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[发明专利]压电驱动装置、马达、机器人以及泵-CN201710059759.0有效
发明人：古林智一;山田大介 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2017-01-24 - 公布日： 2021-11-02 - 主分类号： H01L41/08 文献下载
摘要：本发明提供具备电极的导电性良好且耐绝缘性良好、可靠性高的薄膜压电元件的压电驱动装置，具备：振动板；第一电极层，设置于振动板上方；压电体层，设置于第一电极层上方；第二电极层，设置于压电体层上方；绝缘层，设置成覆盖第一电极层、压电体层及第二电极层的上表面；布线层，设置于绝缘层上方并与第二电极层导通，在第一电极层、压电体层及第二电极层重叠的部分形成有源部，有源部在俯视时具有长边方向和短边方向，在短边方向的两端，第一电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠外侧的位置，第二电极层的端被配置在与布线层的端相同或者比布线层的端靠内侧的位置，第一电极层的端被配置在比第二电极层的端靠外侧的位置。
压电驱动装置马达机器人以及

[发明专利]压电薄膜-CN202180089057.1在审
发明人：香川裕介;田原朋子 -专利权人：富士胶片株式会社
申请日： 2021-12-28 - 公布日： 2023-09-19 - 主分类号： H04R17/00 文献下载
摘要：本发明的课题在于提供一种压电薄膜，其在压电体层的两面具有电极层，在电极层的表面设置有保护层，并且电极层与引线的连接电阻低。一种压电薄膜，其具有：压电体层、设置于压电体层的两面的电极层、覆盖电极层而设置的具有贯穿孔的保护层、填充于贯穿孔的导电性的填充部件及与填充部件接触的引线，在至少一个引线中，当将与填充部件接触的区域的面方向的长度设为
压电薄膜

[发明专利]弹性波装置、多工器、高频前端电路以及通信装置-CN201910065845.1有效
发明人：高井努;山本浩司;岩本英树 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2019-01-23 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/02 文献下载
摘要：弹性波装置(1)具备：支承基板(2)；高声速膜(3)，设置在支承基板(2)上；低声速膜(4)，设置在高声速膜(3)上；压电体层(5)，设置在低声速膜(4)上；以及IDT电极(6)，设置在压电体层(5)上在高声速膜(3)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速高，在低声速膜(4)传播的体波的声速比在压电体层(5)传播的弹性波的声速低，高声速膜3包含SiNx
弹性装置多工器高频前端电路以及通信

[发明专利]超音波传感器-CN202111095552.1在审
发明人：陈隆;吴玮仁;杨松儒;苏益廷 -专利权人：咏业科技股份有限公司
申请日： 2021-09-17 - 公布日： 2023-03-03 - 主分类号： G01S7/521 文献下载
摘要：一种超音波传感器，包含一压电体、一声阻匹配层、一应力平衡层及一减震体，所述应力平衡层与所述压电体相接，且所述应力平衡层的硬度大于所述减震体的硬度，且所述应力平衡层的声阻小于5MRayl。
超音波传感器

[发明专利]压电元件、压电元件应用设备-CN202110653119.9在审
发明人：酒井朋裕;滨田泰彰 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2021-06-11 - 公布日： 2021-12-17 - 主分类号： H01L41/187 文献下载
摘要：本发明提供一种在作为压电体层的材料而使用了铌酸钾钠的压电元件中作为压电特性而能够获得更大的位移特性的压电元件以及压电元件应用设备。压电元件(1)具备第一电极(20)、第二电极(40)和被设置在第一电极(20)与第二电极(40)之间的压电体层(30)，其中，压电体层(30)由包括钾(K)、钠(Na)和铌(Nb)的钙钛矿型结构的复合氧化物组成
压电元件应用设备

[发明专利]液体喷射头、液体喷射装置和压电元件-CN201110003853.7有效
发明人：绳野真久 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2011-01-04 - 公布日： 2011-08-17 - 主分类号： B41J2/045 文献下载
摘要：本发明涉及液体喷射头、液体喷射装置和压电元件。其提供了具有不含铅且压电特性优良的压电元件的液体喷射头的制造方法。液体喷射头具备与喷嘴开口连通的压力发生室和压电元件，该压电元件具有第一电极、在上述第一电极上形成而包含铁锰酸铋镧的压电体层、在上述压电体层上形成的第二电极，上述压电体层，在粉末X射线衍射图案上，按照φ＝
液体喷射装置压电元件

