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[实用新型]半导体设备-CN201720062496.4有效
发明人：胡频升;胡旭峰;汤志达;张恒 -专利权人：中芯国际集成电路制造（天津）有限公司;中芯国际集成电路制造（上海）有限公司
申请日： 2017-01-17 - 公布日： 2017-07-28 - 主分类号： H01L21/67 文献下载
摘要：本实用新型揭示了一种半导体设备，包括至少一反应腔，所述反应腔连接一用于向所述反应腔通入反应气体的反应气体进气管道，所述反应气体进气管道的一端连接一用于向所述反应气体进气管道通入吹扫气体的吹扫气体进气通道，所述反应气体进气管道的另一端连接一吹扫气体出气通道的一端。所述吹扫气体进气通道、反应气体进气管道、吹扫气体出气通道形成一吹扫环路，将所述反应气体进气管道剩余的反应气体、沉积在所述反应气体进气管道的颗粒等吹扫出来，避免剩余的反应气体形成的颗粒或沉积在所述反应气体进气管道的颗粒进入反应腔等半导体设备的内部环境中
半导体设备

[发明专利]一种吹扫净化方法及其装置-CN201210121092.X有效
发明人：吴海华;连海洲;徐力 -专利权人：至砾机电设备（上海）有限公司
申请日： 2012-04-23 - 公布日： 2013-10-30 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：本发明公开了一种吹扫净化方法及其装置。本发明所提供的吹扫净化方法通过对特种气体系统进行排料操作和多次的吹扫净化操作，实现了将待处理设备及管道中残留的特种气体吹扫净化的目的。本发明还提供了一种吹扫净化装置，该装置包括管路系统和柜壳，其中，管路系统包含有多种阀门、管道和压力表，柜壳为密封柜壳，管路系统固定设置在柜壳中。本发明所公开的吹扫净化装置基于本发明所公开的吹扫净化方法，通过使用本发明所提供的吹扫净化装置，实现了将特种气体系统设备及管道内残留的特种气体吹扫净化的目的。
一种净化方法及其装置

[实用新型]一种应用于激光气体分析仪的吹扫装置-CN201420140177.7有效
发明人：于志伟;刘立富;陈杰;吴姜日;唐怀武 -专利权人：杭州泽天科技有限公司
申请日： 2014-03-26 - 公布日： 2014-10-15 - 主分类号： G01N21/01 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种吹扫装置，尤其涉及一种应用于激光气体分析仪的吹扫装置，包括吹扫保护外壳、设置在吹扫保护外壳内的吹扫气源和设置在吹扫保护外壳外的两个吹气头，所述吹扫气源与吹气头通过不锈钢管道连接，每个吹气头与吹扫气源之间设有流量计本实用新型可以用干净、无水分、无粉尘的气体吹扫激光气体分析仪接收端和发射端的光学窗片，避免含有被测气体过程管道中的焦油、粉尘等污染物污染光学窗片内的光学器件，从而改善其测试效果，延长其使用寿命。
一种应用于激光气体分析装置

[发明专利]蒸发燃料处理装置-CN201780023198.7有效
发明人：浅沼大作 -专利权人：爱三工业株式会社
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-10-16 - 主分类号： F02M25/08 文献下载
摘要：蒸发燃料处理装置包括：吸附罐；吹扫路径，其供自吸附罐被向进气路径输送的吹扫气体通过；泵，其将吹扫气体自吸附罐送出到进气路径；控制阀，其配置于吹扫路径上，在经由吹扫路径连通吸附罐和进气路径的连通状态与在吹扫路径上阻断吸附罐和进气路径的阻断状态之间切换；以及测定装置，其在应自吸附罐向进气路径供给吹扫气体的情况下，测定吹扫路径内的吹扫气体的蒸发燃料浓度，控制装置在占空控制中以多个周期切换控制阀，多个周期包含第1周期和期间长于第1周期的期间的第2周期，测定装置可以在占空控制中，在泵进行驱动、且控制阀处于第2周期的阻断状态的期间，测定吹扫气体的蒸发燃料浓度。
蒸发燃料处理装置

