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[发明专利]一种基于齿轮齿条形式的微线齿轮电解精加工平台-CN202210763712.3在审
发明人：陈扬枝;曾昭呼 -专利权人：华南理工大学
申请日： 2022-06-30 - 公布日： 2022-09-16 - 主分类号： B23H5/08 文献下载
摘要：本发明公开了一种基于齿轮齿条形式的微线齿轮电解精加工平台。该精加工平台包括大理石基座、X‑Y轴位移台、Z轴升降台、旋转主轴、齿轮导电装置、电解加工槽、齿条、微线齿轮、电解液系统、CCD模块、位移台控制系统、脉冲电源、示波器。该平台精加工前，先将齿轮和齿条相对位置对准，精加工过程中，电解液系统提供具有一定压力的电解液，旋转主轴带动微线齿轮转动，X轴位移台带动齿条的移动，用CCD模块观察齿轮齿条的相对位置和加工状态，通过齿轮齿条的相对运动使得微线齿轮发生电化学溶解从而将齿条的形状复制到齿轮上来实现齿轮的精加工利用本平台进行精加工，能够显著改善微线齿轮的表面性能和形状精度。
一种基于齿轮齿条形式电解精加工平台

[发明专利]一种微纳米视觉运动追踪系统-CN202110297951.X有效
发明人：王瑞洲;蔡远馨;王晗 -专利权人：广东工业大学
申请日： 2021-03-19 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： G01D18/00 文献下载
摘要：本发明提供一种面向微纳米视觉运动追踪系统，生成平面运动轨迹并获取视觉运动追踪测量精度作为基准精度；向微纳米视觉运动追踪系统中输入不同的轴向偏差位移激励源信号，获取在不同轴向偏差位移激励信号下的视觉运动追踪精度本发明可用于评估现有的各种类型微纳米级视觉运动追踪技术，建立由轴向偏差位移量到测量精度变化值的映射，将轴向偏移引起的测量误差从系统噪声中剥离，进一步扩充微纳米级视觉运动追踪测量对象的适用范围。
一种纳米视觉运动追踪系统

[发明专利]一种计量型微纳台阶高度测量装置-CN201510012759.6有效
发明人：施玉书;高思田;沈飞;王兴旺;李适;李伟;李琪;王鹤群;皮磊 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2015-01-09 - 公布日： 2018-05-01 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本发明的有益效果为该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。
一种计量型微纳台阶高度测量装置

[实用新型]一种计量型微纳台阶高度测量装置-CN201520016874.6有效
发明人：施玉书;高思田;沈飞;王兴旺;李适;李伟;李琪;王鹤群;皮磊 -专利权人：中国计量科学研究院
申请日： 2015-01-09 - 公布日： 2015-05-20 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种计量型微纳台阶高度测量装置，包括支撑系统以及安装在支撑系统上的白光显微测头、位移扫描系统和计量系统。本实用新型的有益效果为：该计量型微纳台阶高度测量装置主要用来测量微纳台阶的高度或沟槽的深度。系统采用粗细两级位移扫描系统，压电陶瓷驱动的纳米位移台可在微米级扫描范围内实现亚纳米级步进；压电陶瓷驱动的升降台可在毫米级扫描范围内实现亚微米级步进；Z向测量范围最大可达200微米。采用激光干涉仪组成计量系统，将位移直接溯源到国际单位制中米定义的波长基准。
一种计量型微纳台阶高度测量装置

[发明专利]智能驱动器性能测试实验台-CN200710100006.6无效
发明人：焦宗夏;曹锋;刘晓旭;郑俊麟 -专利权人：北京航空航天大学
申请日： 2007-06-04 - 公布日： 2008-12-10 - 主分类号： G01M19/00 文献下载
摘要：该智能驱动器性能测试实验台主要是由骨架系统(由基座、左右导轨、位移传感器底板、丝杠座底板等构成)，施力系统(由手柄、梯形丝杠座、梯形丝杠、球铰套、球铰座底板、压电力作动器、测力桥、桥底板、直线轴承、蝶形弹簧座、蝶形弹簧、轮辐式力传感器等构成)，微位移测试系统(由位移传感器套、位移传感器套盖、位移传感器等构成)三大系统组成。其中骨架系统是该实验台的基本支撑部分，用于支撑施力系统、微位移测试系统和被测智能驱动器；施力系统可以为被测智能驱动器施加各种力，用以测试被测智能驱动器的负载特性；微位移测试系统用于测试被测智能驱动器的输出位移由于智能驱动器(主要有压电陶瓷驱动器、超磁致伸缩驱动器、形状记忆合金等)的位移小、精度高、频响高，一般实验台不能满足其性能测试的需要，所以我们开发了智能驱动器性能测试实验台，以满足各种智能驱动器性能测试的需要
智能驱动器性能测试实验

