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[实用新型]一种变频节能真空抽气系统-CN202021689195.2有效
发明人：吴煜明 -专利权人：柏霆（苏州）光电科技有限公司
申请日： 2020-08-14 - 公布日： 2021-08-06 - 主分类号： F04D19/04 文献下载
摘要：本实用新型涉及真空溅镀机辅助设备领域，尤其涉及一种变频节能真空抽气系统，包括缓冲腔体、载入腔体、腔体闸门、中型干式泵组、小型干式泵组、涡轮分子泵和控制器；所述缓冲腔体和载入腔体连接，并且由腔体闸门进行两个腔体连接处与端口的封闭；所述缓冲腔体两侧和小型干式泵组连接的腔体抽气分流管上连接涡轮分子泵；采用本实用新型，选用一套中型干式泵组加一套小型干式泵组的真空泵组组合，分别配置变频器再通过一套涡轮分子泵作为后段抽气泵，依据真空压力值的变化进行抽气管路及角阀开关控制
一种变频节能真空系统

[发明专利]半导体设备及其运行方法-CN201811315125.8在审
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2020-05-12 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本发明提供了一种半导体设备及其运行方法，所述半导体设备包括反应腔体以及干泵，其中所述反应腔体与所述干泵之间通过第一管道连接，所述第一管道上设置有一隔离阀门，所述干泵控制所述隔离阀门的开启和关闭。本发明提供的半导体设备运行方法，当干泵停止运行时，可以即时关闭所述隔离阀门，有效避免了管道生成物和干泵抽取出的残余气体回灌至反应腔体中，确保了反应腔体中晶圆的良率。
半导体设备及其运行方法

[实用新型]半导体设备-CN201821819777.0有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：长鑫存储技术有限公司
申请日： 2018-11-06 - 公布日： 2019-09-17 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种半导体设备，所述半导体设备包括反应腔体以及干泵，其中所述反应腔体与所述干泵之间通过第一管道连接，所述第一管道上设置有一隔离阀门，所述干泵控制所述隔离阀门的开启和关闭。本实用新型提供的半导体设备，当干泵停止运行时，可以即时关闭所述隔离阀门，有效避免了管道生成物和干泵抽取出的残余气体回灌至反应腔体中，确保了反应腔体中晶圆的良率。
干泵半导体设备反应腔体隔离阀门本实用新型第一管道残余气体停止运行回灌晶圆良率取出

[实用新型]一种熔盐泵干气密封-CN201822152706.6有效
发明人：李伟;毛继业;余洪;赵春林;黄良志 -专利权人：成都一通密封股份有限公司
申请日： 2018-12-21 - 公布日： 2019-09-06 - 主分类号： F04D29/10 文献下载
摘要：本实用新型具体涉及一种熔盐泵干气密封，包括设于熔盐泵转轴上的轴套，所述轴套上设有干气密封机构，所述干气密封机构靠近熔盐泵介质的一侧设有冷却腔体，所述冷却腔体中设有冷却腔，所述冷却腔体上设有与冷却腔相通的冷却进口和冷却出口通过在干气密封的介质侧设置冷却腔体，设置具有保护作用的冷却腔，能够隔离高温对干气密封的高温影响，从而使干气密封机构不受高温影响，提高了密封使用寿命。
干气密封冷却腔体熔盐泵干气密封机构冷却腔高温影响轴套本实用新型隔离高温冷却出口冷却进口使用寿命介质侧转轴密封相通

[实用新型]一种用于海藻运输的干式泵结构-CN201920925141.2有效
发明人：仲鹏 -专利权人：青岛瑞顺泰合泵业有限公司
申请日： 2019-06-19 - 公布日： 2020-02-14 - 主分类号： B65G53/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种用于海藻运输的干式泵结构，通过在干式泵输入管道上设置固定壳，固定壳的外侧壁设置高压气泵，在干式泵停止输送物料而未停止运行时，由高压气泵向干式泵的输入管道内输送高压气体，能够将附着在输入管道、腔体、密封腔内以及连接杆上的残留物料冲掉，进而通过干式泵将残留物料运输出去，从而避免输入管道、腔体、密封腔堵塞，影响物料传输，进而避免干式泵卡死故障，导致干式泵无法正常运行。
干式泵输入管道残留物料高压气泵固定壳密封腔腔体本实用新型高压气体卡死故障输送物料停止运行影响物料海藻连接杆外侧壁附着运输传输堵塞