[发明专利]蒸发燃料处理装置-CN201780012131.3有效
发明人：浅沼大作;加藤伸博 -专利权人：爱三工业株式会社
申请日： 2017-02-27 - 公布日： 2020-09-15 - 主分类号： F02M25/08 文献下载
摘要：蒸发燃料处理装置可以具备：吸附罐；吹扫路径，其供从吸附罐向进气路径输送的吹扫气体通过；泵，其向进气路径送出吹扫气体；控制阀，其在借助吹扫路径将吸附罐与进气路径连通的连通状态和在吹扫路径上将吸附罐与进气路径切断的切断状态之间进行切换；分支路径，其在上游端从吹扫路径分支出，并在下游端在与上游端不同的位置处与吹扫路径合流；压力确定部，其配置在分支路径上，具有使分支路径内的吹扫气体通过的小径部，该压力确定部用于确定通过小径部的吹扫气体在小径部前后的压力差；空燃比传感器，其配置于内燃机的排气路径；以及估计部，其使用利用从空燃比传感器获得的空燃比而估计出的吹扫气体内的蒸发燃料浓度以及由压力确定部确定的压力差，来估计从泵送出的吹扫气体的第一流量。
蒸发燃料处理装置

[实用新型]一种吹扫气体或液体管道的装置-CN201520463349.9有效
发明人：不公告发明人 -专利权人：重庆市富燃科技有限责任公司
申请日： 2015-07-01 - 公布日： 2015-12-09 - 主分类号： B08B9/032 文献下载
摘要：一种吹扫气体或液体管道的装置，其特征在于该装置沿气体或液体运行方向依次为：气体或液体管道（1）、气/液阀（I）、止回阀（II）；沿吹扫介质运行方向依次为：吹扫管道（2）、吹扫阀（III）、止回阀（IV）
一种气体液体管道装置

[发明专利]内压缩流程空分缩小高压板式换热器温差的方法及系统-CN201210358383.0有效
发明人：陈英;庞厚芳;杨军红;沈尚超;张淑敏 -专利权人：兖矿鲁南化肥厂
申请日： 2012-09-24 - 公布日： 2013-01-02 - 主分类号： F28G9/00 文献下载
摘要：系统包括两台高压板式换热器，在高压空气通道和膨胀空气通道的中间段分别割掉一段管段，在高压板式换热器热端入口处分别开设高压空气和膨胀空气的吹扫口，两吹扫口均连接吹扫管路，所述吹扫管路为依次相连的氮气透平压缩机、气体分布器、吹扫气压力表、吹扫气进高板阀和吹扫气流量计。
压缩流程缩小高压板式换热器温差方法系统

[实用新型]LNG加气站-CN201920590459.X有效
发明人：吴志燕;顾枫;沈益;钱力;谭军;韦志文 -专利权人：张家港中集圣达因低温装备有限公司;中集安瑞科投资控股(深圳)有限公司;中国国际海运集装箱(集团)股份有限公司
申请日： 2019-04-26 - 公布日： 2019-12-27 - 主分类号： F17C9/00 文献下载
摘要：其包括用于储存LNG的储罐、卸液软管和气体吹扫组件。其中，卸液软管用于连接储罐与LNG槽车。卸液软管具有泄压口。气体吹扫组件包括充气瓶、与充气瓶连通的通气管、对应设置在泄压口的吹扫控制阀。充气瓶内充装有保护气体。通气管与卸液软管对接相通，使得卸液软管充满保护气体。在槽车卸液前，吹扫控制阀控制泄压口打开，使得保护气体经泄压口泄出并吹扫卸液软管。上述气体吹扫组件采用保护气体用于卸液软管的吹扫，规避了安全隐患，提高了卸液运行效率，减轻工作人员的维护和管理负担。
软管保护气体泄压口吹扫气体吹扫充气瓶通气管储罐本实用新型控制阀控制维护和管理安全隐患运行效率组件包括加气站控制阀连通相通储存

