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[实用新型]一种废气处理的混合器-CN201920967124.5有效
发明人：王海影 -专利权人：王海影
申请日： 2019-06-27 - 公布日： 2020-04-24 - 主分类号： B01F5/02 文献下载
摘要：一种废气处理的混合器，小流量气体通过一定的方式喷射进入大流量气体内部，并形成湍流以实现充分混合，其中，小流量气体喷射孔设置引流管且与大流量气体方向形成一定的夹角。小流量气体管道以直管段形式伸入大流量气体管道内部，并且两管道同心，小流量气体侧壁喷射孔沿小流量气体管道尾部区域均匀开孔，侧壁喷射孔位于大流量气体和小流量气体管道的直管段区域，侧壁喷射孔沿轴向、径向均匀排列；小流量气体管道尾部封闭，同时在尾部封闭板中心开尾部喷射孔。
一种废气处理混合器

[实用新型]全量程复合式气体流量计-CN201320382446.6有效
发明人：梁国栋;毛行星;肖立杰 -专利权人：梁国栋;毛行星;天津市第五机床厂
申请日： 2013-06-28 - 公布日： 2013-12-25 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种全量程复合式气体流量计，提供一种能实现对管道内部流动气体小流量进行准确计量，实现全量程的流量计。由高量程气体流量计和小流程气体流量计组合而成，高量程气体流量计包括表体和智能积算仪，小量程气体流量计的传感器安装于高量程气体流量计表体的气体入口处，小量程气体流量计的计量信息输出端与智能积算仪的小流量信息输入端连接，通过智能积算仪实现小流量计量与大流量计量的自动切换控制。小量程气体流量计为热线式或热膜式或热阻式气体流量计。该流量计中的小量程气体流量计用于对小流量的气体进行计量，高量程气体流量计对大流量的气体进行计量，从而实现了气体的全量程计量，能够大幅降低城市管网气体供销差。
量程复合气体流量计

[发明专利]小流量气体、液体泵-CN200710072013.X无效
发明人：张纪永 -专利权人：张纪永
申请日： 2007-04-10 - 公布日： 2008-10-15 - 主分类号： F04B45/04 文献下载
摘要：小流量气体、液体泵，它公开一种抽、排空气或液体的小流量泵。它克服了现有技术结构复杂和体积大的缺陷。本发明可广泛用于仪器仪表、环保分析、生物化工、自动控制等领域，尤其适用传输酸性、碱性的气体和液体。
流量气体液体

[实用新型]气体小流量标准装置-CN201220269450.7有效
发明人：向德华;周艳;李宁 -专利权人：湖南省计量检测研究院
申请日： 2012-06-08 - 公布日： 2013-01-09 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种气体小流量标准装置，包括顺次连接的空压机、稳压罐、减压阀、质量流量控制器和被检流量计，还包括储水容器和标准量器，所述储水容器的顶部设有管路与被检流量计相连，并在储水容器的底部设置管路连接到标准量器由于标准量器采用缩颈结构，量器可以达到二等标准金属容器的要求，装置综合精度优于0.1%，明显优于气体钟罩；本装置易于扩充标准量器，量程范围宽，一般可达5000∶1；本装置结构简单，运行维护成本低。
气体流量标准装置

[实用新型]小流量气体、液体泵-CN200720115926.0无效
发明人：张纪永 -专利权人：张纪永
申请日： 2007-04-10 - 公布日： 2008-02-27 - 主分类号： F04B45/04 文献下载
摘要：小流量气体、液体泵，它公开一种抽、排空气或液体的小流量泵。它克服了现有技术结构复杂和体积大的缺陷。本实用新型可广泛用于仪器仪表、环保分析、生物化工、自动控制等领域，尤其适用传输酸性、碱性的气体和液体。
流量气体液体

[发明专利]一种含水蒸汽的混合气氛高温气固反应装置及控制方法-CN202110647325.9有效
发明人：刘蔚;钱炯;蔡志刚;孟凡江;杨义忠;矫明;苏诚;王宝顺;钟强;沈金李 -专利权人：浙江久立特材科技股份有限公司;上海核工程研究设计院有限公司
申请日： 2021-06-10 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： B01J8/00 文献下载
摘要：一种含水蒸汽的混合气氛高温气固反应装置，包括大流量气体控制模块，小流量气体控制模块，主流量调节器，水蒸汽控制模块，主控制阀一，气固反应控制模块，主控制阀二，真空泵，以及尾气处理控制模块；所述大流量气体控制模块用于提供恒定流量的大流量气体，其包括第一气罐，第一控制阀，第一流量调节器和第二控制阀。本发明将气体介质分为大流量气体和小流量气体，并通过大流量气体控制模块和小流量气体控制模块进行分别接入，小流量气体先在气体混合器中充分混合之后再与大流量气体逐步混合，可防止大流量气体流速过快而影响小流量气体的流量稳定性
一种含水蒸汽混合气氛高温反应装置控制方法

