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- [实用新型]多瓣石墨坩埚-CN201020143814.8无效
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周俭
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上海杰姆斯电子材料有限公司
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2010-03-29
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2011-03-09
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C30B15/10
- 本实用新型涉及一种多瓣石墨坩埚,呈圆筒状,所述石墨坩埚的埚体由竖向的大小相同的至少三瓣瓣体及一个底盘围成,所述底盘的顶面为一弧面,所述底盘的直径占所述埚体开口部直径的比例为二分之一或以上,优选比例为三分之二本实用新型所述的多瓣石墨坩埚,改变了原有的石墨坩埚埚体结构,增加了一个底盘,同时控制底盘的直径及瓣体的数量,这样,可大幅度提高石墨坩埚的受力能力,延长石墨坩埚的寿命一至两倍,降低生产成本。
- 石墨坩埚
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