[发明专利]基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统及加工方法-CN201310223561.3无效
发明人：刘芳芳;夏豪杰;陈丽娟;李红莉 -专利权人：合肥工业大学
申请日： 2013-06-06 - 公布日： 2013-09-04 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明公开了基于双FBG悬挂式探头结构的超精密微位移传感系统，其特征是探头采用不锈钢针管为保护套，所述保护套内沿其轴向平行设置两根FBG光纤测杆，所述两根光纤测杆一端与保护套固定，另一端悬空以进行测量；本发明微位移传感器系统具有灵敏度高、稳定性好、长径比大、抗干扰性强等优点，可广泛用于微器件、微结构、微尺寸的微纳米量级的位移参数测量。
基于 fbg 悬挂探头结构精密位移传感系统加工方法

[发明专利]一种船用卷板机挠度的自动补偿装置-CN201110278360.4有效
发明人：杨树田;王小建;常欣;钱建新;刘景硕;范殿明 -专利权人：泰安华鲁锻压机床有限公司
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-01-18 - 主分类号： B21D5/14 文献下载
摘要：一种船用卷板机挠度的自动补偿装置，由位移测量部分、位移补偿部分和微控电器系统组成，位移测量部分包括安装在床身一侧的支座，支座上安装一刚性梁；在下支撑辊装置的下方床身上安装有位移测量传感器，位移测量传感器的活动端置放在刚性梁的上平面；位移补偿部分包括安装在上梁上的上支撑辊装置，上支撑辊装置由电动推杆装置、拉杆、压圈、弹簧、斜铁、导板、托轮装置、托轮支座和位移补偿传感器组成；微控电器系统包括工控机、触摸屏和PLC可编程控制器。本发明的有益效果是：通过即时对床身受力后的挠度变形检测，将检测数据传送到微控电器系统，计算出床身及上梁的整体变形和所需补偿量，并指令进行补偿，大大提高了船用卷板机的卷制质量和卷制效率，节约了能源，降低了设备的损耗
一种船用卷板机挠度自动补偿装置

[实用新型]一种船用卷板机挠度的自动补偿装置-CN201120351141.X有效
发明人：杨树田;王小建;常欣;钱建新;刘景硕;范殿明 -专利权人：泰安华鲁锻压机床有限公司
申请日： 2011-09-20 - 公布日： 2012-05-30 - 主分类号： B21D5/14 文献下载
摘要：一种船用卷板机挠度的自动补偿装置，由位移测量部分、位移补偿部分和微控电器系统组成，位移测量部分包括安装在床身一侧的支座，支座上安装一刚性梁；在下支撑辊装置的下方床身上安装有位移测量传感器，位移测量传感器的活动端置放在刚性梁的上平面；位移补偿部分包括安装在上梁上的上支撑辊装置，上支撑辊装置由电动推杆装置、拉杆、压圈、弹簧、斜铁、导板、托轮装置、托轮支座和位移补偿传感器组成；微控电器系统包括工控机、触摸屏和PLC可编程控制器。本实用新型的有益效果是：通过即时对床身受力后的挠度变形检测，将检测数据传送到微控电器系统，计算出床身及上梁的整体变形和所需补偿量，并指令进行补偿，大大提高了船用卷板机的卷制质量和卷制效率，节约了能源，降低了设备的损耗
一种船用卷板机挠度自动补偿装置

[发明专利]适合空间应用的显微自动调焦装置及方法-CN200410093558.5无效
发明人：郑伟波;张涛;刘学明;吕银环;卢晋人;童广辉 -专利权人：中国科学院上海技术物理研究所
申请日： 2004-12-24 - 公布日： 2005-07-20 - 主分类号： G02B21/36 文献下载
摘要：一种适合空间应用的显微自动调焦装置及方法，该装置包括与空间目标依次成光学联结的显微光学系统(40)和获取显微图像系统(10)，以及对显微图像进行处理，用以确定清晰成像位置的图像处理系统(20)、以及联结图像处理系统(20)和显微光学系统(40)的微位移控制系统(30)，从而，形成一个闭环控制系统，实现显微自动调焦。该方法主要是依藉微位移控制系统对显微光学系统在规定范围内逐步移动与空间目标的距离获取显微图像，并按灰度差分法，对每一像元进行运算，求出一组灰度极值后再求灰度最大值，并以灰度最大值确定清晰成像位置，由微位移系统去调节显微光学系统与空间目标的距离
适合空间应用显微自动调焦装置方法

[实用新型]一种微位移测量系统-CN201620850397.8有效
发明人：张秀再;朱熙铖;赵益波;乔治 -专利权人：南京信息工程大学
申请日： 2016-08-05 - 公布日： 2017-02-08 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本实用新型提供一种微位移测量系统，其特征在于，所述系统包括型号为STM32F407VET6的微控制器以及与所述微控制器相连的电平转换模块和整形模块，所述整形模块还与光栅尺接口电路相连，其中，所述电平转换模块通过本实用新型提供的一种微位移测量系统，能够精确地测量细微的位移。
一种位移测量系统

