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- [实用新型]高温陶瓷降噪屏障-CN201020167001.2有效
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殷艺敏;刘祖德
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殷艺敏
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2010-04-22
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2010-12-29
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G10K11/16
- 高温陶瓷降噪屏障，包括降噪屏障板、透明屏体以及支撑构件组成，将降噪屏障板插入支撑构件上下部分，将透明屏体插入支撑构件中间部分，各连接处采用密封垫圈和密封膏来密封，所述降噪屏障板为采用高温陶瓷制成的消声隔音板，所述支撑构件为采用H型钢制成的屏障框架，顶端采用弧形设计，下端与地基采用地脚螺栓连接，所述透明屏体的结构是将夹膜玻璃插入铝合金框架中制成的屏板结构。本实用新型采用的高温陶瓷消声隔音板，具有比较稳定的力学性能和良好的吸声性能，降噪屏障上端的弧形设计，更是大大增强了吸声降噪效果。
- 高温陶瓷屏障
- [发明专利]半导体器件的制造方法-CN200810089143.9无效
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玉木贞治
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冲电气工业株式会社
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2008-04-01
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2008-10-22
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H01L21/768
- 首先，准备基底(100)，在基底上依次层叠屏障膜(120)、布线膜(130)以及掩模膜(140)。屏障膜和掩模膜为氮化钛，布线膜为钨。然后，在掩模膜上涂敷反射防止膜(150)。然后，在反射防止膜上形成了抗蚀剂膜后，通过光刻来进行图形化，形成抗蚀剂掩模(160)。抗蚀剂掩模覆盖布线形成区域(105)，并且露出布线非形成区域(107)。接下来，通过使用了氟类气体的蚀刻来进行反射防止膜的图形化。然后，通过使用了氯类气体的蚀刻来进行掩模膜的图形化。然后，通过使用了氟类气体的蚀刻来进行布线膜的图形化。
- 半导体器件制造方法
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