[发明专利]一种相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达及其控制方法-CN201811413479.6有效
发明人：王纪浩;陆轻铀;侯玉斌;孟文杰;张晶 -专利权人：中国科学院合肥物质科学研究院
申请日： 2018-11-17 - 公布日： 2023-04-07 - 主分类号： H02N2/12 文献下载
摘要：本发明相向摩擦切向减阻力型旋转压电马达及控制法，包括框架，第一驱动压电体，第二驱动压电体，弹簧片，其特征是还包括第一相向摩擦压电体，第二相向摩擦压电体，转子，第一驱动压电体的一端和第二驱动压电体的一端分别与框架固定，第一驱动压电体的另一端和第二驱动压电体的另一端为自由端，分别与第二相向摩擦压电体形变的两端连。弹簧片将第一相向摩擦压电体的形变两端以及第二相向摩擦压电体的形变两端分别与转子的旋转面弹性相压。其优点是：结构对称性高、刚性强、第一驱动压电体和第二驱动压电体的输出效率高，工作温区大。
一种相向摩擦阻力旋转压电马达及其控制方法

[发明专利]弹性波装置-CN202180069356.9在审
发明人：山内淳司;中村健太郎;大门克也 -专利权人：株式会社村田制作所
申请日： 2021-10-18 - 公布日： 2023-06-23 - 主分类号： H03H9/25 文献下载
摘要：本发明的弹性波装置(1)具备支承基板(2)、直接或间接地设置在支承基板(2)上的石英层(4)(具有结晶性的SiO2层)、设置在石英层(4)上的压电体层(5)、以及设置在压电体层在将由IDT电极(7)的电极指间距规定的波长设为λ时，石英层(4)的厚度为0.2λ以上且0.4λ以下，压电体层(5)的厚度比石英层(4)的厚度薄。
弹性装置

[发明专利]压电元件以及压电元件应用器件-CN202310303947.9在审
发明人：板山泰裕;堀场靖央;竹内正浩 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2023-03-27 - 公布日： 2023-10-17 - 主分类号： H10N30/00 文献下载
摘要：本发明提供一种能够对裂纹的产生进行抑制的压电元件以及压电元件应用器件。本发明的压电元件具备：基板，其包含硅；第一电极，其被形成在基板上；压电体层，其被形成在第一电极上，且包含钾、钠和铌；第二电极，其被形成在压电体层上，在基板与压电体层之间配置有包含绝缘材料的第一扩散抑制层，压电体层在第一区域、第二区域以及第三区域上被连续地形成，其中，所述第一区域为第一电极的表面，所述第二区域为第一扩散抑制层的表面，所述第三区域为基板的表面，第三区域被配置在第一区域与第二区域之间。
压电元件以及应用器件

[发明专利]超声波发送接收器及超声波流量计-CN200710005296.6有效
发明人：永原英知;桥本雅彦;铃木正明;桥本和彦;桥田卓;白石诚吾;高原范久 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-01-27 - 公布日： 2007-09-12 - 主分类号： G01F1/66 文献下载
摘要：本发明的超声波发送接收器，具有进行超声波振动的压电体(4)，由密度为50kg/m³以上1000kg/m³以下且声阻抗为2.5×10³kg/m²/s以上1.0×10⁶kg/m²/s以下的材料所形成的声匹配层(3)，在压电体(4)和声匹配层(3)之间设置的下层声匹配层(9)，支撑下层匹配层(9)和压电体(4)、遮蔽压电体(4)将其与超声波传播流体隔开的结构支撑体(6)。具有与声匹配层(4)的侧面的至少一部分相接触的保护部，该保护部是由下层声匹配层(9)的一部分所形成，并与下层声匹配层(9)一体化。
超声波发送接收器超声波流量计

[发明专利]超声波发送接收器及超声波流量计-CN03801370.3有效
发明人：永原英知;桥本雅彦;铃木正明;桥本和彦;桥田卓;白石诚吾;高原范久 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-01-27 - 公布日： 2005-02-09 - 主分类号： G01F1/66 文献下载
摘要：本发明的超声波发送接收器，具有进行超声波振动的压电体(4)，由密度为50kg/m³以上1000kg/m³以下且声阻抗为2.5×10³kg/m²/s以上1.0×10⁶kg/m²/s以下的材料所形成的声匹配层(3)，在压电体(4)和声匹配层(3)之间设置的下层声匹配层(9)，支撑下层匹配层(9)和压电体(4)、遮蔽压电体(4)将其与超声波传播流体隔开的结构支撑体(6)。具有与声匹配层(4)的侧面的至少一部分相接触的保护部，该保护部是由下层声匹配层(9)的一部分所形成，并与下层声匹配层(9)一体化。
超声波发送接收器超声波流量计

