专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]压印方法-CN201010612440.4有效
  • 张海洋;王新鹏 - 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
  • 2010-12-29 - 2012-07-11 - G03F7/00
  • 本发明公开了一种双压印方法,该方法包括:在待刻蚀薄膜上形成金属硬掩膜层;采用第一模具对金属硬掩膜层进行压印压印后的金属硬掩膜层为第一压印图案;在第一压印图案和暴露出来的待刻蚀薄膜之上旋涂深紫外氧化物,并进行硬性烘烤处理;采用第二模具对深紫外氧化物进行压印压印后的深紫外氧化物为第二压印图案;以第二压印图案作为掩膜,对位于其下的第一压印图案刻蚀,然后将第二压印图案去除,刻蚀后的第一压印图案为第三图案;以第三图案作为掩膜,对待刻蚀薄膜刻蚀。采用本发明公开的方法能够降低在晶片上形成图案的成本。
  • 压印方法
  • [发明专利]一种纳米图案的制作方法、纳米压印基板、显示基板-CN201911061678.X有效
  • 张笑 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2019-11-01 - 2021-05-25 - G03F7/00
  • 本申请提供一种纳米图案的制作方法、纳米压印基板、显示基板,涉及显示技术领域,可简化纳米图案的制作工艺,降低生产成本。该方法为在衬底基板上的N个压印区(其中,N≥3,N为整数)依次形成纳米图案。包括:在图案转移层对应第i(1≤i<N‑2,i为正整数)个压印区,形成第i次压印图案。形成第i层保护层,至少覆盖i次压印图案,且在对应第i+1个压印区的位置具有开口。在图案转移层对应第i+1个压印区的位置,形成第i+1次压印图案。形成第i+1层保护层,至少覆盖i+1次压印图案,并在对应第i+2个压印区的位置具有开口。在图案转移层对应第N个压印区的位置,形成第N次压印图案后,去除所有保护层。
  • 一种纳米图案制作方法压印显示
  • [发明专利]膜层图案化的方法-CN201811308507.8有效
  • 黄华;张笑;袁广才 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2018-11-05 - 2021-11-26 - G03F7/00
  • 本发明提供一种膜层图案化的方法,属于纳米压印技术领域。本发明的膜层图案化的方法包括:在基底上形成相互拼接的压印图案的步骤,其中,在基底上形成一个压印图案的步骤包括:在基底上形成待进行图案化的膜层;将纳米压印模板压印至待进行图案化的膜层上;将纳米压印模板与待进行图案化的膜层分离,以得到图案化的膜层;在图案化的膜层表面形成一层分离层,以得到压印图案
  • 图案方法
  • [发明专利]压印装置、压印方法和制造产品的方法-CN201680027556.7在审
  • 佐藤浩司 - 佳能株式会社
  • 2016-05-09 - 2018-01-19 - H01L21/027
  • 本发明提供了一种生产率增加的压印装置。一种用于执行压印工艺从而通过使用模具在基板上形成压印材料图案压印装置,包括检测器,其检测形成在基板上的压印材料图案;及控制器,其控制压印装置。控制器使得压印步骤和检测步骤能够并行执行,从而使得在压印步骤中通过压印工艺将压印材料图案形成在基板上,并且在检测步骤中由检测器检测形成在与正在执行压印工艺的基板不同的基板上形成的压印材料图案
  • 压印装置方法制造产品
  • [发明专利]压印皮革及其制造方法-CN201810433005.1有效
  • 余炎 - 明门瑞士股份有限公司
  • 2018-05-08 - 2022-05-03 - C14B1/56
  • 本发明一方面提供了一种压印皮革,包括:一皮革层,皮革层的部分构成压印区域,压印区域的至少部分具有压印图案;一附加层,至少粘附压印图案并仅形成于压印区域上。本发明另一方面提供了一种压印皮革的制造方法,包括如下步骤:(1)将一皮革层与一不具有初粘性的附加层进行叠加;(2)在步骤(1)之后对皮革层的部分进行压印以形成压印图案,皮革层的部分构成压印区域,且附加层的部分至少粘附于压印图案本发明的压印皮革的附加层粘附压印图案并仅形成于压印区域上,因而能保持本身的皮革弹性,可以进行后续的机缝与组装的步骤,且压印图案处因粘附有附加层局部仍维持低弹性状态,故不会因皮革层被拉展而变形。
  • 压印皮革及其制造方法
  • [发明专利]压印模板及其制备方法-CN202010547006.6在审
  • 刘震;张笑;郭康;谷新 - 京东方科技集团股份有限公司
  • 2020-06-16 - 2020-09-04 - G03F7/00
  • 本发明实施例提供了一种压印模板及其制备方法。压印模板的制备方法包括:在基底上依次形成牺牲层和压印胶层;将由母模板翻制出来的软模板压印在所述压印胶层上,在所述压印胶层上形成位于图案区的压印图案和位于段差区的段差图案;去除所述段差区的压印胶层和牺牲层在由软模板制备压印模板过程中,本发明实施例通过去除由软模板带来的段差图案,解决了现有小尺寸母模板复制成大尺寸压印模板过程中存在段差不良等问题,可以实现从小尺寸母模板向大尺寸压印机使用大尺寸压印模板的图案准确转移
  • 压印模板及其制备方法
  • [发明专利]压印方法、压印装置和器件制造方法-CN201410227550.7有效
  • 佐藤浩司;樋浦充 - 佳能株式会社
  • 2014-05-27 - 2019-06-25 - G03F7/00
  • 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括:在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料;使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触;在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料;并且形成包括压印材料上标记的图案,其特征在于,使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记,直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止,从而获得基板上的图案压印材料上的图案之间的相对位置偏差
  • 压印方法装置器件制造
  • [发明专利]压印方法、压印装置和器件制造方法-CN201910498821.5有效
  • 佐藤浩司;樋浦充 - 佳能株式会社
  • 2014-05-27 - 2022-09-27 - G03F7/00
  • 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括:在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料;使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触;在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料;并且形成包括压印材料上标记的图案,其特征在于,使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记,直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止,从而获得基板上的图案压印材料上的图案之间的相对位置偏差
  • 压印方法装置器件制造

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