[实用新型]一种进气混气装置-CN201520232477.2有效
发明人：刁宏伟;王文静;赵雷;周春兰;王光红 -专利权人：中国科学院电工研究所
申请日： 2015-04-17 - 公布日： 2015-08-26 - 主分类号： C23C16/455 文献下载
摘要：一种进气混气装置，由气体管道簇及直筒两部分组成，气体管道簇插入直筒内。直筒的一端为一簇气体管道，为气体流入端；直筒的另一端为一通孔，为混合气体流出端。气体管道簇中，布置于圆盘中心的一根气体管道通入大流量气体，布置于大流量气体管道周围，且与大流量气体管道等距离的小流量气体管道通入小流量气体。气体流入端与气体流量计连接，混合气体流出端与等离子电极的进气口连接。大流量气体和小流量气体经气体流入端进入直筒部分，大流量气体的流动造成直筒内漏斗形空间产生负压区间，使小流量气体管道中的小流量气体流入直筒部分的漏斗形空间，与大流量气体混合。本实用新型尤其适用于流量差大于一个量级以上的不同气体的均匀混合。
一种进气混气装置

[实用新型]一种用于半导体处理设备的气体分配装置及其导流件-CN202123003406.X有效
发明人：连增迪;吴狄 -专利权人：中微半导体设备（上海）股份有限公司
申请日： 2021-12-02 - 公布日： 2022-06-24 - 主分类号： H01J37/32 文献下载
摘要：一种用于半导体处理设备的气体分配装置及其导流件，导流件设置在半导体处理设备中的气体分配装置中，气体分配装置包含气体源以及连接气体源的气体分配管路，气体分配管路包含主管路和调节管路，导流件包含一气体通道，用于连接主管路和调节管路，调节管路中的调节气体从气体通道流入主管路，气体通道的出气方向与主管路中的主气体的出气方向不垂直。本实用新型在气体汇流时令小流量气体的气流方向与大流量气体的气流方向保持同向，使得大流量气体推动小流量气体流动，防止大流量气体堵住小流量气体，从而实现小流量气体对工艺的调节。
一种用于半导体处理设备气体分配装置及其导流

[实用新型]一种气体流量切换系统及气体流量计-CN202221817932.1有效
发明人：刘嘉俊;班鲁;邱利明;张颖;陈克礼 -专利权人：深圳国技仪器有限公司
申请日： 2022-07-14 - 公布日： 2022-11-08 - 主分类号： G01F11/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种气体流量切换系统及气体流量计，包括上腔体和下腔体，上腔体、下腔体分别连通设有出气嘴、进气嘴，上腔体和下腔体通过连通腔连通设置，上腔体内设有开闭件；下腔体连通设有进气管路，进气管路上设有用于切换大流量和小流量进气体的进气换向切换阀，进气换向切换阀分别与大活塞筒的底部、小活塞筒的底部连通，小活塞筒、大活塞筒内分别间隙密封设有小活塞、大活塞；上腔体连通设有出气管路，出气管路上设有用于切换大流量和小流量出气体的出气换向切换阀，出气换向切换阀分别与大活塞筒的顶部、小活塞筒的顶部连通；大活塞筒与小活塞筒的旁边设有光电传感器。本实用新型可以对小流量气体、大流量气体进行测量，具有宽量程的优点。
一种气体流量切换系统流量计

[实用新型]小流量气体纯化装置-CN201520634460.X有效
发明人：江晓松 -专利权人：先普半导体技术(上海)有限公司
申请日： 2015-08-21 - 公布日： 2015-12-30 - 主分类号： B01D46/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种小流量气体纯化装置，包括纯化装置本体，纯化装置本体上设有一个进气端和一个出气端，纯化装置本体内设有颗粒状的气体纯化材料，还包括若干隔板，隔板间隔设置在纯化装置本体内并将纯化装置本体分隔成本实用新型通过设置若干隔板，使气体纯化装置内部成为S型弯曲的流道，减小了纯化通道的内径，同时增大了纯化通道的长度，这样的结构可以提高纯化装置内气体纯化材料的利用率，在同等纯化材料重量的情况下，延长持续纯化时间
流量气体纯化装置