[发明专利]力检测装置以及机器人-CN201810695785.7在审
发明人：河合宏纪 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2018-06-28 - 公布日： 2019-01-15 - 主分类号： G01L1/16 文献下载
摘要：一种力检测装置，其特征在于，具备：第一部件；第二部件；以及压电传感器器件，由上述第一部件与上述第二部件夹持，并根据外力而输出电荷，在上述外力的规定的轴方向的分量的能检测范围为第一范围时，在上述第一范围内检测上述外力另外，优选地，上述压电传感器器件具备配置于上述第一部件的传感器元件，上述传感器元件具备第一压电体层和配置于上述第一压电体层的一侧的第二压电体层，上述第一压电体层以及上述第二压电体层分别根据沿第一方向施加的外力而输出电荷
压电体层力检测装置传感器元件压电传感器检测输出电荷人本发明检测力夹持配置优选机器人施加

[发明专利]层叠型压电元件及具备该层叠型压电元件的压电促动器、喷射装置以及燃料喷射系统-CN201280040067.7有效
发明人：中村成信 -专利权人：京瓷株式会社
申请日： 2012-08-27 - 公布日： 2014-04-23 - 主分类号： H01L41/083 文献下载
摘要：本发明提供一种在高温且长时间连续驱动的情况下也能够抑制压电体层的电场集中部的氧空穴的增加并且能够抑制位移量的降低的层叠型压电元件及具备该层叠型压电元件的压电促动器、喷射装置以及燃料喷射系统。本发明为一种层叠型压电元件，其特征在于，包括：层叠压电体层(2)及内部电极层(3)而成的层叠体(7)；被加热会产生OH^-的树脂。由此，能够得到在高温且长时间连续驱动的情况下也能够抑制压电体层(2)的电场集中部的氧空穴的增加且能够抑制位移量的降低的层叠型压电元件。
层叠压电元件具备促动喷射装置以及燃料系统

[发明专利]压电元件的驱动方法以及压电元件及压电元件应用装置-CN201610056387.1有效
发明人：横山直人 -专利权人：精工爱普生株式会社
申请日： 2016-01-27 - 公布日： 2020-05-01 - 主分类号： B41J2/14 文献下载
摘要：本发明提供了一种能够对因压电体层的氧缺损的偏析而引起的压电元件的劣化进行抑制，并能够长时间良好地对压电元件进行驱动的压电元件的驱动方法。在压电元件(300)的驱动方法中，所述压电元件(300)具备：第一电极(60)；压电体层(70)，其被形成在第一电极(60)上，且由ABO3型钙钛矿结构的复合氧化物构成；第二电极(80)，其被形成在压电体层(70)上，在通过预定的驱动波形而对压电元件(300)进行了预定次数的驱动后，使驱动波形的极性反转并对该压电元件(300)进行驱动。
压电元件驱动方法以及应用装置

[发明专利]压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法、喷墨式记录装置-CN200810135194.0有效
发明人：鸟井秀雄;藤井映志;友泽淳;村田晶子;高山良一;平泽拓 -专利权人：松下电器产业株式会社
申请日： 2003-06-17 - 公布日： 2009-01-28 - 主分类号： H01L41/09 文献下载
摘要：本发明涉及压电元件、喷墨头、角速度传感器及其制法和喷墨式记录装置，压电元件具备第一电极层、压电体层和第二电极层，第一电极层由选自钴、镍、铁、锰及铜的至少一种金属与贵金属构成，压电体层由钙钛矿型氧化物构成，在第一电极层与压电体层间设有由优先取向于立方或正方晶系的(100)或(001)面的钙钛矿型氧化物构成的取向控制层，该控制层的第一电极层侧的部分为：(100)或(001)面取向的区域存在于位于第一电极层中取向控制层侧的表面部的所述至少一种金属上，且与层厚方向垂直的截面中的所述(100)或(001)面取向区域的面积从第一电极层侧向着压电体层侧变大，所述至少一种金属，在第一电极层以控制取向控制层的成长方向的方式形成图案。
压电元件喷墨角速度传感器及其制法喷墨式记录装置