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[发明专利]硅棒多工位加工机及硅棒多工位加工方法-CN201710357288.1在审
发明人：卢建伟;李鑫 -专利权人：浙江集英精密机器有限公司
申请日： 2017-05-19 - 公布日： 2018-12-07 - 主分类号： B24B27/00 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒多工位加工机及硅棒多工位加工方法，该硅棒多工位加工机包括：机座，具有硅棒加工平台；硅棒装卸装置，用于在硅棒加工平台的预处理区位进行硅棒的装卸作业；第一加工装置，用于对硅棒加工平台的第一加工区位上的硅棒进行第一加工作业；第二加工装置，用于对硅棒加工平台的第二加工区位上的硅棒进行第二加工作业；硅棒转换装置，用于将硅棒在预处理区位、第一加工区位以及第二加工区位之间转换。本申请硅棒多工位加工机，集合了多个加工装置，将硅棒快速、平稳且无损伤地在各个加工区位间进行转换，能自动化实现硅棒加工的多个加工作业，各个加工作业无缝衔接，节省人工成本且提高生产效率，提高硅棒加工作业的品质
硅棒区位硅棒加工加工多工位加工机加工装置预处理多工位加工人工成本生产效率无缝衔接转换装置装卸装置装卸作业无损伤转换机座申请自动化集合

[实用新型]硅棒开方机-CN202020438637.X有效
发明人：潘雪明;李鑫;钱春军;曹奇峰;张峰;朱勤超;梁文;吴张琪;俞佳文 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒开方机，包括机座、硅棒承载装置和线切割装置；其中，对线切割单元中每一中间切割轮配置以过渡轮，基于中间切割轮与过渡轮的位置确定绕线方式使得每两个中间切割轮之间即可形成一段切割线锯，可提高切割线的使用率，实现对多根硅棒的同时加工，在提高效率、降低设备成本的同时确保加工精度。
开方

[实用新型]硅棒开方机-CN202020440317.8有效
发明人：潘雪明;李鑫;钱春军;曹奇峰;张峰;朱勤超;梁文;吴张琪;俞佳文 -专利权人：天通日进精密技术有限公司
申请日： 2020-03-30 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本申请公开一种硅棒开方机，包括机座、硅棒承载装置和线切割装置；其中，对线切割单元中每一中间切割轮配置以过渡轮，基于中间切割轮与过渡轮的位置确定绕线方式使得每两个中间切割轮之间即可形成一段切割线锯，可提高切割线的使用率，实现对多根硅棒的同时加工，在提高效率、降低设备成本的同时确保加工精度。
开方

[实用新型]一种单晶硅截断机-CN201620055181.2有效
发明人：段景波;解培玉;崔陈晨;孙萌;杨勇;李浩;唐顺锋 -专利权人：青岛高测科技股份有限公司
申请日： 2016-01-20 - 公布日： 2016-08-31 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶硅截断机，包括底座、分别安装于底座左右两侧的绕线室、安装于绕线室之间的切割室、安装于底座一侧的控制柜、用于提供切割丝正常切割的冷却喷淋装置，所述单晶硅截断机还包括用于设备防护的防护装置和用于设备操控的操控装置本实用新型能够实现一根硅棒同时切割成多段的要求，可实现切割较长约4.5米单晶硅棒的需求，切割后硅棒的段长误差也较小，切割完成后还可以实现自动退丝。此外，本实用新型还可自适应单晶硅棒的不同直径变化，将硅棒进行定位并进行可靠装夹，并对硅棒进行固定支撑锁紧，从而保证切割完成后硅棒的稳定性，避免硅棒切割完成后出现位移或下坠，提高了切割效率和切割质量。
一种单晶硅截断

[实用新型]一种插销式硅舟-CN201721824924.9有效
发明人：任怡斌;李长苏;祝建敏 -专利权人：杭州大和热磁电子有限公司
申请日： 2017-12-22 - 公布日： 2018-08-31 - 主分类号： H01L21/673 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种插销式硅舟，包括法兰、天板、置于两者之间的若干硅齿棒和用于固定硅齿棒端部的定位插销，硅齿棒内侧设有多个等距且相互平行的沟齿，硅片插入并搁置于所述沟齿上，本实用新型采用平行设置的法兰和天板，配以中间支撑的多根硅齿棒，形成上下排布且高密度存放的硅片容置槽，可根据工艺需要选用不同数量沟齿的硅齿棒来承接硅片，既满足不同需求的加工要求，又能减少硅片与硅舟的接触面积，而且采用定位插销对硅齿棒端部进行定位锁止，消除了采用滴胶粘结可能发生的脱胶和污染，提高了硅舟的结构可靠性和装配牢固度。
齿棒硅片硅舟沟齿本实用新型定位插销插销式法兰天板结构可靠性平行设置上下排布中间支撑定位锁牢固度容置槽等距滴胶脱胶粘结搁置平行装配承接加工污染

