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- [发明专利]晶圆传送设备-CN202310186561.4在审
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李舒驰;吴天尧;陈兴隆;苗涛
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沈阳芯源微电子设备股份有限公司
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2023-03-01
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2023-05-16
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H01L21/677
- 本发明提供了一种晶圆传送设备,包括传送装置和夹持执行装置;所述传送装置包括传动机构和位置测量器,所述位置测量器配置为测量所述传动机构的运动距离以监控所述传动机构的传动;所述夹持执行装置活动设置于所述传动机构,所述夹持执行装置用于夹持晶圆并在所述传动机构的驱动下沿传动路径运动。本发明公开的晶圆传送设备通过在传动机构上设置位置测量器,用于实时对传动机构的运动距离进行测量,并反馈至控制系统,便于工作人员实时的了解传动机构运动距离的准确性,从而保证了晶传送时位置的准确性,提高了晶圆传送的效率,避免晶圆传送时碰撞出现碎片的情况发生。
- 传送设备
- [发明专利]一种圆阴井内壁混凝土涂抹装置-CN202110349304.9有效
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贾燕;宋金灿;顾展飞
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郑州航空工业管理学院
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2021-03-31
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2023-03-21
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E02D29/12
- 本发明涉及一种圆阴井内壁混凝土涂抹装置,解决现有技术中在进行满焊时,板材容易变形,传统的夹具不易调整的问题;其解决的技术方案是:包括混凝土涂抹装置,储料桶以及涂抹驱动机构,所述混凝土涂抹装置与储料桶转动连接,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿圆阴井内壁做圆周运动,同时,同一水平位置至少一圈圆周运动后,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿圆阴井内壁向下移动;当混凝土涂抹装置圆周运动时接触到圆阴井内壁的突出端时,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置做反向圆周运动,当混凝土涂抹装置与突出端至少接触次后,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿圆阴井内壁向下移动;本发明构思新颖,结构巧妙,实用性强。
- 一种圆阴井内壁混凝土涂抹装置
- [实用新型]一种弹簧加载式圆竹弯曲设备-CN202120372698.5有效
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王雪花;马静文;朱骏杰
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南京林业大学
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2021-02-08
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2021-12-07
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B27J1/00
- 本实用新型公开了一种弹簧加载式圆竹弯曲设备,属于竹木加工技术领域。该设备包括机架、设置在所述机架上的弯曲管道和弯曲施力旋臂、设置在所述弯曲管道中的拉伸弹簧;所述拉伸弹簧具有固定端和运动端,所述弯曲施力旋臂具有铰接端和转动端;所述固定端与弯曲管道连接,所述运动端与转动端连接,所述铰接端铰接在机架上;所述弯曲管道上开有沿弯曲管道延伸方向的通槽,使得所述弯曲施力旋臂能够拉动运动端沿着弯曲管道运动。本实用新型在对圆竹进行弯曲时,能够使得圆竹受力均匀,不易出现断裂的现象,提高了圆竹弯曲构件的质量,并降低了资源的浪费,有效地提高了圆竹弯曲的生产效率,适用于工业生产。
- 一种弹簧加载式圆竹弯曲设备
- [实用新型]一种12寸晶圆炉管搬运治具-CN202220546832.3有效
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周小琳
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苏州金琳芯半导体科技有限公司
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2022-03-14
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2022-07-19
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B62B3/02
- 本实用新型涉及晶圆技术领域,且公开了一种12寸晶圆炉管搬运治具,包括底板,所述底板的底部安装有支撑轮,所述底板的顶部安装有拉杆,所述底板的顶部固定连接有固定柱,所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆,所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带该12寸晶圆炉管搬运治具,转动调节盘,此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动,进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动,推动把手,滑动板可以在升降滑槽的内部运动,从而达到了便于调节高度和位置方便晶圆炉管搬运的效果转动旋钮,此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动,进一步使得两个固定板相互靠近,从而达到了便于对不同尺寸的晶圆炉管进行固定的效果。
- 一种12寸晶圆炉管搬运
- [发明专利]晶圆边缘的处理装置和系统-CN201210431145.8有效
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袁超
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上海集成电路研发中心有限公司
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2012-11-01
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2017-06-23
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H01L21/02
- 本发明公开了一种晶圆边缘的处理装置和系统,属于半导体技术领域。该装置包括晶圆放置区,用于放置晶圆;溶液容纳单元,用于盛放溶液,设置在所述晶圆放置区下方;边缘处理单元,用于通过自身运动携带所述溶液容纳单元中溶液以清洗或腐蚀所述晶圆的边缘,设置在所述晶圆放置区和所述溶液容纳单元之间且使所述边缘处理单元自身运动时可携带上所述溶液容纳单元中溶液的位置上;控制单元,用于控制所述边缘处理单元对所述晶圆进行清洗或腐蚀。本发明使用同一设备既可以对晶圆的边缘进行清洗和腐蚀等处理,最终降低了晶圆处理的成本。
- 边缘处理装置系统
- [实用新型]磨削装置-CN201620181014.2有效
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井沢毅司;朴木继雄
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三菱电机株式会社
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2016-03-09
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2016-08-24
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B24B5/04
- 本实用新型提供利用外圆磨床在轴的推力面形成任意的连续的微小曲面形状的磨削加工方法以及磨削装置。本实用新型所涉及的磨削加工方法使用外圆磨床,该外圆磨床具备:主轴,其保持筒形状的被磨削物并使其旋转;外圆磨削砂轮,其对被磨削物进行磨削;以及外圆磨削砂轮输送轴,其使外圆磨削砂轮平行移动,在该外圆磨床中,外圆磨削砂轮输送轴配置为其与主轴的旋转轴交叉的角度超过90°并在100°以下,所述磨削加工方法具有使主轴的旋转运动与外圆磨削砂轮的往复运动同步而在推力面形成任意的连续的微小曲面形状的工序。
- 磨削装置
- [实用新型]晶圆清洗机-CN202022660959.1有效
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唐君;阙进林;李永祥;成林
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苏州中辉半导体设备有限公司
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2020-11-17
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2022-01-28
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B08B3/02
- 本实用新型公开了一种晶圆清洗机,包括:底板、晶圆卡盘和多个喷淋臂;所述喷淋臂的第一端可转动设置于所述底板的上表面,第二端设置有喷头,在所述底板的下表面设置有用于驱动所述喷淋臂做转动和上下运动的第一驱动装置,所述喷头用于提供清洗晶圆的液体和干燥晶圆的气体;所述底板上设置有开口朝上的第一凹部,所述晶圆卡盘位于所述第一凹部中,在所述底板设置有第二驱动装置,第二驱动装置能够驱动所述晶圆卡盘做上下运动且为晶圆卡盘提供吸力该晶圆清洗机能够对晶圆进行清洗。
- 清洗
- [发明专利]起落架系统-CN201210048066.9有效
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J·D·科泰特
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波音公司
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2012-02-28
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2012-10-17
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B64C25/58
- 第一圆筒和第二圆筒沿轴线相对彼此运动,该轴线通过第一圆筒和第二圆筒中心延伸,以便第一圆筒和第二圆筒处于延伸位置。响应第一圆筒和第二圆筒处于延伸位置,基本阻止流体在第一腔室和第二腔室之间流动,其中第一腔室在第一圆筒和第二圆筒之间形成,第二腔室处于第一圆筒和第二圆筒的内部。响应于向第一腔室施加的压力,第一圆筒和第二圆筒相对彼此沿轴线运动,以便降低第一圆筒和第二圆筒的长度。
- 起落架系统
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