专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]一种晶片干燥装置-CN202210229552.4有效
  • 杨仕品;孙先淼 - 智程半导体设备科技(昆山)有限公司
  • 2022-03-10 - 2022-07-19 - F26B11/18
  • 本发明公开了一种晶片干燥装置,包括机架,以及设置在机架上用于夹持晶片的夹持架和用于干燥晶片的干燥组件,夹持架与机架可拆连接;夹持架包括伸缩框架和多个用于套固晶片的晶套,各晶套与伸缩框架转动连接,各晶套的旋转轴线与伸缩框架的伸缩方向垂直,多个晶套沿伸缩框架伸长方向均匀设置,伸缩框架运动时带动晶运动;伸缩框架展开完成时,晶套旋转轴线之间的距离大于晶套的外径。本装置将多个晶片集成收纳,并一同进行干燥,减少了工作人员的等待和现场放置晶片带来的辅助时间,可有效提高劳动效率。
  • 一种晶圆片干燥装置
  • [发明专利]传送设备-CN202310186561.4在审
  • 李舒驰;吴天尧;陈兴隆;苗涛 - 沈阳芯源微电子设备股份有限公司
  • 2023-03-01 - 2023-05-16 - H01L21/677
  • 本发明提供了一种晶传送设备,包括传送装置和夹持执行装置;所述传送装置包括传动机构和位置测量器,所述位置测量器配置为测量所述传动机构的运动距离以监控所述传动机构的传动;所述夹持执行装置活动设置于所述传动机构,所述夹持执行装置用于夹持晶并在所述传动机构的驱动下沿传动路径运动。本发明公开的晶传送设备通过在传动机构上设置位置测量器,用于实时对传动机构的运动距离进行测量,并反馈至控制系统,便于工作人员实时的了解传动机构运动距离的准确性,从而保证了晶传送时位置的准确性,提高了晶传送的效率,避免晶传送时碰撞出现碎片的情况发生。
  • 传送设备
  • [发明专利]一种阴井内壁混凝土涂抹装置-CN202110349304.9有效
  • 贾燕;宋金灿;顾展飞 - 郑州航空工业管理学院
  • 2021-03-31 - 2023-03-21 - E02D29/12
  • 本发明涉及一种阴井内壁混凝土涂抹装置,解决现有技术中在进行满焊时,板材容易变形,传统的夹具不易调整的问题;其解决的技术方案是:包括混凝土涂抹装置,储料桶以及涂抹驱动机构,所述混凝土涂抹装置与储料桶转动连接,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿阴井内壁做圆周运动,同时,同一水平位置至少一圈圆周运动后,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿阴井内壁向下移动;当混凝土涂抹装置圆周运动时接触到阴井内壁的突出端时,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置做反向圆周运动,当混凝土涂抹装置与突出端至少接触次后,所述涂抹驱动机构驱动混凝土涂抹装置沿阴井内壁向下移动;本发明构思新颖,结构巧妙,实用性强。
  • 一种圆阴井内壁混凝土涂抹装置
  • [实用新型]一种弹簧加载式竹弯曲设备-CN202120372698.5有效
  • 王雪花;马静文;朱骏杰 - 南京林业大学
  • 2021-02-08 - 2021-12-07 - B27J1/00
  • 本实用新型公开了一种弹簧加载式竹弯曲设备,属于竹木加工技术领域。该设备包括机架、设置在所述机架上的弯曲管道和弯曲施力旋臂、设置在所述弯曲管道中的拉伸弹簧;所述拉伸弹簧具有固定端和运动端,所述弯曲施力旋臂具有铰接端和转动端;所述固定端与弯曲管道连接,所述运动端与转动端连接,所述铰接端铰接在机架上;所述弯曲管道上开有沿弯曲管道延伸方向的通槽,使得所述弯曲施力旋臂能够拉动运动端沿着弯曲管道运动。本实用新型在对竹进行弯曲时,能够使得竹受力均匀,不易出现断裂的现象,提高了竹弯曲构件的质量,并降低了资源的浪费,有效地提高了竹弯曲的生产效率,适用于工业生产。