[实用新型]工艺腔及半导体加工设备-CN201820197850.9有效
发明人：赵尊华;陈伏宏;刘家桦 -专利权人：德淮半导体有限公司
申请日： 2018-01-29 - 公布日： 2018-11-23 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型提供一种工艺腔及半导体加工设备，所述工艺腔包括腔体、干泵以及增压泵；所述干泵通过第一管道与所述腔体连接，所述第一管道上设置有第一隔离阀；所述增压泵的一端通过第二管道连接在所述第一隔离阀和所述干泵之间的第一管道上，所述增压泵的另一端通过第三管道与所述干泵连接，所述第二管道上设有门阀，所述门阀和所述干泵之间的第一管道上还设置有与所述门阀状态相反的感应阀；本实用新型的工艺腔及半导体加工设备，能够在需要对腔体进行维护时，不需要停止涡轮增压泵，就可以使腔体排气到大气，节约了轮增压泵从转速100％降到转速0％的时间，减小了宕机的时间，提高了设备的使用效率。
干泵第一管道工艺腔增压泵半导体加工设备门阀腔体本实用新型第二管道隔离阀涡轮增压泵使用效率感应阀减小排气宕机节约维护

[发明专利]半导体设备-CN201410199497.4无效
发明人：陆爱军;邹毅;王海红 -专利权人：上海先进半导体制造股份有限公司
申请日： 2014-05-12 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： C30B25/14 文献下载
摘要：本发明揭示了一种半导体设备，包括腔体、第一管道、第二管道以及干泵。所述第一管道设置于所述腔体的下方，所述第一管道的一端连接所述腔体，所述第一管道的另一端密封，所述第一管道的侧壁具有一开孔，所述第二管道的一端连接所述开孔，所述干泵连接所述第二管道的另一端。当所述干泵进行抽气时，气体从所述腔体流出，经过所述第一管道，从所述开孔流入所述第二管道，并进入所述干泵，从所述腔体出来的副产物粘附在所述第一管道的侧壁上，当所述副产物从所述第一管道的侧壁上脱落时，直接掉落致所述第一管道的另一端，而不会进入所述开孔，从而避免所述副产物进入所述干泵。
半导体设备

[实用新型]一种碳化硅生长设备的两用真空系统-CN201920971321.4有效
发明人：周元辉;刘春艳;胡春霞;刘洪亮;刘洪涛;范子龙;高雅蕾;姜树炎 -专利权人：苏州优晶光电科技有限公司
申请日： 2019-06-26 - 公布日： 2020-02-28 - 主分类号： C30B29/36 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种碳化硅生长设备的两用真空系统，包括腔体、机械泵和干式真空泵，腔体连通的管道上安装有一个机械泵，干式真空泵的输入端连通两个真空管，两个真空管均连通在腔体上，其中一个真空管上还安装有分子泵和第二电磁式高真空阀门，分子泵连通在干式真空泵和第二电磁式高真空阀门之间，腔体还连通有气体管，气体管上安装有第一电磁式高真空阀门，腔体内还安装有检测装置；本实用新型的两用真空系统通过检测装置检测腔体中的气体含量、温度和压力，并通过控制箱分析后，相应的按比例调节腔体内的真空环境，可以精确的控制腔体内的真空环境，避免挥发物对系统的影响，还可以为碳化硅生产提供适宜的真空环境，以便于生产碳化硅。
一种碳化硅生长设备两用真空系统

