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[实用新型]一种新型双副室单晶炉-CN202020037070.5有效
发明人：卢阳华;马向东 -专利权人：深圳晶鑫智造科技有限公司
申请日： 2020-01-08 - 公布日： 2020-10-23 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开一种新型双副室单晶炉，包括一机架、设置在机架上的一主炉室、一第一驱动机构与一第二驱动机构、以及与第一驱动机构、第二驱动机构输出端对应连接的第一副炉室与第二副炉室。本实用新型的是设计一种全新的双副室单晶炉，一个上部配置高精度提拉头的副室用于拉硅单晶棒，另一个上部配置低成本提升机的副室用于二次加料；从而节约停炉等待时间，大幅提高单炉的产出量和单晶炉主炉室的使用效率，减少电能和Ar气消耗，降低单晶硅生产成本。
一种新型双副室单晶炉

[发明专利]具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法-CN201110186275.5有效
发明人：朱亮;王魏;孙明;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-01-11 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法。该单晶炉有一个主炉室，主炉室上部装配有一个副炉室；该单晶炉还额外配置一个副炉室，两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸，副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上；各副炉室的下端设置一个副炉室闸阀，副炉室闸阀内设置活动的阀板；所述主炉室的上端设有一个隔离阀座，隔离阀座内部设置活动的主炉室隔离阀板，隔离阀座上侧与两个副炉室闸阀相互匹配。通过两个炉筒的交替使用，可在晶棒冷却的同时进行下一根晶棒的拉制，缩短了生产周期，大幅度提高生产效率，有效降低成本。
具备双副炉室结构单晶炉单晶硅生产方法

[实用新型]具备双副炉室结构的单晶炉-CN201120233866.9有效
发明人：朱亮;王魏;孙明;曹建伟;邱敏秀 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2011-07-04 - 公布日： 2012-04-25 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及直拉硅单晶炉设备，旨在提供一种具备双副炉室结构的单晶炉。该单晶炉有一个主炉室，主炉室上部装配有一个副炉室；该单晶炉还额外配置一个副炉室，两个副炉室均具备炉筒、晶体提升机构、水平调整机构、副炉室旋转机构和控制副炉室升降的液压缸，副炉室旋转机构均通过连接件活动安装于支撑柱上；各副炉室的下端设置一个副炉室闸阀，副炉室闸阀内设置活动的阀板；所述主炉室的上端设有一个隔离阀座，隔离阀座内部设置活动的主炉室隔离阀板，隔离阀座上侧与两个副炉室闸阀相互匹配。通过两个炉筒的交替使用，可在晶棒冷却的同时进行下一根晶棒的拉制，缩短了生产周期，大幅度提高生产效率，有效降低成本。
具备双副炉室结构单晶炉

[发明专利]一种具有双提拉副室的单晶硅生长炉-CN202110701633.5在审
发明人：李小锋;逯占文;曹玉宝;李万朋 -专利权人：连城凯克斯科技有限公司
申请日： 2021-06-24 - 公布日： 2021-08-10 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明提供了一种具有双提拉副室的单晶硅生长炉，包括支架上端设置的单晶炉主体，单晶炉主体旁侧设置有立柱，立柱上部侧面设置有第一旋转升降装置和第二旋转升降装置，第一旋转升降装置连接有长晶副室，第二旋转升降装置连接有加料副室；长晶副室顶部设置有第一提拉装置，长晶副室中部设置有加热装置；加料副室顶部设置有第二提拉装置，第二提拉装置连接有加料器。本发明提供的具有双提拉副室的单晶硅生长炉，采用生长晶体时同步冷却及生长晶体收尾后预加热两种手段，缩短晶体冷却等待时间，采用双提拉副室分别完成生长和加料工作，加料准备不会额外增加时间，与传统方法相比，具有加料整体用时短
一种具有双提拉副室单晶硅生长

[实用新型]单晶炉小副室-CN202120171922.4有效
发明人：王怡然;罗建明;关成 -专利权人：包头晶澳太阳能科技有限公司
申请日： 2021-01-22 - 公布日： 2022-01-14 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了提供一种单晶炉小副室，包括单晶炉小副室主体和用于封闭单晶炉小副室主体开口部的盖板，盖板端部与单晶炉小副室主体之间连接有使得盖板于第一位置与第二位置之间翻转的连接件，盖板封闭单晶炉小副室主体开口部时位于第一位置，盖板位于第二位置时，盖板与单晶炉小副室主体开口部形成大于90°的夹角；在单晶炉小副室主体开口部设置能封闭单晶炉小副室主体的盖板，在副室旋开后，盖板能阻隔外部的金属碎屑、灰尘等杂质从而防止外部杂质落入小副室中污染原料，盖板与单晶炉小副室主体开口部之间通过铰链连接，使得盖板打开时翻转至单晶炉小副室主体侧面，在副室复位时盖板打开翻转至单晶炉小副室主体侧面，避免阻碍后续拉晶操作。
单晶炉小副室