[发明专利]一种液体中高沸点组分直接质谱分析的进样装置及方法-CN202011457942.4在审
发明人：花磊;蒋吉春;李金旭;张栢茂;李海洋 -专利权人：中国科学院大连化学物理研究所
申请日： 2020-12-11 - 公布日： 2022-06-14 - 主分类号： H01J49/04 文献下载
摘要：直接质谱分析的进样装置包括样品瓶加热套、样品瓶、真空抽气管路和进样管路，样品瓶加热套包覆于样品瓶外部；于密闭的样品瓶顶部开设有两路气体出口，其中一路气体出口通过真空抽气管路与一真空管路开关阀的入口端相连，真空管路开关阀的出口端连接有真空泵；另一路气体出口通过吹扫气管路与一吹扫气管路开关阀的入口端相连，吹扫气管路开关阀的出口端与质谱仪的进样端口相连。
一种液体中高沸点组分直接谱分析装置方法

[实用新型]一种燃气管道吹扫系统、燃气输送系统-CN202223319652.0有效
发明人：宋新义;朱飞;李文辉;肖祖泉 -专利权人：中冶长天国际工程有限责任公司
申请日： 2022-12-09 - 公布日： 2023-05-12 - 主分类号： F17D1/02 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种燃气管道吹扫系统、燃气输送系统，涉及燃气领域，以解决吹扫系统由于人工现场作业存在安全隐患的技术问题。燃气管道吹扫系统包括吹扫装置、放散装置以及用于检测燃气管道中气体成分的取样装置；吹扫装置用于将惰性气体替换燃气管道中的气体；放散装置用于排出燃气管道中的气体；吹扫装置包括第一吹扫管路，沿着气流方向，第一吹扫管路包括依次设置的第一控制阀、第二控制阀以及连通于第一控制阀与第二控制阀之间管路的放散管，放散管用于排出第一控制阀与第二控制阀之间管路的气体，放散管上设有第三控制阀；第一吹扫管路用于将预设压力的惰性气体输送至燃气管道中。
一种燃气管道系统输送

[发明专利]蒸发燃料处理装置-CN201910835129.7有效
发明人：本田义彦;铃木敬升;高桥浩之 -专利权人：爱三工业株式会社
申请日： 2019-09-05 - 公布日： 2021-11-05 - 主分类号： F02M25/08 文献下载
摘要：通过简单的结构，对于吹扫蒸气的流路的切换自不用说，还能够切换在吹扫停止时冷却吹扫泵或提高吹扫停止响应性的流路。蒸发燃料处理装置具备：吸附罐，捕集在燃料箱中产生的蒸气；吹扫通路，从吸附罐向进气通路吹扫蒸气；吹扫泵，设置于吹扫通路；第一三通阀，设置于吹扫通路的吹扫泵的喷出口与吹扫通路的导出口之间的部分；第二三通阀，设置于吹扫通路的吹扫通路的导入口与吹扫泵的吸入口之间；第一旁通通路，设置于吹扫通路的比第二三通阀靠上游的部分与第一三通阀之间；第二旁通通路，设置于吹扫通路的比第一三通阀靠下游的部分与第二三通阀之间。在吹扫泵动作时切换第一三通阀和第二三通阀来切换蒸气的流路。
蒸发燃料处理装置

[发明专利]一种污染气体连续采样装置-CN201711218654.1在审
发明人：倪月舟 -专利权人：倪月舟
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-02-16 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本发明公开了一种污染气体连续采样装置，包括采样系统、无扰采样吹扫装置以及气体连续在线分析柜，采样系统包括采样过滤器、采样杆以及采样器，采样过滤器通过采样杆与采样器连通，无扰采样吹扫装置包括集气过滤器、集气杆以及集气吹扫器，集气过滤器与集气吹扫器之间通过集气杆连通，采样器与气体连续在线分析柜之间通过采样管连通，采样器与集气吹扫器之间通过吹扫管连通且设有采样过滤器吹扫阀，集气吹扫器通过气管连通压缩空气气源管，所述集气吹扫器与外部压缩气源之间设有集气过滤器吹扫阀所述污染气体连续采样装置有效提高吹扫性能，较大程度上提高设备的可用率，提高控制过程的精确度以及计量的准确性。
一种污染气体连续采样装置