  • 一种弹簧加载式圆竹弯曲设备
  • [实用新型]一种12寸晶炉管搬运治具-CN202220546832.3有效
  • 周小琳 - 苏州金琳芯半导体科技有限公司
  • 2022-03-14 - 2022-07-19 - B62B3/02
  • 本实用新型涉及晶技术领域,且公开了一种12寸晶炉管搬运治具,包括底板,所述底板的底部安装有支撑轮,所述底板的顶部安装有拉杆,所述底板的顶部固定连接有固定柱,所述固定柱的内部螺纹连接有升降丝杆,所述升降丝杆的外壁传动连接有皮带该12寸晶炉管搬运治具,转动调节盘,此时升降丝杆在固定柱的内部上下运动,进一步使得升降滑槽带动滑动板上下运动,推动把手,滑动板可以在升降滑槽的内部运动,从而达到了便于调节高度和位置方便晶炉管搬运的效果转动旋钮,此时移动块在限位槽的限制下沿着横向丝杆的外壁运动,进一步使得两个固定板相互靠近,从而达到了便于对不同尺寸的晶炉管进行固定的效果。
  • 一种12寸晶圆炉管搬运
  • [发明专利]可动态调整姿态的晶清洗装置-CN202011472545.4在审
  • 许振杰;王同庆 - 华海清科股份有限公司
  • 2020-12-15 - 2021-04-30 - B08B1/02
  • 本发明公开了一种可动态调整姿态的晶清洗装置,包括:晶旋转组件,用于支撑晶并驱动晶旋转,其包括主动辊轮和从动辊轮,所述主动辊轮上设置有用于检测晶转速的转速传感器;两个清洗刷,设置于晶的两侧并绕自身轴线滚动以对晶表面进行刷洗;清洗刷运动机构,用于带动所述两个清洗刷相向移动并以一定夹角夹持晶进行刷洗;控制器,其利用所述转速传感器检测晶的转速并在所述转速不属于正常范围时控制所述清洗刷运动机构调整所述两个清洗刷之间的夹角。
  • 动态调整姿态清洗装置
  • [发明专利]边缘的处理装置和系统-CN201210431145.8有效
  • 袁超 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2012-11-01 - 2017-06-23 - H01L21/02
  • 本发明公开了一种晶边缘的处理装置和系统,属于半导体技术领域。该装置包括晶放置区,用于放置晶;溶液容纳单元,用于盛放溶液,设置在所述晶放置区下方;边缘处理单元,用于通过自身运动携带所述溶液容纳单元中溶液以清洗或腐蚀所述晶的边缘,设置在所述晶放置区和所述溶液容纳单元之间且使所述边缘处理单元自身运动时可携带上所述溶液容纳单元中溶液的位置上;控制单元,用于控制所述边缘处理单元对所述晶进行清洗或腐蚀。本发明使用同一设备既可以对晶的边缘进行清洗和腐蚀等处理,最终降低了晶处理的成本。
  • 边缘处理装置系统
  • [发明专利]磨削加工方法以及磨削装置-CN201610132708.1有效
  • 井沢毅司;朴木继雄 - 三菱电机株式会社
  • 2016-03-09 - 2018-11-16 - B24B5/04
  • 本发明提供利用外磨床在轴的推力面形成任意的连续的微小曲面形状的磨削加工方法以及磨削装置。本发明所涉及的磨削加工方法使用外磨床,该外磨床具备:主轴,其保持筒形状的被磨削物并使其旋转;外磨削砂轮,其对被磨削物进行磨削;以及外磨削砂轮输送轴,其使外磨削砂轮平行移动,在该外磨床中,外磨削砂轮输送轴配置为其与主轴的旋转轴交叉的角度超过90°并在100°以下,所述磨削加工方法具有使主轴的旋转运动与外磨削砂轮的往复运动同步而在推力面形成任意的连续的微小曲面形状的工序。
  • 磨削加工方法以及装置
  • [实用新型]磨削装置-CN201620181014.2有效
  • 井沢毅司;朴木继雄 - 三菱电机株式会社
