包含:将感光化射线放射线树脂组合涂布于基板上而形成感光化射线放射线膜的步骤,感光化射线放射线树脂组合含有由于酸的作用而对包含一种以上有机溶剂的显影液的溶解度减少的树脂、通过照射光化射线放射线而产生酸的化合、及溶剂;经由液浸液对感光化射线放射线膜进行曝光的步骤;对感光化射线放射线膜进行加热的步骤;及利用包含有机溶剂的显影液对感光化射线放射线膜进行显影的步骤;并且,在膜形成步骤之后且曝光步骤之前、和/或曝光步骤之后且加热步骤之前包含对感光化射线放射线膜进行清洗的步骤。
  • 图案形成方法电子元件制造

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