[实用新型]小流量气体采样器-CN201922023505.0有效
发明人：赵同帅 -专利权人：山东鲁为检测技术服务有限公司
申请日： 2019-11-21 - 公布日： 2020-08-11 - 主分类号： G01N1/22 文献下载
摘要：本实用新型公开了小流量气体采样器，包括平台和小流量气体采样器主体，所述平台顶部的右侧安装有小流量气体采样器主体，所述平台顶部的左侧设置有采集瓶架，且采集瓶架的底部开设有插口，所述平台顶部的左侧焊接有固定机构
流量气体采样

[发明专利]流量计-CN98812252.9无效
发明人：温井一光;加藤秀男;田代健;小牧充典;松下雅彦;山田一博 -专利权人：东京瓦斯株式会社
申请日： 1998-10-16 - 公布日： 2004-01-21 - 主分类号： G01F7/00 文献下载
摘要：提供一种可以在宽的流量范围上精确测定流量的流量计。在配管(10)的流路(13)内设置小流量用测量区域(15)和大流量用测量区域(16)。在小流量用测量区域(15)内，设置将流路(13)分割为多个小流路(14A)并对气体(20)的流进行整流的整流过滤器(14)。分别流过多个小流路(14A)的气体(20)的各平均流速基本相等。气体(20)的一部分，到达在小流量用流速传感器(15a、15b)的两侧立式设置的喷嘴(22a、22b)，借助于该喷嘴的作用进行加速。小流量用测量区域(15)的小流量用流速传感器(15a、15b)，在小流量区段上，输出与通过小流路(14A)并由喷嘴(22a、22b)加速后的气体(20)的流速对应的信号，大流量用测量区域(16)的大流量用流速传感器(16a、16b)，在大量区段上，输出与气体(20)的流速对应的信号。
流量计

[发明专利]小流量气体流量计的检定装置-CN201410734047.0在审
发明人：王杏玉 -专利权人：常州市晨通电信设备厂(普通合伙)
申请日： 2014-12-03 - 公布日： 2016-08-24 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本发明公开了一种小流量气体流量计的检定装置，包括通过连接管路顺序连接的压缩气源供应装置、质量流量计、主标准器和被检气体流量计，还包括调节阀和工控设备，所述主标准器是活塞式气体流量计，所述调节阀设置于压缩气源供应装置与质量流量计之间的连接管路上，所述工控设备通过数据线分别与调节阀、质量流量计、活塞式气体流量计和被检气体流量计相连。本发明的小流量气体流量计的检定装置能够达到的准确度等级为0.05级，相对比于钟罩式(0.2级或以下)、标准表法(0.25级或以下)检定装置具有很高的优越性，非常适用于小流量气体流量计的检定。
流量气体流量计检定装置

[发明专利]用于气体燃料的储存交接系统和方法-CN201310001528.6无效
发明人： J.V.海恩斯;B.M.加拉赫 -专利权人：通用电气公司
申请日： 2013-01-04 - 公布日： 2013-07-10 - 主分类号： F02C7/22 文献下载
摘要：本发明涉及用于气体燃料的储存交接系统和方法，该系统包括被配置成将来自气体供应的气体燃料交接到燃气涡轮机的储存交接系统。所述储存交接系统包括彼此并联运行的多个小流量计，所述小流量计的每一个被配置成获得流动通过所述储存交接系统的气体燃料的流率的一部分的量度。所述储存交接系统还包括与所述多个小流量计串联的大流量计，所述大流量计被配置成获得从所述多个小流量计流动的气体燃料的流率的量度。另外，所述储存交接系统包括联接到所述小流量计和所述大流量计的每一个的通信电路，所述通信电路被配置成将计量度量提供给流量计算机。
用于气体燃料储存交接系统方法

[实用新型]小流量气体流量计的检定装置-CN201420153465.6有效
发明人：梁芳;朱锐;塔依尔·斯拉甫力;黄湘来;郑云林;蔡勤 -专利权人：新疆维吾尔自治区计量测试研究院
申请日： 2014-03-31 - 公布日： 2014-08-06 - 主分类号： G01F25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种小流量气体流量计的检定装置，包括通过连接管路顺序连接的压缩气源供应装置、质量流量计、主标准器和被检气体流量计，还包括调节阀和工控设备，所述主标准器是活塞式气体流量计，所述调节阀设置于压缩气源供应装置与质量流量计之间的连接管路上，所述工控设备通过数据线分别与调节阀、质量流量计、活塞式气体流量计和被检气体流量计相连。本实用新型的小流量气体流量计的检定装置能够达到的准确度等级为0.05级，相对比于钟罩式（0.2级或以下）、标准表法（0.25级或以下）检定装置具有很高的优越性，非常适用于小流量气体流量计的检定。
流量气体流量计检定装置

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