[实用新型]一种方便提取掉落硅棒的单晶炉副室及具有其的单晶炉-CN202321332779.8有效
发明人：李维琛;李永哲;赵京通 -专利权人：晶澳（无锡）光伏科技有限公司
申请日： 2023-05-29 - 公布日： 2023-10-27 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种方便提取掉落硅棒的单晶炉副室及具有其的单晶炉。其中，一种方便提取掉落硅棒的单晶炉副室，包括：单晶炉副室本体，所述单晶炉副室本体的上部开设有一对相对设置的可打开/关闭的预留窗，一对所述预留窗用于往所述单晶炉副室本体内穿设钢丝绳以捆绑所述单晶炉副室本体内的硅棒根据本实用新型实施例的方便提取掉落硅棒的单晶炉副室，能够便捷地将硅棒从副室内取出，节省人力。
一种方便提取掉落单晶炉副室具有单晶炉

[发明专利]一种单晶炉副室清理装置、系统和方法-CN202211547585.X在审
发明人：劳海兵;云飞;王万胜;辛瞳 -专利权人：双良硅材料(包头)有限公司
申请日： 2022-12-05 - 公布日： 2023-04-11 - 主分类号： B08B9/087 文献下载
摘要：本发明公开的单晶炉副室清理装置用于设置于重锤，重锤可升降设置于单晶炉副室内，该单晶炉副室清理装置包括清洁盘，清洁盘包括清洁布包裹环和重锤连接部。本发明公开的单晶炉副室清理装置实现了对单晶炉副室的自动清理，降低了人工劳动强度，且结构简单，拆装方便。本发明公开的单晶炉副室清理系统和单晶炉副室清理方法可通过上述的单晶炉副室清理装置实现对单晶炉副室的自动清理，且具有较好的清洁效果。
一种单晶炉副室清理装置系统方法

[实用新型]一种单晶炉及其副室延伸段-CN201220608693.9有效
发明人：白剑铭;孙二凯 -专利权人：英利能源（中国）有限公司
申请日： 2012-11-15 - 公布日： 2013-05-08 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供了一种单晶炉的副室延伸段，其中，所述副室延伸段的底端与单晶炉的副室连接，所述副室延伸段的顶端与所述单晶炉的晶体提升机构连接，且所述副室延伸段设置有与所述副室的内部空间连通并能够容纳所述单晶炉生产的单晶硅棒的头部的贯穿内腔本实用新型提供的单晶炉的副室延伸段，因为其能够使的单晶炉生产出长度更长的单晶硅棒，这样就可以使单次生产的装料量更大，显著提升单晶炉的产量，进而降低生产成本。本实用新型还提供了一种具有上述副室延伸段的单晶炉。
一种单晶炉及其延伸

[发明专利]一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法-CN202211068294.2在审
发明人：许堃;李安君;吴超慧;汪沛渊;朱厚军;罗昌萍 -专利权人：宇泽半导体（云南）有限公司
申请日： 2022-09-02 - 公布日： 2022-11-04 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本发明涉及单晶籽晶加工技术领域，具体为一种稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构及其籽晶稳定方法，包括副室，副室的内部设置有重锤，副室的内部位于重锤的顶部处安装有定位环，重锤的顶端连接有钨丝绳，重锤的底端安装有夹头该稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构中，通过改变单晶炉副室的设计，实现了籽晶的稳定由人工完成变成由单晶炉完成切换，减少了人工稳定籽晶的操作，节省了人工；该用于稳定单晶籽晶的单晶炉副室结构的籽晶稳定方法中，对副室净化参数进行改进，保证在副室净化时，籽晶能够升降，单晶炉能够完成籽晶的自动升降，因此能够完成籽晶的自动稳定，达到籽晶稳定由单晶炉自动完成的目的。
一种稳定籽晶单晶炉副室结构及其方法

[实用新型]一种单晶炉副室-CN202220145965.X有效
发明人：周云龙 -专利权人：浙江晶泰半导体有限公司
申请日： 2022-01-20 - 公布日： 2022-05-31 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种清扫擦拭更加方便的单晶炉副室。采用的技术方案包括：单晶炉副室本体，所述单晶炉副室本体的侧壁至少设有一个清洗窗，所述清洗窗包括焊接于所述单晶炉副室本体侧壁上的底座以及通过铰链铰接于所述底座一端的上盖所述上盖内设有冷却液流道、一侧设有与所述冷却液流道连通的进水口和出水口优点如下：1、通过在单晶炉副室本体侧壁设置一组清洗窗，通过清洗窗可对单晶炉副室本体进行分段清扫擦拭，可以不需要将单晶炉副室本体拆卸。
一种单晶炉副室