[发明专利]一种微夹持机器人-CN202010163411.8有效
发明人：王代华;包丽萍;王坎;赵建宇 -专利权人：重庆大学
申请日： 2020-03-10 - 公布日： 2021-12-21 - 主分类号： B23P19/00 文献下载
摘要：本发明涉及一种微夹持机器人，实现微型零件的夹持和高精密运动定位的同时可实现对夹爪位移、夹持力和微装配力的检测和反馈控制。微夹持机器人由同时实现夹爪位移检测、夹持力检测和微装配力检测的微夹钳、精密定位系统和微夹持机器人控制器构成，实现沿X轴、Y轴和Z轴的直线运动和旋转运动，同时实现对夹爪位移、夹持力和微装配力的同时检测、传感与反馈微夹钳由基座、固定在基座上的单片柔顺机构、执行器以及微夹钳控制构成。单片柔顺机构上有对称设置的一级杠杆机构、对称设置的三级串联平行四边形机构和对称设置的夹爪。
一种夹持机器人

[发明专利]基于涡旋光螺旋波前-空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法-CN202011129457.4有效
发明人：杨忠明;杨栋;刘兆军 -专利权人：山东大学
申请日： 2020-10-21 - 公布日： 2022-10-21 - 主分类号： G01B11/02 文献下载
摘要：本发明涉及光学干涉精密计量技术领域，涉及一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移测量系统及方法。一种基于涡旋光螺旋波前‑空间相移干涉纳米量级微位移快速测量系统，包括沿激光传输方向依次设置的He‑Ne激光器、起偏器、四分之一波片、第一分光棱镜、第二分光棱镜、位移平台、反射镜、螺旋相位板、第三分光棱镜和偏振相机本发明的测量系统采用马赫‑曾德干涉仪结构，系统结构紧凑，稳定性强，测量精度高。采用空间相移干涉测量结构，可以快速同时捕获四幅相移干涉图，解调得到真实螺旋相位分布，实现微位移快速测量。
基于涡旋螺旋空间相移干涉纳米量级位移测量系统方法

[发明专利]一种带有微扫描的X射线实时成像系统-CN201510162843.6在审
发明人：高美静;谈爱玲;许伟;吴伟龙 -专利权人：燕山大学
申请日： 2015-04-03 - 公布日： 2015-07-08 - 主分类号： G01N23/04 文献下载
摘要：一种带有微扫描的X射线实时成像系统，包括高压电源、X射线源、平板探测器、微位移平台、计算机以及显示器，高压电源与X射线源相连，X射线源发出的X射线经过待测物衰减后到达平板探测器，平板探测器安装在微位移平台上，微位移平台由压电伺服控制器控制，压电伺服控制器控制微位移平台实现微扫描所需运动，进而完成微扫描图像采集；平板探测器的信号输出端与计算机信号接收端口相连，平板探测器将X射线图像转化成电子图像并传输给计算机
一种带有扫描射线实时成像系统

[发明专利]细胞微区柔性表征方法-CN201110021960.2无效
发明人：郭延军;冯建涛;韩东 -专利权人：国家纳米科学中心
申请日： 2011-01-19 - 公布日： 2012-07-25 - 主分类号： G01Q30/04 文献下载
摘要：一种细胞微区柔性表征方法，包括：提供细胞的原子力显微镜力-位移曲线；将力-位移曲线中处于微悬臂接触细胞前和微悬臂将细胞压迫至最底部后的两个过程中的两部分曲线进行直线拟合；从经直线拟合后的力-位移曲线中获得细胞表面的位移、微悬臂的位移和微悬臂的基座位移；得到基于细胞表面的位移和微悬臂的位移的第一参数P1、基于细胞表面的位移和微悬臂的基座位移的第二参数P2、和基于微悬臂的位移和微悬臂的基座位移的第三参数P3中的至少一者，并通过所得到的参数来表征细胞微区柔性。根据本发明的方法，可以将参数P1、P2和P3作为衡量不同生理状态细胞微区柔性差异的指标，从而对细胞微区柔性进行表征。
细胞柔性表征方法

[发明专利]基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统-CN02155880.9有效
发明人：台宪青;胡旭晓;杨克己 -专利权人：中国科学院自动化研究所
申请日： 2002-12-13 - 公布日： 2004-06-30 - 主分类号： G01B7/02 文献下载
摘要：一种基于高精度电感测头的逐级递推式纳米级测量系统，包括控制部分，还包括：铁心(9)放置在线圈(10)和(8)之间；测杆(7)，其一端连接铁心(9)，另一端连接测杆触头(5)；微进给装置(6)位于测杆(7)之间，根据被测物体(4)的微小位移量提供进给量。本发明针对微位移测量采用逐级递推方式进行分步推进，一方面使纳米级测量易于实现，另一方面使整个测量系统具有较大的测量范围。因此，纳米级进给装置决定了该测量系统具有较高的测量精度。该测量系统采用接触方式测量，因此本系统适合准静态的微位移测量。
基于高精度电感逐级递推式纳米测量系统