专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]蚀刻方法-CN201580060311.X有效
  • 户村幕树;胜沼隆幸;本田昌伸 - 东京毅力科创株式会社
  • 2015-11-20 - 2020-05-12 - H01L21/3065
  • 一个实施方式的方法包括:执行1次以上的流程的步骤;和使通过执行1次以上的流程形成的氟化膜的膜厚减小的步骤。1次以上的流程中的每个流程包括:通过生成包含碳氟气体但不包含氧气的处理气体的等离子体,在被处理体上形成氟化膜的步骤;和利用氟化膜所包含的碳氟化的自由基对第一区域进行蚀刻的步骤。在该方法中,交替反复执行1次以上的流程和使氟化膜的膜厚减小的步骤。
  • 蚀刻方法
  • [发明专利]一种等离子体改性细胞培养板的方法-CN202210656361.6在审
  • 张胜有;叶竹青 - 苏州赛普生物科技有限公司
  • 2022-06-10 - 2022-08-02 - C12M3/00
  • 本发明涉及一种等离子体改性细胞培养板的方法,包括如下步骤:S1:将细胞培养板放置在等离子表面处理设备中,抽真空,然后通入第一氟化气体,第一氟化气体电离出正负电荷,对细胞培养板进行初步表面疏水改性处理S2:结束第一氟化气体,向等离子表面处理设备中通入第二氟化气体,第二氟化气体电离出正负电荷,对细胞培养板进行深度表面疏水改性处理。另外,氟化氟基团引入细胞培养板表面之后也不会危害细胞的生长,安全性较高。
  • 一种等离子体改性细胞培养方法
  • [发明专利]一种氟酰氟类化合的新处理方法-CN200510110084.5有效
  • 曹伟;吕涛;张威;朱吉洪 - 上海泰卓科技有限公司
  • 2005-11-07 - 2006-04-26 - C07C67/14
  • 本发明公开了一种氟酰氟类化合的新处理方法。该方法包括下列步骤:1)将一种醇类化合和一种胺类化合按一定比例预先混合;2)将氟的酰氟类化合加入醇类化合和胺类化合的混合中进行反应;3)将上述反应产物放入精馏塔进行精馏,提纯得到氟的酰氟类化合所对应的氟羧酸的酯类化合,从塔釜中回收得到氟化氢与胺类化合的络合。采用本发明所述新处理方法,可以使处理过程中产生的氟化氢成为络合,对处理设备的腐蚀性要求可降低;同时这种氟化氢的络合是一种很好的氟化试剂,应用广;处理产生的氟羧酸的酯类化合,进一步后处理方便;此外
  • 一种酰氟化合物处理方法
  • [发明专利]含有氟化的气体的处理方法及设备-CN200510080106.8无效
  • 李秋煌;黄建良;卢敏彦;张美元 - 财团法人工业技术研究院;成泰科技股份有限公司
  • 2005-06-29 - 2007-01-03 - B01D53/68
  • 本发明是关于氟化的触媒分解处理技术,尤其有关半导体产业所产生的全氟碳化,氢氟碳化,NF3,或SF6的废气的触媒分解处理技术。一种含有氟化的气体的处理方法,包含下列步骤:a)于水气或水气及氧的存在下,将一含有氟化的气体于300~800℃与触媒接触,使该氟化被分解,而形成含有氟化氢的第一处理气体产物;b)将该第一处理气体产物与一固态吸附剂接触,使该第一处理气体产物中的氟化氢为该吸附剂所吸附,而形成一实质上不含有氟化氢的第二处理气体产物。由于第二处理气体产物不含有强腐蚀性氟化氢,于是本发明可使用一热交换器使其加热该含有氟化的气体,而回收该第二处理气体产物的热。
  • 含有氟化气体处理方法设备

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