[实用新型]一种污染气体连续采样装置-CN201721617446.4有效
发明人：倪月舟 -专利权人：倪月舟
申请日： 2017-11-28 - 公布日： 2018-07-06 - 主分类号： G01N1/24 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种污染气体连续采样装置，包括采样系统、无扰采样吹扫装置以及气体连续在线分析柜，采样系统包括采样过滤器、采样杆以及采样器，采样过滤器通过采样杆与采样器连通，无扰采样吹扫装置包括集气过滤器、集气杆以及集气吹扫器，集气过滤器与集气吹扫器之间通过集气杆连通，采样器与气体连续在线分析柜之间通过采样管连通，采样器与集气吹扫器之间通过吹扫管连通且设有采样过滤器吹扫阀，集气吹扫器通过气管连通压缩空气气源管，所述集气吹扫器与外部压缩气源之间设有集气过滤器吹扫阀。所述污染气体连续采样装置有效提高吹扫性能，较大程度上提高设备的可用率，提高控制过程的精确度以及计量的准确性。
集气吹扫器连通采样器连续采样装置过滤器采样过滤器污染气体连续在线分析采样系统吹扫装置采样杆吹扫阀采样压缩空气气源管外部压缩气源本实用新型控制过程采样管吹扫管吹扫可用气管计量

[实用新型]一种用于原子荧光的原子化室可视化系统-CN201820788438.4有效
发明人：梁敬;李艳超;王庆;董芳;侯爱霞;杨名名;李彬红 -专利权人：北京海光仪器有限公司
申请日： 2018-05-25 - 公布日： 2018-12-04 - 主分类号： G01N21/64 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种用于原子荧光的原子化室可视化系统，包括第一显示终端、第二显示终端、图像中继模块、气源、流量调节阀、摄像头、吹扫保护罩、第一照明光源、第二照明光源、原子化器及原子化室；摄像头安装在吹扫保护罩上；吹扫保护罩安装在原子化室上；吹扫保护罩内部设有第一吹扫区及第二吹扫区；第一、二照明光源安装在原子化室上，并进入第二吹扫区；摄像头与图像中继模块连接；图像中继模块与第一显示终端通过WIFI连接，与第二显示终端通过USB线连接；吹扫保护罩气体入口依次与流量调节阀、气源连接。
吹扫原子化保护罩显示终端照明光源摄像头中继模块本实用新型可视化系统流量调节阀原子荧光图像气源摄像头安装气体入口区域成像原子化器腐蚀

[实用新型]一种医学防疫消毒室-CN202020171483.2有效
发明人：史传文 -专利权人：史传文
申请日： 2020-02-15 - 公布日： 2020-11-06 - 主分类号： A61L2/20 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种医学防疫消毒室，包括底盘和安装在底盘上的总腔室，所述总腔室的前端设有出口，总腔室的后端设有进口，总腔室内通过位于所述出口和进口之间的隔断门分为第一腔室和第二腔室，进口位于第一腔室，第一腔室内设有前吹扫装置和后吹扫装置；前吹扫装置包括第一吹扫横管和第一驱动装置，所述第一吹扫横管与消毒气体供送装置连通，吹扫横管的后侧壁上开设有喷气孔，所述底盘上开设有与第一吹扫横管适配的凹槽。本实用新型方便设置在人员较多的场所入口，便于对进出人员进行吹扫消毒，有利于切断病毒传播，同时本消毒室结构简单，使用和制作成本低，便于降低抗疫成本，适合在居民区、医院和疗养院推广使用。
一种医学防疫消毒