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- [发明专利]基板输送装置以及基板输送方法-CN202010595936.9在审
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堀内庆太;前田幸治;高梨守弘
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东京毅力科创株式会社
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2020-06-24
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2021-01-05
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H01L21/67
- 本发明提供基板输送装置以及基板输送方法。使借助中间室连结了多个真空输送室的基板输送装置小型化。基板输送装置输送基板，具有：多个真空输送室，均在内部设有保持基板并对其进行输送的基板输送机构；和中间室，配设在互相相邻的所述真空输送室之间，在将所述互相相邻的所述真空输送室中的一者设为第1真空输送室、将另一者设为第2真空输送室时，在所述中间室和所述第1真空输送室之间设有第1基板送入送出口，在所述中间室和所述第2真空输送室之间设有第2基板送入送出口，针对所述第1基板送入送出口和第2基板送入送出口中的仅所述第2基板送入送出口配设闸阀，所述第1基板送入送出口和所述第2基板送入送出口在高度方向上的位置不同。
- 输送装置以及方法
- [发明专利]基板输送装置和基板输送方法-CN202210801115.5在审
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辻桥辰彦;榎木田卓;松下和辉
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东京毅力科创株式会社
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2022-07-08
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2023-01-17
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H01L21/677
- 本发明对能够更可靠地保持基板而抑制基板的位置偏移的基板输送装置和基板输送方法进行说明。基板输送装置包括以保持基板的方式构成的基板保持部。基板保持部包括：以在载置面开口的方式设置的第1吸引孔和第2吸引孔；分别配置在第1吸引孔和第2吸引孔内的第1突起部和第2突起部；和以从载置面向上方突出的方式分别设置在第1吸引孔和第2吸引孔的附近的第1支承部和第第1突起部构成为，通过被第1弹性部件向上方施力，从第1吸引孔向上方突出，并且在没有保持基板的状态下封闭第1吸引孔。第2突起部构成为，通过被第2弹性部件向上方施力，从第2吸引孔向上方突出，并且在没有保持基板的状态下封闭第2吸引孔。
- 输送装置方法
- [发明专利]基板输送装置、基板的输送方法-CN201410045181.X有效
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小浜次郎;石本达也;岩濑温资
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JUKI株式会社
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2014-02-07
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2018-04-20
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H05K13/02
- 本发明提供一种基板输送装置、基板的输送方法，其不会使部件个数以及成本增加，实现装置的紧凑化。该基板输送装置（14）向搭载电子部件的中心区域（A）输送基板（W），在中心区域中将基板保持在规定的高度，其具有多个输送部（41、46），将中心区域在输送方向上分为多个分割区域（A1、A2），上述多个输送部与多个分割区域分别对应地设置；以及升降机构（61），其通过使设置有与多个输送部对应的多个侧梁部（63、66）的支撑工作台（62），经由多个侧梁部支撑多个输送部，从而能够实现多个输送部的升降，升降机构通过从支撑多个输送部的支撑位置使一部分的侧梁部移动，从而选择性地使多个输送部上升至规定的高度。
- 输送装置方法
- [发明专利]基板输送装置以及基板输送方法-CN201010268514.7有效
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大塚庆崇;宫崎文宏;中满孝志;高木贵生
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东京毅力科创株式会社
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2010-08-30
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2011-04-06
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H01L21/677
- 本发明提供一种基板输送装置以及基板输送方法，不用停止基板的输送而将其从浮起台运出，抑制产生对基板的被处理面的转印痕，能够提高生产能力。该基板输送装置具有将基板(G)以浮起的状态输送的浮起输送部(2A)以及配置在所述浮起输送部的后段，从所述浮起输送部取得所述基板，由输送滚体输送的滚动输送部(2B)。所述浮起输送部具有：使所述基板浮起的浮起台(3)；与所述浮起台的左右侧方平行配置并延伸到所述滚动输送部的左右侧方的导轨(5)；以及、沿所述导轨分别能够移动地设置，能够从下方吸附保持所述基板的缘部的基板载体(6)，所述基板由所述基板载体吸附保持，沿所述导轨输送，所述基板的前端到达所述滚动输送部的规定位置时，解除基板载体的吸附。
- 输送装置以及方法
- [发明专利]基板输送装置及基板输送方法-CN201110025022.X有效
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大塚庆崇;宫崎文宏;中满孝志
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东京毅力科创株式会社
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2011-01-21
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2011-08-17
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H01L21/683
- 本发明提供基板输送装置及基板输送方法，在以张的形式1张1张地水平输送被处理基板的基板处理装置中缩短了从基板搬入到输送开始的生产节拍时间并提高了生产率。该基板输送装置具有：悬浮用载物台，其使被处理基板悬浮；一对导轨，其平行配置在悬浮用载物台的左右侧方；多个基板载持件，其能分别沿着一对导轨移动，能从下方吸附保持基板的边缘部；对准部件，其相对于被搬入到悬浮用载物台的基板搬入位置的基板从待机位置到规定位置自由进退，与基板接触而将该基板配置在规定位置；基板支承部件，其在悬浮用载物台的基板搬入位置处从该基板的下方支承被对准部件配置在规定位置的基板；控制部，其控制基板载持件、对准部件及基板支承部件的动作。
- 输送装置方法
- [发明专利]基板输送方法及基板输送装置-CN201210063579.7有效
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山岸大祐;小山胜彦;佐藤正孝;竹内靖
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东京毅力科创株式会社
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2012-03-08
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2012-09-19
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H01L21/677
- 本发明提供基板输送方法和基板输送装置。该基板输送方法用于对由背面彼此相对的第1基板和第2基板隔着隔离构件层叠而成的层叠体进行输送，其包括下述工序：利用设在第1叉状件的一侧的第1夹持机构，自第1基板的背面的下方夹持第1基板来承接第1基板，使第1叉状件上下翻转而将承接的第1基板载置于第2叉状件，其中，第1叉状件设在第2叉状件的上方；利用与第1夹持机构设在第1叉状件的同一侧的第2夹持机构自隔离构件的上方夹持该隔离构件来承接该隔离构件，将承接的隔离构件载置在第1基板上；利用第1夹持机构自第2基板的表面的上方夹持该第2基板来承接第2基板，将承接的第2基板载置在已载置于第2叉状件的隔离构件上。
- 输送方法装置
- [发明专利]基板输送方法及基板输送装置-CN200610164150.1有效
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森川胜洋
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东京毅力科创株式会社
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2006-12-06
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2007-06-13
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H01L21/677
- 本发明是一种具备输送基板的输送臂、和从输送臂获取由输送臂输送的基板的载置机构的基板输送装置，具备：载置部检测装置，设在输送臂上，检测载置部；移动机构，使输送臂沿升降及水平方向移动；控制机构，根据来自载置部检测装置的检测信号控制移动机构在将由输送臂输送的基板交接给载置机构时，在载置部检测装置检测到旋转卡盘的载置部后，根据来自控制机构的控制信号驱动移动机构，使输送臂沿倾斜方向下降，将基板载置在载置部上。因而，能够高速且高精度地进行稳定的基板的输送以及向载置部的交接。
- 输送方法装置
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