专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]利用衍射光栅的三维形状测量装置-CN201580059588.0有效
  • 徐长一 - 株式会社高迎科技
  • 2015-11-11 - 2020-07-28 - G01B11/24
  • 公开一种利用衍射光栅的三维形状测量装置,其包括:分光器,其安装于光源部发生的光的行进方向,使光的一部分沿第一路径反射,且使光的一部分沿第二路径透过;图像传感器,其接收沿所述第一路径行进而被具备至少一个孔(hole)的测量对象物反射的光,并测量所述测量对象物的形状;及衍射光栅,其配置于所述光源部与所述分光器之间的光路径、所述测量对象物与所述分光器之间的光路径及所述测量对象物与所述图像传感器之间的光路径中一个以上的光路径
  • 利用衍射光栅三维形状测量装置
  • [发明专利]一种立式晶圆形状测量-CN201310345969.8无效
  • 夏发平 - 昆山允可精密工业技术有限公司
  • 2013-08-09 - 2013-11-13 - G01B11/30
  • 一种立式晶圆形状测量仪,包括调整垫脚;底座,所述的底座设在调整垫脚上;平台,所述的平台设在底座上;支撑座,所述的支撑座设在平台上;横梁,所述的横梁设在支撑座上;轴系,所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴;所述的X轴设在横梁上;所述的Y轴设在平台上,与X轴相互垂直;所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直,且其运动方向垂直于测量平台;所述的旋转轴固定在Y轴动板上;晶圆承载台,所述的晶圆承载台固定在旋转轴上本发明采用独特的接触式测头和固定横梁式布局方式,采用精密伺服控制的直线轴和旋转轴,实现晶圆平面度和厚度等形状参数自动测量
  • 一种立式圆形测量仪
  • [发明专利]表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置-CN200610077752.3无效
  • 谷内信幸;久保田和浩 - 株式会社东京精密
  • 2006-04-21 - 2006-10-25 - G01B21/30
  • 公开了一种表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置,该装置用于通过在使被支撑于悬臂上的探针与工件测量表面保持接触的同时移动该探针、并且检测探针的位移量来测量工件测量表面的表面形状。具有堤坝部分和底部的阶梯形工件底部的表面粗糙度和轮廓形状可以容易地进行测量。该表面粗糙度和/或轮廓形状测量装置(1)包括移动单元(8),该移动单元用来在与探针(9)长度方向(Z)和悬臂(7)长度方向(Y)都垂直的方向(X)上使工件和探针(9)相对于彼此移动。
  • 表面粗糙轮廓形状测量装置
  • [实用新型]一种立式晶圆形状测量-CN201320485948.1有效
  • 夏发平 - 昆山允可精密工业技术有限公司
  • 2013-08-09 - 2014-01-01 - G01B11/30
  • 一种立式晶圆形状测量仪,包括调整垫脚;底座,所述的底座设在调整垫脚上;平台,所述的平台设在底座上;支撑座,所述的支撑座设在平台上;横梁,所述的横梁设在支撑座上;轴系,所述的轴系包括X轴、Y轴、Z轴和旋转轴;所述的X轴设在横梁上;所述的Y轴设在平台上,与X轴相互垂直;所述的Z轴固定在X轴动板上、与X轴运动方向相互垂直,且其运动方向垂直于测量平台;所述的旋转轴固定在Y轴动板上;晶圆承载台,所述的晶圆承载台固定在旋转轴上本实用新型采用独特的接触式测头和固定横梁式布局方式,采用精密伺服控制的直线轴和旋转轴,实现晶圆平面度和厚度等形状参数自动测量
  • 一种立式圆形测量仪

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