[实用新型]一种改善轴承干摩擦现象的液下式屏蔽电泵-CN202222017682.X有效
发明人：廖勇;吴炳华 -专利权人：汉宇集团股份有限公司
申请日： 2022-08-02 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： F04D13/06 文献下载
摘要：本实用新型提供一种改善轴承干摩擦现象的液下式屏蔽电泵，包括泵体、泵盖、转子、叶轮、第一轴承和第二轴承；泵体在其底端向其中空内部方向延伸形成有腔体，腔体的壁面设有径向下凹的第一凹槽，所述第一凹槽从腔体开口端沿转子方向延伸至腔体底端，使得叶轮所泵液体越过第二轴承导入腔体的底端。并在转子下端面与第一轴承之间的腔体壁面还设有贯穿泵体的排气孔。在转子旋转的过程中，液体受离心力带动沿第一凹槽升高至腔体底端，完全越过第二轴承，对第二轴承起到更好的润滑作用，有效防止第二轴承出现干摩擦；而且部分液体可以留存在腔体内的第一轴承上端，完全浸过第一轴承，对第一轴承起到更好的润滑作用，有效防止第一轴承出现干摩擦。
一种改善轴承摩擦现象液下式屏蔽

[发明专利]一种干气密封螺杆真空泵-CN201210593391.3无效
发明人：张振厚;王光玉;刘志东 -专利权人：中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司
申请日： 2012-12-29 - 公布日： 2013-04-17 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本发明涉及真空领域的真空泵，具体地说是一种干气密封螺杆真空泵，包括腔体、主动转子轴、从动转子轴、主动转子、从动转子、传动装置、中间架、干气密封、迷宫式密封及电机，其中腔体的一侧与中间架连接，主动转子轴和从动转子轴均设置于腔体内，主动转子轴和从动转子轴上分别设有主动转子和从动转子，主动转子轴的一端依次穿过腔体、中间架与电机连接，从动转子轴的一端穿过中间架通过传动装置与主动转子轴连接，主动转子轴和从动转子轴上均依次套设有位于中间架内的干气密封和迷宫式密封本发明通过干气密封和迷宫式密封组合的方式将泵腔体内、外界完全隔离，使介质完全被封闭在泵腔内，适用于石油、化工有毒有害介质的工况。
一种密封螺杆真空泵

[实用新型]真空干泵-CN202321317333.8有效
发明人：周长颖 -专利权人：嘉贺恒德科技有限责任公司
申请日： 2023-05-26 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： F04B37/14 文献下载
摘要：本申请涉及一种真空干泵，包括机体、外壳和保护壳；机体位于外壳的壳体内部，机体设有急停开关，急停开关位于外壳的外侧壁；保护壳设有一端开口的内部腔体，保护壳的开口端扣设在外壳上，急停开关位于保护壳的内部腔体相比较现有的真空干泵密集摆放，工作人员行走时易产生误触，或者急停操作时误触其他真空干泵的开关，本申请能够防止真空干泵急停开关的误触。
真空

[实用新型]利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备-CN202123432268.7有效
发明人：周阳;沈文武;何建修;周贤忠 -专利权人：四川莱斯特真空科技有限公司
申请日： 2021-12-30 - 公布日： 2022-05-10 - 主分类号： F04C25/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了利用自身余热加热氮气的干式真空泵和光伏半导体设备，涉及真空组件领域。该利用自身余热加热氮气的干式真空泵，其包括一级腔体、二级腔体和氮气管道，一级腔体和二级腔体固定连接以形成用于容纳转子的活动腔，一级腔体和管道腔体的接触面具有间隙，一级腔体靠近于二级腔体的接触面上开设有氮气环通槽，一级腔体设置有抽气腔体，氮气管道与氮气环通槽连通，氮气环通槽通过间隙与抽气腔体连通。其通过在一级腔体上开设氮气环通槽，并将氮气由外部通入氮气环通槽内，并利用干式真空泵本身的余热给氮气加热，达到使最终通入泵腔的氮气拥有较高的温度，无需外加热源给氮气加热，有效降低了整个工厂的用电量，降低成本
利用自身余热加热氮气真空泵半导体设备