  • 2016-03-09 - 2016-08-24 - B24B5/04
  • 本实用新型提供利用外磨床在轴的推力面形成任意的连续的微小曲面形状的磨削加工方法以及磨削装置。本实用新型所涉及的磨削加工方法使用外磨床,该外磨床具备:主轴,其保持筒形状的被磨削物并使其旋转;外磨削砂轮,其对被磨削物进行磨削;以及外磨削砂轮输送轴,其使外磨削砂轮平行移动,在该外磨床中,外磨削砂轮输送轴配置为其与主轴的旋转轴交叉的角度超过90°并在100°以下,所述磨削加工方法具有使主轴的旋转运动与外磨削砂轮的往复运动同步而在推力面形成任意的连续的微小曲面形状的工序。
  • 磨削装置
  • [实用新型]可动态调整姿态的晶清洗装置-CN202023000232.7有效
  • 许振杰;王同庆 - 华海清科股份有限公司
  • 2020-12-15 - 2021-07-16 - H01L21/67
  • 本实用新型公开了一种可动态调整姿态的晶清洗装置,包括:晶旋转组件,用于支撑晶并驱动晶旋转,其包括主动辊轮和从动辊轮,所述主动辊轮上设置有用于检测晶转速的转速传感器;两个清洗刷,设置于晶的两侧并绕自身轴线滚动以对晶表面进行刷洗;清洗刷运动机构,用于带动所述两个清洗刷相向移动并以一定夹角夹持晶进行刷洗;控制器,其利用所述转速传感器检测晶的转速并在所述转速不属于正常范围时控制所述清洗刷运动机构调整所述两个清洗刷之间的夹角。
  • 动态调整姿态清洗装置
  • [实用新型]清洗机-CN202022660959.1有效
  • 唐君;阙进林;李永祥;成林 - 苏州中辉半导体设备有限公司
  • 2020-11-17 - 2022-01-28 - B08B3/02
  • 本实用新型公开了一种晶清洗机,包括:底板、晶卡盘和多个喷淋臂;所述喷淋臂的第一端可转动设置于所述底板的上表面,第二端设置有喷头,在所述底板的下表面设置有用于驱动所述喷淋臂做转动和上下运动的第一驱动装置,所述喷头用于提供清洗晶的液体和干燥晶的气体;所述底板上设置有开口朝上的第一凹部,所述晶卡盘位于所述第一凹部中,在所述底板设置有第二驱动装置,第二驱动装置能够驱动所述晶卡盘做上下运动且为晶卡盘提供吸力该晶清洗机能够对晶进行清洗。
  • 清洗
  • [发明专利]起落架系统-CN201210048066.9有效
  • J·D·科泰特 - 波音公司
  • 2012-02-28 - 2012-10-17 - B64C25/58
  • 第一筒和第二筒沿轴线相对彼此运动,该轴线通过第一筒和第二筒中心延伸,以便第一筒和第二筒处于延伸位置。响应第一筒和第二筒处于延伸位置,基本阻止流体在第一腔室和第二腔室之间流动,其中第一腔室在第一筒和第二筒之间形成,第二腔室处于第一筒和第二筒的内部。响应于向第一腔室施加的压力,第一筒和第二筒相对彼此沿轴线运动,以便降低第一筒和第二筒的长度。
  • 起落架系统
  • [发明专利]盒的开合盖装置-CN202211696605.X在审
  • 张晓楠 - 上海集成电路研发中心有限公司
  • 2022-12-28 - 2023-05-05 - H01L21/673
  • 本发明提供一种晶盒的开合盖装置,所述装置包括:底座、锁匙、翻盖单元、伸缩单元;所述底座设于晶盒的底侧,用于承载晶盒;所述锁匙与盒盖的锁芯相配合,用于将所述盒盖锁定于所述晶盒或解除所述盒盖与所述晶盒的锁定;所述翻盖单元与所述锁匙连接,用于带动所述锁匙和所述盒盖运动;所述伸缩单元的两端分别与所述翻盖单元和所述底座连接,用于带动所述翻盖单元、所述锁匙和所述盒盖共同相对于所述晶运动。该装置用于减少晶盒的开合盖过程对晶的污染和损伤。
  • 晶圆盒开合盖装置

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