[实用新型]一种直拉法单晶炉取单晶保护装置-CN201821875455.8有效
发明人：李鹏飞 -专利权人：内蒙古中环领先半导体材料有限公司
申请日： 2018-11-14 - 公布日： 2019-07-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种直拉法单晶炉取单晶保护装置，单晶炉取单晶保护装置设于单晶炉的副炉室上，包括单晶棒承托部、连接杆部和驱动旋转部，连接杆部的一端通过驱动旋转部与副炉室连接，连接杆部的另一端与单晶棒承托部连接，驱动旋转部可驱动连接杆部旋转将单晶棒承托部旋转至副炉室的底部出口的下方。该取单晶保护装置可在单晶炉的副炉室旋转取出单晶棒时对单晶棒产生一定的承托力，防止取单晶过程中单晶棒坠落，且结构稳定，操作简便、安全。
单晶棒单晶炉单晶保护副炉室连接杆部驱动旋转承托部直拉法本实用新型驱动连接杆底部出口结构稳定承托力单晶坠落取出安全

[实用新型]一种稳定单晶硅棒的装置-CN202222801438.2有效
发明人：李鑫;许堃;李安君;朱厚军;高贻刚 -专利权人：宇泽半导体（云南）有限公司
申请日： 2022-10-24 - 公布日： 2023-01-10 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型涉及一种稳定单晶硅棒的装置，属于单晶硅棒取棒辅助装置技术领域。所述的稳定单晶硅棒的装置包括单晶棒防晃动支撑架、支撑软毡、单晶棒下落支撑装置；所述的单晶棒防晃动支撑架设置在单晶炉副室下口处，支撑软毡环绕设置在单晶炉副室下口内壁上，支撑软毡的厚度适应单晶棒和单晶炉副室下口内壁之间的距离，单晶棒下落支撑装置设置在单晶炉副室下口下侧，并通过单晶棒防晃动支撑架支撑安装。本实用新型通过在单晶炉副室下口内部增加单晶棒防晃动装置，解决了取棒时晶棒不稳晃动碰到炉壁的现状，使得单晶棒在副室旋转时，副室内单晶棒不会发生晃动，防止了单晶棒和副室内壁发生磕碰，降低了单晶棒掉棒等重大异常事故的发生
一种稳定单晶硅装置

[实用新型]一种单晶炉的炉盖及单晶炉-CN202123095843.9有效
发明人：杨西虎;杨超;武绚丽 -专利权人：曲靖晶龙电子材料有限公司
申请日： 2021-12-10 - 公布日： 2022-05-24 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型提供一种单晶炉的炉盖及单晶炉，包括：炉盖主体，上端中心形成圆形通孔，下端覆盖单晶炉的主室体；炉盖小副室筒，竖直延伸并连通在炉盖主体的圆形通孔处；分流环，设置在炉盖小副室筒的顶端，具有输送惰性气体的进气口和出气口，进气口与外部惰性气体源连通，出气口位于炉盖小副室筒的内壁处；导气管，沿炉盖小副室筒的内壁从出气口延伸至炉盖主体的圆形通孔处。本实用新型的单晶炉的炉盖及单晶炉，通过将导气管延伸至炉盖小副室筒的底端，使得惰性气体可以直接进入单晶炉，杜绝了惰性气体与炉盖小副室筒筒壁干扰产生涡流后在筒壁上沉积氧化物的问题，从而也避免了氧化物掉入单晶炉内，造成成晶困难及影响单晶质量的问题。
一种单晶炉

[实用新型]一种单晶硅生长炉-CN200820168764.1无效
发明人：李国迪;谈志俊;蒋明霞 -专利权人：浙江瑞迪硅谷新能源科技有限公司
申请日： 2008-11-21 - 公布日： 2009-08-19 - 主分类号： C30B15/00 文献下载
摘要：本实用新型公开了一种单晶硅生长炉，包括主炉室、副炉室和引晶装置，主炉室和副炉室之间设有翻盖阀门，其特征在于：所述单晶硅生长炉还设有二次加料装置。该单晶硅生长炉可以在保持单晶炉处于高温状态时重复加料，完成多根单晶棒生产，既节省了与单晶炉配套的石英坩锅用量、又节约了能耗。
一种单晶硅生长

[发明专利]用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构-CN201710429491.5有效
发明人：傅林坚;曹建伟;孙明;倪军夫;沈兴潮 -专利权人：浙江晶盛机电股份有限公司
申请日： 2017-06-08 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： C30B29/06 文献下载
摘要：本发明涉及单晶硅制备设备，旨在提供一种用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构。该用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构包括锁紧块、锁紧钩、传递套、气动件、控制元件，用于副炉室和隔离阀进行锁紧与松开。本发明既能使实现副炉室单独升降保持松开状态，也能使副炉室与隔离阀同步升降时保持锁紧状态，保证了副炉室和隔离阀同步升降时候的安全性。
用于单晶硅生长炉炉室锁紧机构

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