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- [实用新型]一种提篮槽层延伸治具-CN202123002868.X有效
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田周;吴世茂
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合肥新汇成微电子股份有限公司
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2021-12-02
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2022-08-16
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B65D25/52
- 本实用新型提供一种提篮槽层延伸治具,包括,安装在8寸提篮槽层主体上的防护组件,所述防护组件包括防护板,所述防护板上开设有防护槽,并且防护板的一侧设置有连接件,所述防护板位于所述8寸提篮槽层主体的上方,所述连接件为L形,并且连接件通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体和防护板连接,所述连接件共设置有两个,两个所述连接件对称分布在所述防护板的两侧,本实用新型提供的提篮槽层延伸治具,通过防护板上的防护槽,使得在对8寸提篮槽层主体内部的晶圆向上取出时,对取出的晶圆进行限位,避免了晶圆在8寸提篮槽层主体的内部向上抽拉过程中,容易触碰8寸提篮槽层主体内部的晶圆,进而容易造成8寸提篮槽层主体内部晶圆的损伤。
- 一种提篮延伸
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