专利名称
主分类
A 农业
B 作业;运输
C 化学;冶金
D 纺织;造纸
E 固定建筑物
F 机械工程、照明、加热
G 物理
H 电学
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公布日期
2023-10-24 公布专利
2023-10-20 公布专利
2023-10-17 公布专利
2023-10-13 公布专利
2023-10-10 公布专利
2023-10-03 公布专利
2023-09-29 公布专利
2023-09-26 公布专利
2023-09-22 公布专利
2023-09-19 公布专利
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专利权人
国家电网公司
华为技术有限公司
浙江大学
中兴通讯股份有限公司
三星电子株式会社
中国石油化工股份有限公司
清华大学
鸿海精密工业股份有限公司
松下电器产业株式会社
上海交通大学
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  • [发明专利]薄膜晶体管的制作方法及显示面板-CN202111121356.7在审
  • 刘红林;康报虹 - 惠科股份有限公司
  • 2021-09-24 - 2021-10-29 - H01L21/336
  • 本申请提供了一种薄膜晶体管的制作方法,包括以下步骤:在基板上依次沉积栅极层、栅极绝缘层、有源层、金属层及光刻胶层,并通过曝光、显影在所述金属层上形成光刻胶图形层,其中,光刻胶图形层包括部分保区、完全保留区和完全去除区;去除与完全去除区对应的金属层;去除与部分完全去除区对应的有源层,并预留有第一厚度;去除部分保区的光刻胶图形层;形成源漏电极和沟道区,并去除与完全去除区对应的剩余有源层。
  • 薄膜晶体管制作方法显示面板

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