[发明专利]搬出夹具、搬出方法以及硅棒的制造方法-CN202080028504.8在审
发明人：阪井纯也;川口一博 -专利权人：株式会社德山
申请日： 2020-04-15 - 公布日： 2021-12-10 - 主分类号： C01B33/035 文献下载
摘要：搬出夹具(1)，包括：支撑部(20)，其被吊起以搬出硅棒(10)，并通过夹持硅棒(10)的前端部(15)以支撑硅棒(10)；第一绳(30)，其存在与硅棒(10)的根数至少相同的根数以上，且用于将支撑部(20)吊起；以及第二绳(40)，其通过卷绕至硅棒(10)以保持硅棒(10)。
搬出夹具方法以及制造

[发明专利]一种还原炉底盘结构-CN201911312023.5在审
发明人：彭建涛;汤晓英;薛小龙;茅陆荣;陈宏伟;杜彦楠 -专利权人：上海市特种设备监督检验技术研究院;上海森松新能源设备有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2020-04-21 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本发明涉及一种还原炉底盘结构，包括底盘主体(1)、从内到外依次布置在底盘主体(1)上的若干组硅棒(2)，以及布置在底盘主体(1)上的进气口(3)和出气口(4)，每组硅棒(2)由多对硅棒(2)围成一个同心圆，任意相邻两组硅棒之间的间距相等，并记为SA，同一组硅棒(2)中，任意一对硅棒(2)的两个硅棒(2)的间距记为SB，分别处于不同对硅棒(2)的任意相邻两个硅棒(2)的间距记为SC，且SB不等于SC。与现有技术相比，本发明通过控制同心圆间距相等，使得层间硅棒相互辐射距离相近，从而使得每根硅棒周围相互辐射热相互接近，同时采用进出气均匀分布的方式，保证温度场和流场的均匀，并且解决了大炉型的布棒尺寸大的问题
一种还原底盘结构

[实用新型]还原炉底盘结构-CN201922284771.9有效
发明人：彭建涛;汤晓英;薛小龙;茅陆荣;陈宏伟;杜彦楠 -专利权人：上海市特种设备监督检验技术研究院;上海森松新能源设备有限公司
申请日： 2019-12-18 - 公布日： 2021-02-09 - 主分类号： C01B33/021 文献下载
摘要：本实用新型涉及还原炉底盘结构，包括底盘主体(1)、从内到外依次布置在底盘主体(1)上的若干组硅棒(2)，以及布置在底盘主体(1)上的进气口(3)和出气口(4)，每组硅棒(2)由多对硅棒(2)围成一个同心圆，任意相邻两组硅棒之间的间距相等，并记为SA，同一组硅棒(2)中，任意一对硅棒(2)的两个硅棒(2)的间距记为SB，分别处于不同对硅棒(2)的任意相邻两个硅棒(2)的间距记为SC，且SB不等于SC。与现有技术相比，本实用新型通过控制同心圆间距相等，使得层间硅棒相互辐射距离相近，从而使得每根硅棒周围相互辐射热相互接近，采用进出气均匀分布的方式，保证温度场和流场的均匀，解决了大炉型的布棒尺寸大的问题。
还原底盘结构

[发明专利]硅棒截断机及截断方法-CN201610345643.9有效
发明人：卢建伟 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2017-10-13 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅棒截断机及截断方法，硅棒截断机包括送料设备，用于将待切割的硅棒输送至待上料区域；截断设备，衔接送料设备，用于对由送料设备自待上料区域输送过来的待切割的硅棒进行截断作业；截断设备，包括机座；硅棒输送台，设于机座，用于承载待切割的硅棒并驱动硅棒沿着硅棒的轴向进行输送；轴心调节机构，设于硅棒输送台上，用于将硅棒的轴心调成水平状态；多个线切割单元，设于机座上且可升降地设于硅棒输送台的上方，用于将待切割的硅棒切割为多段硅棒截段待切割的硅棒通过送料设备输送至待上料区域，多个线切割单元可同时将待切割的硅棒切割成多段，多段硅棒截段由硅棒输送台移出到收料台进行依序卸料。
截断方法

[发明专利]制备低内应力区熔用电子级多晶硅的系统和方法-CN202010120753.1有效
发明人：吴锋;李明峰;赵培芝;高召帅;韩锋 -专利权人：江苏鑫华半导体科技股份有限公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2023-09-22 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本发明公开了制备低内应力区熔用电子级多晶硅的系统和方法。其中，制备低内应力区熔用电子级多晶硅的系统包括：多晶硅还原炉，所述多晶硅还原炉内设有底板、多个石墨夹头、多对硅棒，所述硅棒通过所述石墨夹头设在所述底板上；所述多对硅棒包括多对内圈硅棒和多对外圈硅棒，每对所述硅棒包括1个横梁和2个棒体；多个内圈硅棒棒径检测单元，所述内圈硅棒棒径检测单元与所述内圈硅棒相连；三氯氢硅‑氢气进料管线，所述三氯氢硅‑氢气料管线与所述多晶硅还原炉相连；多个二氯二氢硅‑氢气进料喷口，所述二氯二氢硅‑氢气进料喷口布置在所述内圈硅棒的横梁与所述底板中心的连线上。该系统可以产出内应力较小区熔用电子级多晶硅产品。
制备内应力用电多晶系统方法

