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- [发明专利]工件内腔支撑加工工装-CN201810015061.3有效
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程宝;回燕华;刘小军;韩锋
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歌尔股份有限公司
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2018-01-08
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2020-02-21
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B23B31/40
- 本发明公开了一种工件内腔支撑加工工装，工装包括工件内腔支撑机构和旋转机构；工件内腔支撑机构包括与螺纹套筒螺纹连接的顶杆和套设于顶杆外并且与顶杆尖端配合的胀套；旋转机构包括固定于工件内腔支撑机构底部的旋转底板、位于旋转底板下方的固定底座和连接旋转底板与固定底座的轴承以及与轴承配合的轴；本发明的工件内腔支撑加工工装，通过顶杆前行使顶杆尖端与胀套配合，实现对工件内腔支撑定位，避免了工件外观面所存在的划伤风险，保护了工件外观面，提高了产品良率；通过旋转机构，扩大了工件加工范围，满足了工件加工需要。
- 工件支撑加工工装
- [发明专利]传递工件进出真空制程腔的装置及方法-CN201010022553.9无效
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陈炯
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上海凯世通半导体有限公司
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2010-01-08
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2011-07-13
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H01L21/677
- 本发明公开了一种传递工件进出真空制程腔的装置，其包括：一设于大气环境中的工件堆放区；一设于该真空制程腔中的工件支架；设于大气环境与该真空制程腔之间的一第一进件腔和一第二进件腔，该第一和第二进件腔可以在大气状态与真空状态之间切换；一设于该真空制程腔中的第一机械手臂，用于将该第一或第二进件腔中的待加工工件传递至该工件支架进行加工，并将加工完毕的工件从该工件支架传递回该第一或第二进件腔；一设于大气环境中的第三机械手臂，用于将待加工工件从该工件堆放区传递至该第一或第二进件腔，并将加工完毕的工件从该第一或第二进件腔传递回该工件堆放区。本发明能够实现在真空与大气环境之间快速地传递工件，提高生产效率。
- 传递工件进出真空制程腔装置方法
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