[发明专利]一种铅铋堆核主泵机械密封结构-CN202011544032.X在审
发明人：刘伟;王岩;奉明忠;张君凯;王泽平;邹家懋;吴希曦;刘婷;王渝枢;严明宇;隋海明 -专利权人：中密控股股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-03-12 - 主分类号： F04D29/10 文献下载
摘要：本发明涉及机械密封结构技术领域，特别是一种铅铋堆核主泵机械密封结构，包括轴套、停车密封组件和干气密封组件；轴套套装固定在主轴上，泵体外侧固定有介质侧压盖；停车密封组件包括分瓣环、停车密封环、停车密封腔体和停车密封盖；干气密封组件包括干气密封腔体、双端面干气密封结构、弹簧座、弹簧B和弹簧C；介质侧压盖上沿径向开设有下端泄漏气收集口；停车密封腔体上开设有停车密封气入口；干气密封腔体上开设有干气密封气入口和干气密封气出口本发明无论是在正常运行工况还是停车工况下，均能保持铅铋堆核主泵优异的密封性能，阻隔下侧放射性气体介质向环境侧泄漏，确保工艺介质零泄漏。
一种铅铋堆核主泵机械密封结构

[实用新型]一种铅铋堆核主泵机械密封结构-CN202023143830.X有效
发明人：刘伟;王岩;奉明忠;张君凯;王泽平;邹家懋;吴希曦;刘婷;王渝枢;严明宇;隋海明 -专利权人：中密控股股份有限公司
申请日： 2020-12-24 - 公布日： 2021-08-20 - 主分类号： F04D29/10 文献下载
摘要：本实用新型涉及机械密封结构技术领域，特别是一种铅铋堆核主泵机械密封结构，包括轴套、停车密封组件和干气密封组件；轴套套装固定在主轴上，泵体外侧固定有介质侧压盖；停车密封组件包括分瓣环、停车密封环、停车密封腔体和停车密封盖；干气密封组件包括干气密封腔体、双端面干气密封结构、弹簧座、弹簧B和弹簧C；介质侧压盖上沿径向开设有下端泄漏气收集口；停车密封腔体上开设有停车密封气入口；干气密封腔体上开设有干气密封气入口和干气密封气出口本实用新型无论是在正常运行工况还是停车工况下，均能保持铅铋堆核主泵优异的密封性能，阻隔下侧放射性气体介质向环境侧泄漏，确保工艺介质零泄漏。
一种铅铋堆核主泵机械密封结构

[发明专利]紫外线杀菌电磁感应加热真空干衣机-CN201810330394.5在审
发明人：任卫国;丁东胜 -专利权人：中山市天元真空设备技术有限公司
申请日： 2018-04-13 - 公布日： 2018-08-03 - 主分类号： D06F58/02 文献下载
摘要：本发明公开了紫外线杀菌电磁感应加热真空干衣机，其特征在于：干衣机基座，其连接一具有容纳空间的容腔体；所述容腔体连接电磁感应加热装置和真空泵；所述电磁感应加热装置对所述容腔体进行加热，所述真空泵通过抽真空管路连接至容腔体，于干衣过程中对容腔体内进行抽真空；所述容腔体内集成紫外线杀菌消毒装置，在干衣的同时对衣物进行杀菌消毒；旋转机构，其驱动所述容腔体于所述干衣机基座上进行旋转；微电脑控制线路板，其连接所述容腔体；在干衣过程中，对所述容腔体的温度、压力、紫外灯照射和旋转状态进行自动控制，同时设置不同的干衣程序。它利用电磁感应加热技术和真空技术达到快速低温干衣，并配置紫外线杀菌装置实现杀菌消毒。
容腔体干衣电磁感应加热装置电磁感应加热真空干衣机紫外线杀菌杀菌消毒干衣机真空泵容腔紫外线杀菌消毒装置电磁感应加热技术微电脑控制线路板体内紫外线杀菌装置抽真空管路紫外灯照射快速低温容纳空间旋转机构旋转状态真空技术抽真空加热衣物驱动配置

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