[实用新型]制备低内应力区熔用电子级多晶硅的系统-CN202020217188.6有效
发明人：吴锋;李明峰;赵培芝;高召帅;韩锋 -专利权人：江苏鑫华半导体材料科技有限公司
申请日： 2020-02-26 - 公布日： 2020-12-18 - 主分类号： C30B25/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了制备低内应力区熔用电子级多晶硅的系统。该低内应力制备区熔用电子级多晶硅的系统包括：多晶硅还原炉，所述多晶硅还原炉内设有底板、多个石墨夹头、多对硅棒，所述硅棒通过所述石墨夹头设在所述底板上；所述多对硅棒包括多对内圈硅棒和多对外圈硅棒，每对所述硅棒包括1个横梁和2个棒体；多个内圈硅棒棒径检测单元，所述内圈硅棒棒径检测单元与所述内圈硅棒相连；三氯氢硅‑氢气进料管线，所述三氯氢硅‑氢气料管线与所述多晶硅还原炉相连；多个二氯二氢硅‑氢气进料喷口，所述二氯二氢硅‑氢气进料喷口布置在所述内圈硅棒的横梁与所述底板中心的连线上。该系统可以产出内应力较小区熔用电子级多晶硅产品。
制备内应力用电多晶系统

[发明专利]一种晶棒在多线切割机中的安装方法-CN201010139870.9无效
发明人：徐增宏;周景文 -专利权人：浙江硅宏电子科技有限公司
申请日： 2010-04-01 - 公布日： 2010-11-10 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本发明涉及一种晶棒在多线切割机中的安装方法，该方法在安装晶棒时，先使两根晶棒的一端对齐，之后，将位于进刀线一侧的两根晶棒的另一端略微超出线网即可。采用本发明方法，可以减少因跳线甚至断线而产生的次品，且在一端对齐的情况下，可以降低硅料的损失。
一种切割机中的安装方法

[实用新型]硅棒截断机-CN201620474937.7有效
发明人：卢建伟 -专利权人：上海日进机床有限公司
申请日： 2016-05-23 - 公布日： 2016-10-12 - 主分类号： B28D5/04 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅棒截断机，包括：送料设备，用于将待切割的硅棒输送至待上料区域；截断设备，衔接送料设备，用于对由送料设备自待上料区域输送过来的待切割的硅棒进行截断作业；截断设备，包括：机座；硅棒输送台，设于机座，用于承载待切割的硅棒并驱动硅棒沿着硅棒的轴向进行输送；轴心调节机构，设于硅棒输送台上，用于将硅棒的轴心调成水平状态；多个线切割单元，设于机座上且可升降地设于硅棒输送台的上方，用于将待切割的硅棒切割为多段硅棒截段待切割的硅棒通过送料设备输送至待上料区域，多个线切割单元可同时将待切割的硅棒切割成多段，多段硅棒截段由硅棒输送台移出到收料台进行依序卸料。
截断

[发明专利]硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构-CN201010285968.5无效
发明人：张江城;靳忠磊;邹志勇;刘添华 -专利权人：山东伟基炭科技有限公司
申请日： 2010-09-19 - 公布日： 2011-02-23 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本发明公开了一种硅芯棒，属于西门子法生产多晶硅技术领域。其为长条状，其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。本发明还公开了一种用于多晶硅生长的硅芯结构，其包括两根竖硅芯棒(1)，横向搭接在两根竖硅芯棒(1)顶端的横硅芯棒(2)，所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的横截面均为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状，所述两根竖硅芯棒(1)的顶端具有与所述横硅芯棒(2)外表面形状相适配的形状。本发明通过对硅芯棒的形状进行特殊设计，使得硅芯棒的表面积增大，多晶硅在反应初期的沉积面积增大，有利于提高多晶硅的初期生长速率和转换率，并降低能耗。
硅芯棒用于多晶生长结构

[实用新型]硅芯棒及用于多晶硅生长的硅芯结构-CN201020534548.1有效
发明人：张江城;靳忠磊;邹志勇;刘添华 -专利权人：山东伟基炭科技有限公司
申请日： 2010-09-19 - 公布日： 2011-05-11 - 主分类号： C30B28/14 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种硅芯棒，属于西门子法生产多晶硅技术领域。其为长条状，其横截面为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状。本实用新型还公开了一种用于多晶硅生长的硅芯结构，其包括两根竖硅芯棒(1)，横向搭接在两根竖硅芯棒(1)顶端的横硅芯棒(2)，所述横硅芯棒(2)和竖硅芯棒(1)的横截面均为具有至少一个弧状弯曲部的弯曲状，所述两根竖硅芯棒(1)的顶端具有与所述横硅芯棒(2)外表面形状相适配的形状。本实用新型通过对硅芯棒的形状进行特殊设计，使得硅芯棒的表面积增大，多晶硅在反应初期的沉积面积增大，有利于提高多晶硅的初期生长速率和转换率，并降低能耗。
硅芯棒用于多晶生长结构