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- [发明专利]源匹配器-CN201980007014.7有效
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郑昌皙;林都植;朴正翼;荒民珠
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EQ全球株式会社
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2019-01-11
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2023-07-14
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H01J37/32
- 本发明的源匹配器，能够包括：RF振荡部，用于向安装在腔室内的多个线圈加载等离子体生成用电力；RF匹配器部，用于将负载阻抗(load impedance)匹配到上述腔室、上述RF振荡部以及上述线圈中的至少一个的特性阻抗(characteristic impedance)；分配器部，用于将上述RF匹配器部的输出电力分配到各个线圈；以及，调整部，用于对上述RF匹配器部或上述分配器部的匹配效率进行调整。
- 配器
- [发明专利]匹配电路-CN200610085063.7无效
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福田敦史;冈崎浩司;楢桥祥一
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株式会社NTT都科摩
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2006-05-22
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2006-11-22
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H03H7/38
- 本发明的目的是提供一种具有多频带能力的匹配电路，即使所处理的频带数量增加该匹配电路也能减小尺寸。本发明的匹配电路包括具有频率相关特性的负载、在一端与具有频率相关特性的负载连接的第一匹配块和由串联到第一匹配块的集总元件形成的第二匹配块。则当使用特定频带时，用第一匹配块和第二匹配块的串联阻抗来获得匹配。当使用单独频带时，通过将辅助匹配块连接到第二匹配块的两端来构成π型电路。随后，在相同的频率，通过将该π型电路和其特性不依赖于频率的负载的组合阻抗设置为Z0，消除第二匹配块的影响。
- 匹配电路
- [实用新型]双频匹配器-CN202123447087.1有效
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唐亚海;姚志毅;张桂东
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深圳市恒运昌真空技术有限公司
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2021-12-30
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2022-06-17
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H03H11/28
- 本申请提出一种双频匹配器，该双频匹配器包括：双频匹配器包括控制模块、低频部分和高频部分，低频部分包括低频阻抗匹配网络，高频部分包括高频阻抗匹配网络；控制模块，用于根据低频部分的第一阻抗、高频部分的第二阻抗和负载阻抗生成用于调节双频匹配器中的电容的调节信号，根据调节信号对低频部分中的低频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现低频部分的阻抗匹配，根据调节信号对高频部分中的高频阻抗匹配网络中的电容进行调节，以实现高频部分的阻抗匹配。本申请实现了自动阻抗匹配。
- 双频配器
- [实用新型]射频匹配器-CN201020207007.8无效
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杨友明;刘丕华;项亮
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常州瑞思杰尔电子科技有限公司
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2010-05-28
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2011-01-19
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H03F3/189
- 本实用新型公开了一种射频匹配器，包括信号检测模块，控制模块和传动执行模块，信号检测模块用于检测负载反馈的反射信号，并将该反射信号转化为直流驱动信号输出；该控制模块包括放大电路，放大电路用于将接收到的直流驱动信号进行放大后输出，该传动执行模块用于接收经过放大电路放大直流驱动信号，并驱动阻抗匹配器进行与负载之间的阻抗匹配调整。由于定向偶合器可对反射信号进行实时动态采样，当采样到有反射信号时，检测器可以马上输出检测信号以驱动两个电机转动，对真空电容进行阻抗调节，这样就实现了实时的自动匹配控制，快速、可靠、高效、准确、节省人力和时间
- 射频配器
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