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- [发明专利]半导体图形化方法-CN201310365836.7有效
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尚飞;何其暘
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中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
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2013-08-20
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2017-11-03
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H01L21/02
- 一种半导体图形化方法，包括提供半导体衬底，所述半导体衬底上具有功能层；在所述功能层上按预设宽度形成多个牺牲图案；获取所述牺牲图案的实际宽度和相邻所述牺牲图案的实际间距的至少其中之一；在所述牺牲图案的侧面形成侧墙，调控所述侧墙的实际宽度或者相邻所述侧墙的实际间距，直至相邻所述侧墙的实际间距相等；去除所述牺牲图案；以所述侧墙为掩模蚀刻所述功能层形成功能图案，调控所述功能层的实际宽度等于所述功能层的预设宽度。本发明所提供的半导体图形化方法形成的功能图案不存在间距奇偶效应，从而保证以后续所形成的半导体器件不出现偏差，进而提高半导体器件的有效率。
- 半导体图形方法
- [发明专利]锂电池隔膜生产线控制方法-CN202110502990.9有效
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许伟;金孝猛;焦修鹏;熊大伟
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南京力步机械有限公司
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2021-05-10
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2021-07-16
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G05D23/20
- 本发明提供了一种锂电池隔膜生产线控制方法，包括：确定生产线中待监测的参数；获取辊筒的实际显示温度和烘箱的实际显示温度，并通过第一PID参数对辊筒的实际显示温度进行调整，以使辊筒的实际显示温度达到辊筒的实际设定温度，通过第二PID参数对烘箱的实际显示温度进行调整，以使烘箱的实际显示温度达到烘箱的实际设定温度；获取当前的生产模式信息，并确定生产模式信息对应的速比设定配方，控制基准轴根据速比设定配方进行加速或者降速；获取生产线的多个功能区中每个功能区的实际膜面张力，对各个功能区分别进行控制，以使得各个功能区的实际膜面张力达到对应的设定膜面张力；确定生产线的机械基本参数和污点信息和确定电量信息。
- 锂电池隔膜生产线控制方法
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